一种保压测漏系统技术方案

本实用新型专利技术提出一种保压测漏系统，包括主控制阀、保压进气管、气体主输入管、放空管、放空阀门和主测漏组件；所述主控制阀设置于保压进气管；所述保压进气管与所述气体主输入管首尾相连；所述放空管与所述保压输出管连接，所述放空管设置有放空阀门；所述主测漏组件包括主保压输出管、主保压阀门、主压力表和主保压连接管；所述主保压输出管与所述气体主输入管的输出端连接；所述主保压输出管设置有所述主保压阀门；所述主压力表设置于所述主保压输出管；所述主保压连接管设置于所述保压输出管的输出端；本实用新型专利技术可以快速便捷的对钢瓶阀门进行气密性的检测，操作简单，检测精确有效且效率高，有效保证钢瓶的气密性。有效保证钢瓶的气密性。有效保证钢瓶的气密性。

【技术实现步骤摘要】
一种保压测漏系统


[0001]本技术涉及钢瓶保压测漏的
，特别是一种保压测漏系统。

技术介绍

[0002]电子气体，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。钢瓶，即贮存高压氧气、煤气、石油液化气等的钢制瓶。气体钢瓶一般盛装永久气体、液化气体或混合气体。
[0003]目前的电子气体大部分采用钢瓶进行存储和运输，除了对气体要求特别，对气瓶阀门的性能也有一定的要求，钢瓶阀门的接口的内外表面若存在缺陷，就会导致阀门微漏，影响后续用气方工艺。

技术实现思路

[0004]针对上述缺陷，本技术的目的在于提出一种保压测漏系统，解决现有技术无法对钢瓶阀门气密性进行检测的问题。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种保压测漏系统，包括主控制阀、保压进气管、气体主输入管、放空管、放空阀门和主测漏组件；
[0007]所述主控制阀设置于保压进气管；所述保压进气管与所述气体主输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保压测漏系统，其特征在于：包括主控制阀、保压进气管、气体主输入管、放空管、放空阀门和主测漏组件；所述主控制阀设置于保压进气管；所述保压进气管与所述气体主输入管首尾相连；所述放空管与所述保压输出管连接，所述放空管设置有放空阀门；所述主测漏组件包括主保压输出管、主保压阀门、主压力表和主保压连接管；所述主保压输出管与所述气体主输入管的输出端连接；所述主保压输出管设置有所述主保压阀门；所述主压力表设置于所述主保压输出管；所述主保压连接管设置于所述保压输出管的输出端。2.根据权利要求1所述的一种保压测漏系统，其特征在于：还包括有次级测漏机构；所述次级测漏机构和所述主测漏组件并联连接于所述气体主输入管；所述次级测漏机构包括气体副输入管和若干副测漏组件；所述气体副输入管与所述气体主输入管的输出端连接；若干所述副测漏组件并联连接于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈艳珊，傅铸红，张胜超，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：