一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置，所述装置包括信号处理计算装置、超声波发射探头、超声波接收探头和超声波能量转换器；当进行结垢检测时，所述超声波发射探头置于管道外壁处并发射超声波，信号处理计算装置经管道外壁处的超声波接收探头对超声波回波进行处理以探测管道内的结垢情况；当进行结垢清理时，所述超声波能量转换器的动力输入端与超声波发射探头相连，动力输出端驱动管道震动以除垢；本实用新型专利技术能快速掌握管道内部结垢厚度，并且可管道正常工况下对管道内部结垢进行清理。部结垢进行清理。部结垢进行清理。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其是一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置。

技术介绍

[0002]近年来，随着半导体工业的发展以及高速光电信息时代的来临半导体激光器的应用覆盖了整个光电子学领域，已成为当今光电子科学核心技术。一系列化合物半导体材料的研究和器件制造需求与MOCVD的技术发展紧密相关，MOCVD的技术发展并且促进新型器件的研制，目前各种主要类型的化合物半导体器件都用到MOCVD技术，用于制作高端器件，极大推动了微电子、光电子技术的发展。
[0003] MOCVD自身也存在一些缺点，采用有机金属作为源材料，使得在使用MOCVD设备时不可避免的对人体和环境产生一定危害，MOCVD在生长过程中，所用的反应源（例如PH3、AsH3、Si2H6）都是有剧毒的物品，所以在设计思想上，通常考虑其密封性，流量、温度、精确控制，一般由MO源供给系统、气体输运系统、流量控制系统、电力系统、反应腔室、尾气系统、安全系统、操作系统等构成。
[0004]在生长InP基光通信半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置，其特征在于：所述装置包括信号处理计算装置、超声波发射探头、超声波接收探头和超声波能量转换器；当进行结垢检测时，所述超声波发射探头置于管道外壁处并发射超声波，信号处理计算装置经管道外壁处的超声波接收探头对超声波回波进行处理以探测管道内的结垢情况；当进行结垢清理时，所述超声波能量转换器的动力输入端与超声波发射探头相连，动力输出端驱动管道震动以除垢。2.根据权利要求1所述的一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置，其特征在于：所述信号处理计算装置与数据存储装置相连以存储探测数据，还与显示器相连以显示探测数据。3.根据权利要求1所述的一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置，其特征在于：当进行结垢检测时，所述超声波发射探头置于管道外壁超声波检测位处的耦合剂涂层上。4.根据权利要求3所述的一种MOCVD尾气系统管道结垢检测及清理装置，其特征在于：当进行结垢清...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐通通，罗海林，钟祺，
申请(专利权)人：福建中科光芯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：