【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种利用光衍射来提高出光效率的发光二极管器件，即采用图案化蓝宝石衬底，无需在衬 底上形成高度的凹凸，照样可以制作出高亮度的发光二极管器件。
技术介绍
出光效率的提高，是获得高亮度发光二极管所必须解决的问题。尤其是采用高折射率物质的氮化镓系 发光二极管，迄今为止已试用了多种方法来提高出光效率。其中最具代表性的方法有增加氮化镓的表面 粗糙度，侧面形成坡度，以及在用于外延生长的衬底表面形成凹凸来提高出光效率等等。现常用的技术是在衬底上形成凹凸，从而达到提高出光效率的目的。通常，由于凹凸的高度为发光波 长的几十倍左右，不仅给衬底制作带来困难，而且在衬底上生长薄膜时，由于存在凹凸的侧面生长边界层 而导致非常高的器件不合格率。另外，凹凸衬底上薄膜的生长厚度大于平面衬底上薄膜的生长厚度，导致 大量的材料浪费，而且时间浪费也是不容忽视的重要因素。因此，通过在衬底表面形成高度凹凸，并在该 凹凸面上利用反射作用提高出光效率的方式，难以实现衬底的批量生产以及在衬底上稳定生长外延片，既 不能提高发光二极管的生产效率，还存在工艺时间和工艺费用增加的问题。
技术实现思路
本专利技术就是要解决上述这些问题，提出了利用光衍射改变光的方向，从而提高出光效率的方案。本发 明对普遍使用的现有在衬底表面形成凹凸的方式进行改善，该方法的优点是无需在衬底上形成高度的凹 凸，不仅在制作高亮度发光二极管时提高出光效率，而且简化了衬底上形成凹凸的工艺，有利于提高生产 效率。采用本专利技术提出的方法制作发光二极管，与衬底上形成高度凹凸、引起内部光反射来提高出光效率的 现有方式，其效果表现在以...
【技术保护点】
一种在衬底上形成凹凸而制作成的发光器件，其特征在于：上述衬底上的凹凸的高度小于发光波长。
【技术特征摘要】
1.一种在衬底上形成凹凸而制作成的发光器件，其特征在于上述衬底上的凹凸的高度小于发光波长。2. 根据权利要求1所述的发光器件，其特征在于凹凸的高度为发光波长的1/4。3. 根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：金英镐，金学峰，
申请(专利权)人：清芯光电有限公司，
类型：发明
国别省市：13[中国|河北]
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