【技术实现步骤摘要】
一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置
[0001]本技术涉及液晶面板生产加工设备
，具体是一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置。
技术介绍
[0002]在液晶面板生产过程中，通常会使用刻蚀气体来处理玻璃基板上生成的绝缘膜，由于反应空间密闭，刻蚀气体不只会作用到基板的表面，同时也会向周边扩散，为了保护腔室，在实际生产过程中，通常会在腔室内安装一些耐腐蚀的部件，这些耐腐蚀的部件通常被阳极壁板。阳极壁板的主要成分为合金铝，表面通过阳极氧化形成有一层氧化铝，这层氧化铝有很高的耐腐蚀性能，有效的保护了腔室。
[0003]在阳极壁板的生产过程中，会使用化学药液来对其合金表面进行处理，在通过药液进行处理后，通常会配置一个水槽，来清洗掉其表面的残余药液。阳极壁板在由药液槽向水槽转移的过程中，通常会有40～50秒的停留时间，通常称之为空停时间。
[0004]在空停时，阳极壁板表面的一些孔洞区域通常会有药液流出，从而在阳极壁板的表面形成药液痕迹，尤其在气温较高的环境下，药液痕迹愈专利技术显。常规的消除药液流痕的做法是对...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置，包括有药液槽，其特征在于：所述药液槽的上方设置有可将阳极壁板送入药液槽或将阳极壁板移出药液槽的吊具，药液槽的上端口在分别对应平行于阳极壁板的两侧表面的二个边沿处均固定有进水管，二个所述的进水管均呈横向设置，二个所述进水管在相对的一侧管壁上均固定连接有若干个喷嘴。2.根据权利要求1所述的一种用于消除阳极壁板表面药液流痕的装置，其特征在于：所述的吊具包括有横杆，所述的横杆上部的两侧分别固定连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：余宵，郑军东，李秀锋，代勇超，
申请(专利权)人：安徽晶海纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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