一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体传感器技术

本发明专利技术涉及一种一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体传感器，尤其是指一种可于室温下感测并具有较佳感测选择性的一氧化碳气体传感器及其制备方法。制备方法包括：提供一具有一上表面的基板；形成二组电极于此基板的上表面，且两组电极组成一对栉形电极；形成一覆盖电极的部分与基板上表面部分的氧化锡层；以及形成一有机聚合物层于氧化锡层的表面。一氧化碳气体传感器则包括：一具有一上表面的基板；二组位于基板上表面的电极；一覆盖二组电极部分与基板上表面部分的氧化锡层；以及一位于氧化锡层的表面有机聚合物层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体 传感器，尤其是指一种可于室温下制备，且制备所得的一氧化碳气体传感 器可于室温下感测并具有较佳感测选择性的一氧化碳气体传感器的制备 方法。
技术介绍
在现今的生活环境中常有一氧化碳(co)产生，例如车辆所排放出的尾气、工厂烟道所排放出的废气或煤炭瓦斯等均会产生一氧化碳。而当人体 一但吸入过量的一氧化碳时，其血液输送氧的功能将会大幅降低，且若人 体处于一具有高浓度一氧化碳的环境时，则会使其大脑失去正常功能甚至 会导致死亡。况且，由于一氧化碳为一种无色、无味、且无刺激性的气体， 使得人们并无法单单由其感官对此一危机产生任何事先预警的作用。因 此，在现今的环境中，感测一氧化碳气体的感测技术越发显出其重要性。 目前所使用的一氧化碳气体传感器可大略分为固态半导体式、光学 式、电化学式、和应用其它原理感测的一氧化碳气体传感器。其中，固态 半导体式一氧化碳气体传感器是以金属氧化物半导体材料侦测一氧化碳气体的存在，如氧化铟(In203)、氧化锡(Sn02)、氧化锌(ZnO)、氧化铁(Fe304)、 或氧化钩(W03)等等。但是，这些固态本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种一氧化碳气体传感器的制备方法，包括下列步骤：提供一具有一上表面的基板；形成二组电极于该基板上表面；形成一个氧化锡层，且该氧化锡层覆盖该二组电极部分与该基板上表面部分；以及形成一有机聚合物层于该氧化锡层表面。

【技术特征摘要】
1、 一种一氧化碳气体传感器的制备方法，包括下列步骤 提供一具有一上表面的基板；形成二组电极于该基板上表面；形成一个氧化锡层，且该氧化锡层覆盖该二组电极部分与该基板上表 面部分；以及形成一有机聚合物层于该氧化锡层表面。2、 如权利要求l所述的制备方法，其中，该二组电极由网印方式形成。3、 如权利要求l所述的制备方法，其中，该氧化锡层由电浆辅助沉积 法形成。4、 如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法所应用的 电桨功率介于25至150瓦之间。5、 如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法所应用的 反应气体至少包括氧气及四甲基锡。6、 如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法应用低温 电浆。7、 如权利要求l所述的制备方法，其中，该有机聚合物层为聚乙二醇层。8、 如权利要求7所述的制备方法，其中，该聚乙二醇层由旋转涂布法 形成。9、 如权利要求8所述的制备方法，其中，该旋转涂布法所应用的转速 介于800至1500 rpm之间。10、 如权利要求8所述的制备方法，其中，该旋转涂布法是应用聚乙 二醇溶液，且该聚乙二醇溶液的浓度介于l至12w.t.y。之间。11、 如权利要求10所述的制备方法，其中，该聚乙二醇溶液的聚乙二醇的分子量介于200至20000之间。12、 如权利要求l所述的制备方法，其中，该有机聚合...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈克绍，廖淑娟，陈运煌，张荣监，
申请(专利权)人：福华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]