制造压电促动器的方法和制造液体输送装置的方法制造方法及图纸

在振动板的上表面上在与压力腔室对应的位置处形成凹进。接着，在该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板低的弹性模量。然后，在振动板的上表面上喷洒包括压电材料粒子和载体气体的气雾，以形成压电层。这时，压电材料粒子不附着于填充在凹进中的低弹性材料的表面，因此能够只在除了低弹性材料的该表面之外的区域中形成压电层。因此，提供了一种制造压电促动器的方法，该方法能够容易地防止在通过气雾沉积方法形成压电层时在凹进的表面上形成压电层。本发明专利技术还提供制造包括该压电促动器的液体输送装置的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。技术背景一般来说，作为从喷嘴喷墨的喷墨头，已知有一种喷墨头，该喷 墨头具有压电促动器，该压电促动器利用在电场作用于压电材料层上时产生的压电变形(压电应变)对墨施加喷射压力。例如，在日本专利申请特开2006-96034中描述的喷墨头的压电促 动器具有振动板，该振动板由金属制成，且覆盖通道单元中形成的 多个压力腔室；布置在振动板的上表面上的压电层；和多个单独电极， 所述多个单独电极分别布置在压电层的上表面上面对所述多个压力腔 室的区域中。然后，在该压电促动器中，当在压电层的上表面上的单 独电极和位于压电层的下侧的作为共同电极的振动板之间施加预定驱 动电压时，压电层收縮，并且在振动板中产生弯曲变形。然后，压力 腔室中的容积随着振动板的该变形而改变，由此对压力腔室中的墨施 加喷射压力。另外，在日本专利申请特开2006-96034的压电促动器中，在振动 板的上表面中形成有凹进部分(沟槽、凹槽)。作为凹进部分，公开了一 种形成在面对压力腔室的区域中的凹进部分和一种形成在不面对压力腔室的外侧区域中的凹进部分。然后，通过利用气雾沉积方法(AD方 法)等将压电材料粒子沉积在包括所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造压电促动器的方法，该方法包括：　　　　提供基部构件和振动板，该基部构件包括不干涉部分，该振动板在其接合表面上接合以覆盖该不干涉部分，振动板具有堆叠表面，在该堆叠表面上将振动板堆叠在基部构件上，并且堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上；　　　　在振动板的堆叠表面中在与不干涉部分对应的位置处形成凹进；　　　　在振动板的该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板的堆叠表面的弹性模量低的弹性模量；　　　　通过将包含压电材料粒子和载体气体的气雾吹到振动板的堆叠表面上以将压电材料粒子沉积在堆叠表面的与填充在凹进中的低弹性材料的表面不同的区域上来形成压电层；并且　　　　形成布置在压电层的一个表面...

【技术特征摘要】
JP 2007-2-16 2007-035688;JP 2007-2-16 2007-0356891.一种制造压电促动器的方法，该方法包括提供基部构件和振动板，该基部构件包括不干涉部分，该振动板在其接合表面上接合以覆盖该不干涉部分，振动板具有堆叠表面，在该堆叠表面上将振动板堆叠在基部构件上，并且堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上；在振动板的堆叠表面中在与不干涉部分对应的位置处形成凹进；在振动板的该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板的堆叠表面的弹性模量低的弹性模量；通过将包含压电材料粒子和载体气体的气雾吹到振动板的堆叠表面上以将压电材料粒子沉积在堆叠表面的与填充在凹进中的低弹性材料的表面不同的区域上来形成压电层；并且形成布置在压电层的一个表面上的第一电极和布置在压电层的另一个表面上的第二电极。2. 如权利要求l所述的制造压电促动器的方法，其中所述低弹性 材料具有流动性。3. 如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，还包括在形成所 述压电层之后去除所述低弹性材料。4. 如权利要求3所述的制造压电促动器的方法，还包括在形成所 述压电层之后在所述压电层上进行热处理，其中所述低弹性材料的热 分解温度比在该热处理中用于所述压电层的热处理温度低。5. 如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动 板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的区域处形成所述凹进。6. 如权利要求5所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的周边部分的区域处形成 所述凹进。7. 如权利要求5所述的制造压电促动器的方法，其中在所述振动 板的所述堆叠表面上在面对所述不干涉部分的中央部分的区域处形成 所述凹进。8. 如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中所述基部构件具有作为所述不干涉部分的多个单独不干涉部分以及将所述多个单独不干涉部分分隔开的分隔壁；并且在所述振动板的所述堆叠表面上在面对该分隔壁的区域处形成所 述凹进。9. 如权利要求2所述的制造压电促动器的方法，其中所述振动板 由金属材料构成，不断地对所述第一电极施加预定参考电位，并且选 择性地对第二电极施加该参考电位和与参考电位不同的预定驱动电位 中的一个电位，并且该方法还包括在所述振动板的所述堆叠表面中形成所述凹进之后形成绝缘层，该绝缘层覆盖所述堆叠表面上的所述凹进；在所述绝缘层的表面上在不面对所述凹进的区域处形成所述第一 电极；并且在所述绝缘层的表面上形成所述压电层以覆盖所述第一电极之 后，在所述压电层的位于与所述振动板相反的一侧上的另一个表面上 在面对所述第一电极的区域处形成所述第二电极。10. 如权利要求1所述的制造压电促动器的方法，其中所述低弹 性材料成形为具有小球或棒形式。11. 一种制造液体输送装置的方法，包括提供通道单元，在该通道单元中形成有包括压力腔室的液体通道;提供振动板，该振动板在其接合表面上接合到通道单元的一个表 面上以覆盖该压力腔室，振动板具有堆叠表面，在该堆叠表面上将振 动板堆叠到基部构件上，并且堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上;在振动板的堆叠表面中在与压力腔室对应的位置处形成凹进；在振动板的该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动 板的堆叠表面低的弹性模量；通过将包含压电材料粒子和载体气体的气雾吹到振动板的堆叠表 面上以将压电材料粒子沉积在与填充在凹进中的低弹性材料的表面不 同的区域上来形成压电层；通过在压电层的一个表面上布置第一电极并在压电层的另一个表 面上布置第二电极来形成压电促动器；并且将压电促动器布置在通道单元的所述一个表面上。12. 如权利要求IO所述的制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅原宏人，
申请(专利权)人：兄弟工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]