基板载具锁扣装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板载具锁扣装置，包括一顶部，设置于一壳体；一盖体，以一快拆结构可拆卸地相接于该顶部，该快拆结构包含：至少一卡件，设置于该顶部或该盖体上，该至少一卡件朝一水平方向延伸有一挡板；至少一扣件，相应该至少一卡件设置于该顶部或该盖体上，该至少一扣件对应卡合该至少一卡件；一定位柱，设置于该顶部或该盖体上；以及一对位件；本发明专利技术解决了现有技术中基板载具负重过重后即易导致原密封状态丧失的问题。密封状态丧失的问题。密封状态丧失的问题。

【技术实现步骤摘要】
基板载具锁扣装置


[0001]本专利技术是关于一种锁扣结构，特别涉及一种用于基板载具锁扣装置。

技术介绍

[0002]在基板所载电路日益增加的基础上，为有效控制污染物质(例如：微粒或气体性分子污染物(AMC))，以避免损伤电路的完整性，于通常状态下，厂间会先利用一个基板载具对基板进行密封装载后，再藉由自动化机械(例如：机械手臂)实现对基板载具及其内部基板执行后续于不同厂区之间的移动和传输，以确保基板的高度洁净。
[0003]为提高输送时基板载具的平稳程度，以减少基于无法预期地剧烈晃动或容器变形而使基板载具丧失原密封状态的可能。习知，是透过在基板载具的外表面凸设一个抓取部去避免机械手臂直接对基板载具的外表面进行施力，并利用抓取部与基板载具表面的接触设计来提升基板载具表面应力分布的均衡性及抓取部与基板载具表面间结合的稳定性。
[0004]现行半导体制造厂遵循摩尔定律，已大幅增加大尺寸基板的加工数量。在基板尺寸与重量呈正比的基础上，显见地，于各厂区之间运输基板将更显困难，例如，现行的12吋基板之单片重量为0.128公斤，又例如，未来将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板载具锁扣装置，其特征在于：包括：一顶部，设置于一壳体；一盖体，以一快拆结构可拆卸地相接于该顶部，该快拆结构包含：至少一卡件，设置于该顶部或该盖体上，该至少一卡件朝一水平方向延伸有一挡板；至少一扣件，相应该至少一卡件设置于该顶部或该盖体上，该至少一扣件对应卡合该至少一卡件；一定位柱，设置于该顶部或该盖体上；以及一对位件，相应该定位柱设置于该顶部或该盖体上，该对位件对应配合该定位柱设置。2.如权利要求1所述之基板载具锁扣装置，其特征在于：所述顶部及该盖体分别具有至少一第一锁合部及至少一第二锁合部，且该至少一第一锁合部与该至少一第二锁合部分别与该顶部及盖体连接。3.如权利要求2所述之基板载具锁扣装置，其特征在于：该至少一第二锁合部对应锁设于该至少一第一锁合部中。4.如权利要求1所述之基板载具锁扣装置，其特征在于：该至少一卡件呈环形设置。5.如权利要求1所述之基板载具锁扣装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭乾，潘咏晋，刘维虔，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：