一种便于运输的半导体设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于运输的半导体设备，其技术方案要点是：包括机体，所述机体的上端中部固定连接有溅射腔室，所述机体的上端卡接有防护箱，所述防护箱的下端倒角处均固定连接有插柱，所述防护箱设置在溅射腔室的外侧，所述防护箱的内侧固定连接有防护组件，所述机体的上端两侧均开设有插槽，所述插槽的外侧设置有连接组件，所述机体的下侧设置有固定组件，当运输该磁控溅射台时，通过转动转块，转块带动丝杆和主动齿轮转动，从而带动从动齿轮所连接的导杆进行转动，进而带动导板进行上下移动，方便将底部的连接柱和防滑垫进行收纳，进一步方便其运输，避免受到磕碰，故操作快捷、结构紧凑，便于实际使用。便于实际使用。便于实际使用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于运输的半导体设备


[0001]本技术涉及半导体设备
，特别涉及一种便于运输的半导体设备。

技术介绍

[0002]半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。
[0003]磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备半导体等材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，由于磁控溅射台组成特性，其运输过程中，溅射腔室容易发生磕碰导致器件损坏，影响后续对基片进行镀膜，如果进行拆分又会导致组装麻烦费时费力，为此需要加装一个防护机构使其便于运输。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种便于运输的半导体设备，以解决
技术介绍
中提到的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种便于运输的半导体设备，包括机体，其特征在于：所述机体的上端中部固定连接有溅射腔室，所述机体的上端卡接有防护箱，所述防护箱的下端倒角处均固定连接有插柱，所述防护箱设置在溅射腔室的外侧，所述防护箱的内侧固定连接有防护组件，所述机体的上端两侧均开设有插槽，所述插槽的外侧设置有连接组件，所述机体的下侧设置有固定组件。
[0007]通过采用上述技术方案，通过设置防护箱，便于对溅射腔室进行覆盖保护，通过减震弹簧、加强层、贴合层，可有效地对溅射腔室进行保护，减震弹簧起到对其受到的力进行缓冲，加强层为玻璃纤维和钢丝组合而成，玻璃纤维绝缘性能好，耐热性也高，同时机械强度高，加强配合能够有效起到对溅射腔室外部受到作用力的缓冲作用，确保溅射腔室内器件不会受到损坏，贴合层为硅胶制成，化学性质稳定，热稳定性好、同时机械强度也高，进一步对溅射腔室进行保护，且吸附性能好，能够有效吸附其内部的潮湿气体，延长其使用寿命，便于运输，同时也方便对磁控溅射台停止工作后进行保护。
[0008]较佳的，所述防护组件包括减震弹簧，所述减震弹簧的一端固定连接在防护箱的内壁，所述减震弹簧的另一端固定连接有加强层，所述加强层的一侧固定连接有贴合层。
[0009]通过采用上述技术方案，通过设置防护组件，减震弹簧配合加强层与贴合层，从而达到对溅射腔室的保护，确保出厂后成型品的质量。
[0010]较佳的，所述加强层为玻璃纤维基体制成，所述玻璃纤维的内侧固定连接有钢丝。
[0011]通过采用上述技术方案，通过设置玻璃纤维和钢丝，玻璃纤维绝缘性能好，耐热性也高，同时机械强度高，加强配合钢丝的韧度强度，能够有效起到对溅射腔室外部受到作用
力的缓冲作用。
[0012]较佳的，所述贴合层为硅胶基体制成，所述硅胶固定连接在加强层的一侧。
[0013]通过采用上述技术方案，通过设置硅胶，硅胶化学性质稳定，机械强度也高，进一步对溅射腔室进行保护，且吸附性能好，能够有效吸附其内部的潮湿气体，延长其使用寿命，便于运输。
[0014]较佳的，所述连接组件包括安装槽，所述安装槽开设在机体的内部，所述安装槽的内部一端固定连接有复位弹簧是，所述复位弹簧的另一端固定连接有卡接柱，所述插柱的两侧均开设有弧槽，所述卡接柱与弧槽为活动连接。
[0015]通过采用上述技术方案，通过设置连接组件，方便将防护箱与机体进行连接，防护箱下侧的插柱插入插槽后，插柱底端挤压卡接柱，卡接柱向安装槽内移动，当弧槽与安装槽处在同一水平高度后，此时卡接柱移动到弧槽的内部，完成固定，由于卡接柱与弧槽形状大小相匹配，且设置为弧形，从而方便后续拆卸，使用方式灵活。
[0016]较佳的，所述固定组件包括丝杆，所述丝杆通过滚珠轴承转动连接在机体的腔体内，所述丝杆的两侧均固定连接有主动齿轮，所述机体的下侧腔体内均通过滚珠轴承转动连接有导杆，所述导杆的一侧固定连接有从动齿轮，所述导杆的外表面螺纹连接有导板，所述主动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述丝杆伸出机体的一侧固定连接有转块，所述机体的下侧开设有矩形槽，所述导板滑动连接在矩形槽的内部。
[0017]通过采用上述技术方案，通过设置固定组件，通过转动转块，转块带动丝杆和主动齿轮转动，从而带动从动齿轮所连接的导杆进行转动，进而带动导板在矩形槽内进行上下移动，从而方便将底部的连接柱和防滑垫进行收纳，有利于运输工作，避免连接柱发生磕碰导致机体底端承力受损。
[0018]较佳的，所述导板的下端倒角处均固定连接有连接柱，所述连接柱的底端固定连接有防滑垫。
[0019]通过采用上述技术方案，通过设置连接柱和防滑垫，起到对机体的支撑作用，从而稳固磁控溅射台。
[0020]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0021]第一、通过设置防护箱，便于对溅射腔室进行覆盖保护，通过减震弹簧、加强层、贴合层，可有效地对溅射腔室进行保护，减震弹簧起到对其受到的力进行缓冲，加强层为玻璃纤维和钢丝组合而成，玻璃纤维绝缘性能好，耐热性也高，同时机械强度高，加强配合能够有效起到对溅射腔室外部受到作用力的缓冲作用，确保溅射腔室内器件不会受到损坏，贴合层为硅胶制成，化学性质稳定，热稳定性好、同时机械强度也高，进一步对溅射腔室进行保护，且吸附性能好，能够有效吸附其内部的潮湿气体，延长其使用寿命，便于运输，同时也方便对磁控溅射台停止工作后进行保护；
[0022]第二、通过设置固定组件，当运输该磁控溅射台时，通过转动转块，转块带动丝杆和主动齿轮转动，从而带动从动齿轮所连接的导杆进行转动，进而带动导板进行上下移动，方便将底部的连接柱和防滑垫进行收纳，进一步方便其运输，避免受到磕碰，故操作快捷、结构紧凑，便于实际使用。
附图说明
[0023]图1是本技术的立体图；
[0024]图2是本技术的结构示意图；
[0025]图3是本技术的导板结构图；
[0026]图4是本技术的A部放大图；
[0027]图5是本技术的加强层与贴合层结构图。
[0028]附图标记：1、机体；2、溅射腔室；3、防护箱；4、防护组件；41、减震弹簧；42、加强层；43、贴合层；44、硅胶；45、玻璃纤维；46、钢丝；5、连接组件；51、安装槽；52、复位弹簧；53、卡接柱；54、弧槽；6、插柱；7、插槽；8、固定组件；81、丝杆；82、主动齿轮；83、导杆；84、从动齿轮；85、导板；86、连接柱；87、防滑垫；88、转块；89、矩形槽。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于运输的半导体设备，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上端中部固定连接有溅射腔室(2)，所述机体(1)的上端卡接有防护箱(3)，所述防护箱(3)的下端倒角处均固定连接有插柱(6)，所述防护箱(3)设置在溅射腔室(2)的外侧，所述防护箱(3)的内侧固定连接有防护组件(4)，所述机体(1)的上端两侧均开设有插槽(7)，所述插槽(7)的外侧设置有连接组件(5)，所述机体(1)的下侧设置有固定组件(8)。2.根据权利要求1所述的一种便于运输的半导体设备，其特征在于：所述防护组件(4)包括减震弹簧(41)，所述减震弹簧(41)的一端固定连接在防护箱(3)的内壁，所述减震弹簧(41)的另一端固定连接有加强层(42)，所述加强层(42)的一侧固定连接有贴合层(43)。3.根据权利要求2所述的一种便于运输的半导体设备，其特征在于：所述加强层(42)为玻璃纤维(45)基体制成，所述玻璃纤维(45)的内侧固定连接有钢丝(46)。4.根据权利要求3所述的一种便于运输的半导体设备，其特征在于：所述贴合层(43)为硅胶(44)基体制成，所述硅胶(44)固定连接在加强层(42)的一侧。5.根据权利要求1所述的一种便于运输的半导体设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘登玉，陈世浪，
申请(专利权)人：惠州市登峰力合科技有限公司，
类型：新型
国别省市：