一种用于氧化镓晶体生长的模具制造技术

本申请公开了一种用于氧化镓晶体生长的模具。其中，一种用于氧化镓晶体生长的模具包括：两个模具板，两个模具板间隔设置并在两个模具板之间形成间隙，并且每个模具板上端的横截面为非直角的平行四边形结构。该模具所设计的平行四边形结构与晶体生长的形貌完全贴合，减小了应力的产生，从而保障了（001）面氧化镓晶体的稳定生长，有效避免了氧化镓晶体生长失败以及提高了生长出的（001）面氧化镓晶体的质量。并且，所设计的向外突出的圆弧形结构又实现了较大的径向温度梯度，使得晶体放肩速度得到有效控制，使晶体内部原子有充足的时间规则排列，从而解决了（001）面氧化镓晶体生长容易产生多晶的问题。产生多晶的问题。产生多晶的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于氧化镓晶体生长的模具


[0001]本申请涉及晶体生长
，特别是涉及一种用于氧化镓晶体生长的模具。

技术介绍

[0002]现有采用导模法生长（001）面氧化镓晶体的生长装置如图1A和图1B所示，它是将一个开有狭缝的模具2放入装有氧化镓原材料的坩埚3中。并且，模具2上端的横截面为矩形，坩埚3外侧有感应线圈及保温材料。在晶体生长时，首先通过感应线圈对坩埚3进行加热，坩埚3内部的氧化镓原材料受热后变为熔体，熔体通过毛细作用经由狭缝上升至模具2的上表面。然后将竖直方向为[010]，正面方向为[001]的氧化镓籽晶下降到模具2的上表面。使氧化镓籽晶与模具2上表面的熔体接触，待熔接充分后缓慢向上提拉氧化镓籽晶，接着经过缩颈，引晶，放肩（缓慢降温使晶体逐渐变大到规定尺寸），等径等过程，最终长出所需的氧化镓晶体4。然而，在实际使用上述生长装置进行氧化镓晶体的生长时，专利技术人发现，在放肩后期，晶体边缘出现裂纹，晶体无法进行稳定生长，从而容易出现氧化镓晶体生长失败或者氧化镓的结晶质量较差的问题。
[0003]针对上述的现有技术中存在的使用现有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于氧化镓晶体生长的模具，其特征在于，包括：两个模具板（10），所述两个模具板（10）间隔设置并在所述两个模具板（10）之间形成间隙（20），并且每个所述模具板（10）上端的横截面为非直角的平行四边形结构。2.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述模具板（10）上端的横截面的一内角为100
°
~105
°
。3.根据权利要求2所述的模具，其特征在于，所述模具板（10）上端的横截面的一内角为103.8
°
。4.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，每个所述模具...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈政委，胡开朋，吕进，辛泽文，邓德辉，赵德刚，吴忠亮，
申请(专利权)人：陈政委，
类型：新型
国别省市：