多层压电式微位移致动器制造技术

多层压电式微位移致动器，由多个压电陶瓷层叠堆成压电陶瓷堆，该多个压电陶瓷层两两之间分别设有多个内电极，该多个内电极形成两个彼此非接触的内电极组，该两个内电极组以交替方式分别向该压电陶瓷堆两侧延伸，并分别与设于该压电陶瓷堆两侧的两个外电极导通连接，该两个外电极分别由位于该压电陶瓷堆内侧、具有防导电离子迁移的导电阻挡层和位于外侧、具有防裂缝的导电弹性层组成。该导电阻挡层由至少包含铜、镍、钯、铝及合金中一种材料组成。该导电弹性层为具有导电介质的软性或弹性导电胶或导电胶带，本发明专利技术具有非常简单、易行、有效和经济，并能防止导电离子迁移、防止伸缩过程中导电材料裂缝。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多层压电式微位移致动器的改进。技术背景这种多层压电式微位移致动器是公知的。来源于独石电容器，它是利用多个 具有内电极的膜片按照一定的方式叠堆，通过等静压压制，然后切割成所需大小后共烧；也可采用先制成压电陶瓷单片，再利用其银电极在加高温时粘 接或采用胶粘剂粘接的假独石方法。在传统的微致动器中，两组内电极通过涂覆在堆垛的两个侧面的金属层 连接引出，如图1所示，由多个压电陶瓷层3之间内电极形成两组内电极1， 并分别于该压电陶瓷层3两侧的两个外电极4导通连接。当微致动器在外加 电压的作用下不断伸长或縮短，这些金属涂层受到较大的交变应力的作用， 很易导致外电极产生裂纹，该裂纹能导致外电极的电阻变大而产生电弧，电 弧使外电极很快断裂。外电极断裂导致电流的阻断，从而不能正常的工作， 这些都是传统的微致动器的制作方法所存在的问题，如图2所示，出现外电 极断裂层6。另外在传统器件的绝缘边部分是不具备任何保护，而一般使用的电极材 料为银，它的迁移能力较强，在一定的程度上会导致绝缘下降。在传统器件 的绝缘边部分就存在着很大的隐患。
技术实现思路
为了弥补多层压电式微位移致动器传统制作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层压电式微位移致动器，由多个压电陶瓷层（３）叠堆成压电陶瓷堆，该多个压电陶瓷层（３）两两之间分别设有多个内电极（８），该多个内电极（８）形成两组彼此非接触的内电极组（１），该两组内电极组以交替方式分别向该压电陶瓷堆两侧延伸，并分别与设于该压电陶瓷堆两侧的两个外电极（４）导通连接，其特征在于，该两个外电极（４）分别由贴合于该压电陶瓷堆两侧的、防导电离子迁移的两导电阻挡层（１０）和贴合于该两导电阻挡层（１０）的、防裂缝的导电弹性层（１１）组成。

【技术特征摘要】
1、一种多层压电式微位移致动器，由多个压电陶瓷层(3)叠堆成压电陶瓷堆，该多个压电陶瓷层(3)两两之间分别设有多个内电极(8)，该多个内电极(8)形成两组彼此非接触的内电极组(1)，该两组内电极组以交替方式分别向该压电陶瓷堆两侧延伸，并分别与设于该压电陶瓷堆两侧的两个外电极(4)导通连接，其特征在于，该两个外电极(4)分别由贴合于该压电陶瓷堆两侧的、防导电离子迁移的两导电阻挡层(10)和贴合于该两导电阻挡层(10)的、防裂...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘铁政，王晓峰，
申请(专利权)人：昆山攀特电陶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]