锁紧组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种锁紧组件，用于对待装配组件进行锁紧，包括筒体和弹性伸缩件，筒体包括沿轴向方向活动设置的第一部分和第二部分，使得第一部分和第二部分能够沿轴向方向发生相对运动，第二部分外壁设置有标尺；防转件，防转件设有滚动组件；定位锁紧件，贯穿筒体、防转件和弹性伸缩件；锁紧调节件，活动套设于定位锁紧件。本实用新型专利技术的锁紧组件增加了待装配组件的受力面积并可精准控制锁紧力矩，保护了待装配组件不会损坏避免了弹性伸缩件与筒体之间的摩擦造成的扭曲，保证了弹性伸缩件的稳定性。的稳定性。的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
锁紧组件


[0001]本技术涉及锁紧装置领域，尤其涉及锁紧组件。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备中涉及到多处金属法兰和石英法兰相互配合的场景。例如在高温真空设备中，低温区的金属管道与高温区的石英腔体需进行密封连接，即采用金属法兰和石英法兰相互配合锁紧的方式。对于厚度为10mm左右的石英法兰而言，其上的扭矩一般要控制在2N.m以下。一般采用螺杆螺母锁紧，但普通螺母锁紧行程短，很难取到合适的力矩扳手，所以安装人员无法精确控制锁紧力矩，容易造成石英法兰破裂，而且力矩扳手成本高；且普通螺母受力面积小，石英法兰上与螺母接触的部位压强大，也容易损坏石英法兰。
[0003]因此，有必要提供一种锁紧组件以解决上述的现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于一种锁紧组件，以实现精确控制锁紧力矩并提高弹性伸缩件的运动稳定性。
[0005]为实现上述目的，本技术的所述一种锁紧组件，用于对待装配组件进行锁紧，包括：
[0006]筒体，所述筒体包括沿所述轴向方向活动设置的第一部分和第二部分，使得所述第一部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锁紧组件，用于对待装配组件(1)进行锁紧，其特征在于，包括：筒体(2)，所述筒体(2)包括沿轴向方向活动设置的第一部分和第二部分，使得所述第一部分和所述第二部分能够沿所述轴向方向发生相对运动，所述第二部分外壁设置有标尺(220)；防转件(3)，设置于所述筒体(2)远离所述待装配组件(1)的一端部，所述防转件(3)设有滚动组件；弹性伸缩件(4)，设置于所述筒体(2)内，所述弹性伸缩件(4)的两端分别顶靠在所述筒体(2)的两端；定位锁紧件(5)，贯穿所述筒体(2)、所述防转件(3)和所述弹性伸缩件(4)，所述定位锁紧件(5)的一个端部设置有用于锁紧待装配组件(1)的紧固部，另一端部设置有锁紧部；锁紧调节件(6)，活动套设于所述定位锁紧件(5)，并与所述锁紧部相接触。2.如权利要求1所述的锁紧组件，其特征在于，所述防转件(3)设置于所述筒体(2)内，所述弹性伸缩件(4)的一端与所述防转件(3)抵接。3.如权利要求1所述的锁紧组件，其特征在于，所述防转件(3)设置于所述筒体(2)外，所述锁紧调节件(6)与所述防转件(3)抵接。4.如权利要求1所述的锁紧组件，其特征在于，所述防转件(3)包括设置于所述筒体(2)内的第一防转件和设置于所述筒体(2)外的第二防转件，所述弹性伸缩件(4)的一端与所述第一防转件(3)抵接，所述锁紧调节件(6)与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐春阳，郑冬，刘明军，
申请(专利权)人：楚赟精工科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：