玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法技术

在利用激光进行圆盘形状的玻璃板的端面的形状加工时，为了抑制玻璃板的主表面内的应变(延迟值)，使圆盘形状的玻璃板从底座悬浮，在使上述玻璃板悬浮的状态下，一边通过非接触方式加热上述玻璃板，一边对上述玻璃板的端面照射激光，使上述激光相对于上述端面在上述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将上述端面加工成目标形状。上述端面加工成目标形状。上述端面加工成目标形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法


[0001]本专利技术涉及包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理的玻璃板的制造方法和使用了该玻璃板的制造方法的磁盘的制造方法。

技术介绍

[0002]用于数据记录的硬盘装置使用了磁盘，该磁盘在圆盘形状的非磁性的磁盘用玻璃基板设有磁性层。
[0003]在制造磁盘用玻璃基板时，对于作为最终产品即磁盘用玻璃基板的基础的圆盘状的玻璃坯板的端面来说，为了不使微细的颗粒附着于主表面而对磁盘的性能产生不良影响，优选使容易产生颗粒的端面的表面光滑。另外，从以良好的精度将磁盘组装到HDD装置中的方面出发，进一步优选将玻璃板的端面统一成目标形状，以使在玻璃基板的主表面形成磁性膜时适合把持玻璃基板的外周端面的夹具的把持。
[0004]作为用于使玻璃板的端面为目标形状的方法，已知利用激光对玻璃板的边缘进行倒角加工的方法。例如，在将作为玻璃板的玻璃构件整体保持为高于常温的规定温度的状态下，按照照射点沿着玻璃构件的角部移动的方式对上述玻璃板照射激光，由此将上述角部的至少一部分加热到比其他部分更高的温度，以使其软化并进行倒角(专利文献1)。
[0005]在进行该倒角加工时，通常玻璃构件以载置于预定的支撑台上的状态固定于支撑台，在进行加热后，对玻璃构件的角部照射激光。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本专利第2612332号公报

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]但是，若利用上述现有的方法进行加工，可知处理后的基板会残留较大的应变。对其原因进行了调查，结果可知，热通过这些接触部分从加热的玻璃构件散至玻璃构件的支撑台，因此实质上无法均匀地加热玻璃构件，其结果，加工中的温度历程根据玻璃构件的主表面的面内的位置而异，玻璃构件的主表面内的应变(延迟值)的最大值与最小值之差、即应变分布(应变的偏差)变大。若该应变分布大，则在之后的玻璃构件的加工工序等各种工序中玻璃构件有可能容易产生弯曲或裂纹。
[0011]因此，本专利技术的目的在于提供一种玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法，其中，在通过激光照射对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工而制造玻璃板时，能够抑制玻璃板的主表面内的面内的应变(延迟值)的分布。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]本专利技术的一个方式为一种玻璃板的制造方法，其包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理。该制造方法包括：
[0014]使圆盘形状的玻璃板从底座悬浮的步骤；和
[0015]在使上述玻璃板悬浮的状态下，一边通过非接触方式加热上述玻璃板，一边对上述玻璃板的端面照射激光，使上述激光相对于上述端面在上述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将上述端面加工成目标形状的步骤。
[0016]本专利技术的一个方式也为一种玻璃板的制造方法，其包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理。该制造方法包括：
[0017]按照圆盘形状的玻璃板与底座不接触的方式进行配置的步骤；和
[0018]一边通过非接触方式加热配置于上述气氛内的上述玻璃板，一边对上述玻璃板的端面照射激光，使上述激光相对于上述端面在上述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将上述端面加工成目标形状的步骤。
[0019]上述玻璃板优选通过非接触方式被加热，以使主表面的面内的温度差为50℃以下。
[0020]在将上述端面加工成目标形状的步骤中，优选按照在上述端面形成倒角面的方式设定上述激光的照射条件。
[0021]此时，优选按照上述倒角面的沿上述主表面的径向的长度C相对于上述玻璃板的厚度Th之比C/Th为0.1～0.7的方式设定上述条件。
[0022]通过上述激光形成的端面的算术平均粗糙度Ra优选为0.02μm以下。
[0023]照射到上述端面的上述激光的光束在上述圆周方向的长度W2相对于上述玻璃板的直径D之比W2/D优选为0.03～0.2。
[0024]优选的是，照射到上述端面的上述激光的截面强度分布为单模，将上述端面中的照射位置上的上述激光的光束在上述玻璃板的厚度方向的宽度设为W1[mm]，将上述玻璃板的厚度设为Th[mm]，将上述激光的功率密度设为Pd时，W1＞Th，Pd
×
Th为0.8～3.5[W/mm]。
[0025]优选按照通过上述激光的照射形成的上述玻璃板的直径与上述激光照射前的上述玻璃板的直径相比增大的方式来设定上述功率密度Pd。
[0026]上述激光沿着上述端面移动的移动速度优选为0.7～140[mm/秒]。
[0027]上述玻璃板的杨氏模量优选为70[GPa]以上。
[0028]上述玻璃板的线膨胀系数优选为100
×
10
‑7[1/K]以下。
[0029]上述玻璃板的厚度Th优选为0.7mm以下。
[0030]上述玻璃板的制造方法优选包括对将上述端面加工成目标形状的上述玻璃板的主表面进行磨削或研磨的步骤，
[0031]在将上述端面加工成目标形状后且上述主表面的磨削或研磨前，不进行上述端面的研磨，或者即便进行上述端面的研磨，上述端面的研磨导致的加工余量也为5μm以下。
[0032]本专利技术的另一方式为一种磁盘的制造方法，其特征在于，在通过上述玻璃板的制造方法所制造的玻璃板的主表面形成磁性膜。
[0033]专利技术的效果
[0034]根据上述玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法，在通过激光照射对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工而制造玻璃板时，能够抑制玻璃板的主表面内的面内的应变(延迟值)的分布。
附图说明
[0035]图1是对作为一个实施方式的玻璃板的制造方法中的激光的照射进行说明的图。
[0036]图2是对激光的照射位置处的光束的形状的一例进行说明的图。
[0037]图3是对激光的照射位置处的光束和光强度分布进行说明的图。
[0038]图4是对利用激光进行的形状加工后的端面的形状进行说明的图。
[0039]图5(a)～(c)是对激光的照射条件的差异导致的端面形状的差异进行说明的图。
具体实施方式
[0040]图1是对作为一个实施方式的玻璃板的制造方法中的激光的照射进行说明的图。图2是对激光的照射位置处的光束的形状的一例进行说明的图。图3是对激光的照射位置处的光束和光强度分布进行说明的图。图4是对利用激光进行的形状加工后的端面的形状进行说明的图。
[0041]通过本实施方式的玻璃板的制造方法进行形状加工的玻璃板为圆盘形状，形成为在圆盘形状的中心位置开有圆孔的形状，以形成与外周端为同心圆状的内周端。换言之，本实施方式的玻璃板为圆环形状的玻璃板。除了圆环形状以外，本实施方式的玻璃板的圆盘形状也可以为未开有上述圆孔的圆盘形状。作为通过本实施方式的玻璃板的制造方法进行形状加工的玻璃板的示例，不限于磁盘用玻璃基板，可以举出HDD用玻璃隔板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种玻璃板的制造方法，其为包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括：使圆盘形状的玻璃板从底座悬浮的步骤；和在使所述玻璃板悬浮的状态下，一边通过非接触方式加热所述玻璃板，一边对所述玻璃板的端面照射激光，使所述激光相对于所述端面在所述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将所述端面加工成目标形状的步骤。2.一种玻璃板的制造方法，其为包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括：按照圆盘形状的玻璃板与底座不接触的方式进行配置的步骤；和一边加热与所述底座不接触的状态的所述玻璃板，一边对所述玻璃板的端面照射激光，使所述激光相对于所述端面在所述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将所述端面加工成目标形状的步骤。3.如权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板通过非接触方式被加热，以使主表面的面内的温度差为50℃以下。4.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，在将所述端面加工成目标形状的步骤中，按照在所述端面形成倒角面的方式设定所述激光的照射条件。5.如权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其中，按照所述倒角面的沿所述主表面的径向的长度C相对于所述玻璃板的厚度Th之比C/Th为0.1～0.7的方式设定所述条件。6.如权利要求1～5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，通过所述激光形成的端面的算术平均粗糙度Ra为0.02μm以下。7.如权利要求1～6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，照射到所述端面的所述激光的光束在所述圆周方向的长度W2相对于所述玻璃板的直径D之比W2/D为0.03～0.2。8.如权利要求1～...

【专利技术属性】
技术研发人员：东修平，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：