近场探头的校准方法、装置、系统、设备及存储介质制造方法及图纸

本公开涉及一种近场探头的校准方法、装置、系统、设备及存储介质，方法包括对所述近场探头施加近场，获取所述近场探头在第一角度条件下的所述近场的第一特征参数，以及所述近场探头的第一总输出信号和第二总输出信号；将所述第一总输出信号和第二总输出信号通过校准矩阵、所述第一特征参数进行表征，构建第一传递模型；获取所述近场探头在第二角度条件下的所述近场的第二特征参数，以及所述近场探头的第三总输出信号和第四总输出信号；构建第二传递模型；根据所述第一传递模型和第二传递模型计算获得所述校准矩阵的参数因子。本公开消除了第一传输链路和第二传输链路不对称产生的影响，提高了近场探头扫描的准确度。提高了近场探头扫描的准确度。提高了近场探头扫描的准确度。

【技术实现步骤摘要】
近场探头的校准方法、装置、系统、设备及存储介质


[0001]本公开涉及近场探头校准
，特别是涉及一种近场探头的校准方法、装置、系统、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]随着科技水平的高速发展，集成电路正在朝着更加小型化、高频化和高密度化的方向发展。集成电路在给人们的生活带来便利的同时，也提高了对其电磁可靠性的要求。针对上述问题，国际标准IEC61967中规定的近场扫描法是检测电磁可靠性十分有效的诊断方法。近场探头是近场扫描中最重要的组成部分之一，多端口电场或磁场近场探头是近场探头中十分具有优势的探头类型，但是多端口电场或磁场近场探头在应用过程中往往面临非对称性的问题，使得多端口电场或磁场探头的工作频率应用范围以及测量准确度大打折扣。

技术实现思路

[0003]基于此，针对上述技术问题，本公开提供了一种近场探头的校准方法、装置、系统、设备及存储介质。其中，一种近场探头的校准方法，所述近场探头包括第一接头和第二接头，所述第一接头用于与矢量分析仪的第一端口连接，所述第二接头用于与矢量分析仪的第二端口连接，所述近场探头的探测部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种近场探头的校准方法，其特征在于，所述近场探头包括第一接头和第二接头，所述第一接头用于与矢量分析仪的第一端口连接，所述第二接头用于与矢量分析仪的第二端口连接，所述近场探头的探测部与所述第一接头、第一端口形成第一传输链路，所述近场探头的探测部与所述第二接头、第二端口形成第二传输链路，所述方法包括步骤：对所述近场探头施加近场，获取所述近场探头在第一角度条件下的所述近场的第一特征参数，以及所述近场探头的第一总输出信号和第二总输出信号；所述第一总输出信号为所述第一端口的输入信号，所述第二总输出信号为所述第二端口的输入信号；将所述第一总输出信号和第二总输出信号通过校准矩阵、所述第一特征参数进行表征，构建第一传递模型；获取所述近场探头在第二角度条件下的所述近场的第二特征参数，以及所述近场探头的第三总输出信号和第四总输出信号；所述第三总输出信号为所述第一端口的输入信号，所述第四总输出信号为所述第二端口的输入信号；所述第二角度不等于所述第一角度；将所述第三总输出信号和第四总输出信号通过所述校准矩阵、所述第二特征参数进行表征，构建第二传递模型；根据所述第一传递模型和第二传递模型计算获得所述校准矩阵的参数因子，根据所述校准矩阵的参数因子对所述近场探头进行校准。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括，根据所述第一传输链路和第二传输链路的散射参数，表征所述校准矩阵；所述校准矩阵包括所述参数因子，所述参数因子包括第一电场因子K
e1
、第二电场因子K
e2
、第一磁场因子K
h1
、第二磁场因子K
h2
，所述校准矩阵为3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将所述第一总输出信号和第二总输出信号通过校准矩阵、所述第一特征参数进行表征，构建第一传递模型包括：设定所述第一总输出信号为b3，设定所述第二总输出信号b2，所述第一特征参数包括电场和磁场所述第一传递模型表示为4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将所述第三总输出信号和第四总输出信号通过所述校准矩阵、所述第二特征参数进行表征，构建第二传递模型包括：设定所述第三总输出信号为b
′3，设定所述第四总输出信号b
′2，所述第二特征参数包括电场和磁场所述第二传递模型表示为5.一种近场探头的校准装置，其特征在于，所述近场探头包括第一接头和第二接头，所述第一接头用于与矢量分析仪的第一端口连接，所述第二接头用于与矢量分析仪的第二端口连接，所述近场探头的探测部与所述第一接头、第一端口形成第一传输链路，所述近场探头的探测部与所述第二接头、第二端口形成第二传...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵伟恒，黄权，方文啸，王磊，黄云，路国光，易志强，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：