一种转移真空样品托及真空互联系统技术方案

本发明专利技术公开了一种转移真空样品托，包括第二托体组件和热电偶，第二托体组件上开设有容纳槽和设于容纳槽两相对侧的一对第二插槽，两个第二插槽的延伸方向相同并与容纳槽连通，热电偶固定在第二托体组件上并位于容纳槽的第一端；热电偶延伸至容纳槽下方，用于在小样品托的宽度方向的两侧自容纳槽的第二端插入第二插槽时，与小样品托接触。本发明专利技术还公开了一种真空互联系统。本发明专利技术的转移真空样品托具有供小样品托插入并固定的功能，可同时应用于近常压扫描隧道显微镜和低温扫描隧道显微镜中，并且可在小样品托插入转移真空样品托后使得热电偶与小样品托自动接触，从而实现样品温度的检测，实现了两种不同扫描隧道显微镜之间样品的传递和真空互联。品的传递和真空互联。品的传递和真空互联。

【技术实现步骤摘要】
一种转移真空样品托及真空互联系统


[0001]本专利技术涉及真空机械领域，尤其涉及一种转移真空样品托及真空互联系统。

技术介绍

[0002]由于在地球上的人造真空可以实现局域的超洁净环境，对特定材料的生长、制备以及科学研究具有重要的意义，如半导体晶圆生长、半导体体器件制备、电子扫描显微镜检测物体、透射电子显微镜检测材料的界面等过程，都是在人造真空环境下进行的。为更好的利用真空高洁净特性连续的研究材料生长、器件制备、性能的检测，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所设计并建造了一套真空互联系统。在该真空互联系统中，所有相关的材料生长、器件制备、性能检测的设备都利用真空管道进行了连接，并在互联的真空管道中布置了磁力推动样品传送小车，用来将研究的样品从一个设备传送至另一个设备，使得被研究样品本身在全生命周期内不必因为样品传送而暴露到大气中引入污染。
[0003]真空互联试验站有多台扫描隧道显微镜，由于需要对材料特性进行全面的分析和检查，这些扫描隧道显微镜通常会有两种或两种以上。其中，超低温扫描隧道显微镜(Ultra-low Temperatu本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转移真空样品托，其特征在于，包括第二托体组件(21)和热电偶(22)，所述第二托体组件(21)上开设有容纳槽(2110)和设于所述容纳槽(2110)两相对侧的一对第二插槽(C2)，两个所述第二插槽(C2)的延伸方向相同并与所述容纳槽(2110)连通，所述热电偶(22)固定在所述第二托体组件(21)上并位于所述容纳槽(2110)的第一端；所述热电偶(22)延伸至所述容纳槽(2110)下方，用于在小样品托(30)的宽度方向的两侧自所述容纳槽(2110)的第二端插入所述第二插槽(C2)时，与小样品托(30)接触。2.根据权利要求1所述的转移真空样品托，其特征在于，所述第二托体组件(21)包括第二托体(211)和固定在所述第二托体(211)顶部的第二压片(212)，所述第二托体(211)包括承载部(2111)和形成于所述承载部(2111)上的两个间隔的凸台(2112)；每个所述凸台(2112)上形成有凹陷的第二台阶部，两个所述凸台(2112)的第二台阶部朝向彼此设置，所述第二压片(212)的一端固定在所述凸台(2112)上，所述第二压片(212)的另一端朝向对侧的凸台(2112)延伸，并伸出其所在的凸台(2112)，与其下方的第二台阶部围成所述第二插槽(C2)。3.根据权利要求2所述的转移真空样品托，其特征在于，所述第二托体(211)的顶部凹陷设置，形成第二压片槽，所述第二压片(212)固定在所述第二压片槽内。4.根据权利要求2所述的转移真空样品托，其特征在于，所述第二托体(211)还包括与所述承载部(2111)的一端相连的抓取头(2113)，所述抓取头(2113)设于所述容纳槽(211...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志敏，丁孙安，龚忠苗，陆晓鸣，魏伟，王利，凌小伦，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：