一种氮化铝陶瓷基板表面处理研磨机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种氮化铝陶瓷基板表面处理研磨机，它主要解决了现有技术中氮化铝基板表面研磨机的研磨效果低的问题，包括机架、研磨工位、驱动电机、导柱、横梁、直线驱动装置以及研磨装置，研磨工位的中部设有第一通孔，该第一通孔处设有主动齿轮，驱动电机与主动齿轮传动连接，研磨工位处均布有若干个用于固定氮化铝基板的定位装置，研磨工位上设有排水槽，研磨装置包括支架、配水盘以及研磨盘，配水盘上分别连接有进水管和出水管，研磨盘的中部设有第二通孔，该第二通孔处设有与主动齿轮啮合传动的内齿轮，研磨盘上设有复数个喷水孔，研磨盘上设有用于罩住各个喷水孔的罩体，罩体与研磨盘形成一供冷却液流动的流道，流道与出水管连接。水管连接。水管连接。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝陶瓷基板表面处理研磨机


[0001]本技术涉及一种氮化铝陶瓷基板表面处理研磨机。

技术介绍

[0002]传统的陶瓷基板研磨装置的结构，如中国专利申请号：201521123027.6公开的一种陶瓷基板的火山口研磨清洁机，包括供料系统、研磨清洁系统，所述研磨清洁系统包括圆盘、支架、毛刷、电动机，所述圆盘上设有四个定位装置，所述圆盘的下方设有伺服电机，所述圆盘靠近定位装置处设有收送料装置，所述收送料装置包括收料吸着手和放料吸着手，所述收料吸着手的上端设有收料机械手，所述毛刷位于所述支架上，所述毛刷与所述支架之间设有调整手轮，所述毛刷与所述电动机连接。圆盘转动时，毛刷会对陶瓷基板的火山口进行清洁，并利用摩擦力对火山口进行研磨，能够有效的对陶瓷基板表面进行研磨；但是，设备在研磨中通过圆盘上设置的四个定位装置实现夹持定位，而毛刷依次对各个定位装置上的陶瓷基板进行研磨，其效率较低。
[0003]现有的有通过设置一个毛刷同时对多个陶瓷基板进行研磨，但由于散热不能得到很好的解决，使得研磨的效果差。

技术实现思路

[0004]因此，针本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷基板表面处理研磨机，其特征在于：包括机架、设于机架上的研磨工位、驱动电机、设于研磨工位周侧且沿竖直方向分布的导柱、设于导柱上的横梁、驱动横梁沿导柱运动的直线驱动装置以及设于横梁上的研磨装置，所述研磨工位的中部设有第一通孔，该第一通孔处设有主动齿轮，所述驱动电机与主动齿轮传动连接，所述研磨工位处均布有若干个用于固定氮化铝基板的定位装置，所述研磨工位上设有排水槽，所述研磨装置包括设于横梁上的支架、固设于支架上的配水盘以及设于配水盘下侧且可转动地设于支架上的研磨盘，所述配水盘上分别连接有进水管和出水管，所述研磨盘的中部设有第二通孔，该第二通孔处设有与主动齿轮啮合传动的内齿轮，所述研磨盘上设有复数个喷水孔，所述研磨盘上设有用于罩住各个喷水孔的罩体，所述罩体与研磨盘形成一供冷却液流动的流道，所述流道与出水管连接。2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨大胜，施纯锡，
申请(专利权)人：福建华清电子材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：