一种单晶硅炉制造技术

本发明专利技术公布了一种单晶硅炉，包括炉本体和旋转提拉驱动组件，所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器；所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管，其中，所述导气盒配置在所述炉本体的外部，其内设置有导气腔，外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头，所述第一接头用于连接配重源装置，所述提拉管为中空的长管结构，其一端与所述导气腔连通，另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头，所述提拉头伸入所述炉本体内；所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转，所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒，用于驱动所述提拉头完成拉引工序；本发明专利技术提出一种单晶硅炉，克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点，有效改善晶体的径向均匀性。径向均匀性。径向均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅炉


[0001]本申请属于单晶硅棒加工
，具体是涉及一种单晶硅炉。

技术介绍

[0002]需要说明的是，本部分所记载的内容并不代表都是现有技术。
[0003]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。其中在单晶硅的加工工序中，有一个工序是在长晶炉内进行拉晶，形成单晶硅棒。具体是子晶下降到埚的中心液面点，子晶点到液面上就会出现一个光点，慢慢旋转，向上拉引，放肩，转肩，正常拉棒，收尾。
[0004]在拉晶过程中，存在一个问题，就是在拉晶回熔时，需要提起晶体，下降坩埚，由于液体表面张力吸附晶体，导致提起的晶体会受力不均导致单晶晃动；另外，在停炉之后，晶体上升在炉内冷却氧化，充入氩气时流量过大引起晶棒晃动，而晶棒晃动，会导致晶体存在径向均匀性缺陷，因此，有必要提供一个稳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅炉，其特征在于，包括：炉本体，所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器；以及旋转提拉驱动组件，所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管，其中，所述导气盒配置在所述炉本体的外部，其内设置有导气腔，外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头，所述第一接头用于连接配重源装置，所述提拉管为中空的长管结构，其一端与所述导气腔连通，另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头，所述提拉头伸入所述炉本体内；所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转，所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒，用于驱动所述提拉头完成拉引工序。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉，其特征在于，所述提拉管以及所述提拉头的数量为两组，所述导气盒内设置有隔板将所述导气腔分隔为分别与两个提拉管对应连通的第一腔体和第二腔体，所述导气盒的外壁还设置有与第二腔体连通的第二接头，所述第二接头用于连接配重源装置，所述第一接头与所述第一腔体连通，所述旋转部件包括固定在所述导气盒外壁的第一电机、分别设置在两个提拉管外壁的第一齿轮、第二齿轮以及与所述第一齿轮、第二齿轮分...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱香，
申请(专利权)人：深圳市彦瑞鑫模具塑胶有限公司，
类型：发明
国别省市：