一种半导体晶圆搬运设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体晶圆搬运设备，包括AGV小车、安装于AGV小车上的机器人及机械手，机器人与AGV小车之间设有安装箱，安装箱与机器人固定连接，安装箱的内部设有卡接机构，安装箱与AGV小车通过卡接机构卡接，卡接机构由转动连接在安装箱内顶部的双向丝杆、用于驱动双向丝杆的微型电机、螺纹连接在双向丝杆上对称设置的连接架、固定在连接架上的卡板及固定在安装箱内底部的导向套构成，连接架与导向套滑动连接，AGV小车的顶部固定有卡座，卡板将卡座卡接；该设备运行稳定高效，拆卸安装快速，具有缓冲防护功能，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆搬运设备


[0001]本技术属于搬运设备领域，具体涉及一种半导体晶圆搬运设备。

技术介绍

[0002]现今在半导体行业内，利用半导体机器人运输输晶圆片体类产品的做法非常广泛，其中半导体引导方式有三种：
[0003]1.电磁感应引导利用低频引导电缆形成的电磁场及电磁传感装置引导AGV小车的运行；
[0004]2.激光引导利用激光扫描器识别设置在其活动范围内的若干个定位标志来确定其坐标位置，从而引导AGV小车运行；
[0005]3.磁铁－－陀螺引导利用特制磁性位置传感器检测安装在地面上的小磁铁，再利用陀螺仪技术连续控制AGV小车的运行方向。
[0006]半导体机器人在使用期间需由专业人员进行定期检修，尤其对于AGV小车，以确保AGV正常运行，现有技术中半导体机器人通过螺栓固定在AGV小车顶部，检修时需将其拆卸，检修完成后再进行安装，安装和拆卸不够便利，所以需要针对性的改进设计。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种半导体晶圆搬运设备投入使用，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆搬运设备，包括AGV小车、安装于AGV小车上的机器人及机械手，所述机器人与AGV小车之间设有安装箱，所述安装箱与机器人固定连接，所述安装箱的内部设有卡接机构，所述安装箱与AGV小车通过卡接机构卡接。
[0009]优选的，所述卡接机构由转动连接在安装箱内顶部的双向丝杆、用于驱动双向丝杆的微型电机、螺纹连接在双向丝杆上对称设置的连接架、固定在连接架上的卡板及固定在安装箱内底部的导向套构成，所述连接架与导向套滑动连接，所述AGV小车的顶部固定有卡座，所述卡板将卡座卡接。
[0010]优选的，所述卡座的侧壁上开设有卡口，所述卡板滑动连接在卡口内。
[0011]优选的，所述缓冲机构包括缓冲板、活动杆及缓冲弹簧，所述活动杆滑动连接在安装箱的侧壁上，所述缓冲弹簧套接在活动杆上，所述缓冲弹簧位于安装箱内，所述缓冲板固定在活动杆的另一端。
[0012]优选的，所述AGV小车的顶部设有均匀分布的定位杆，所述安装箱的底部与定位杆滑动连接。
[0013]优选的，所述机械手上设有两组抓取手。
[0014]本技术的技术效果和优点：
[0015]1、该一种半导体晶圆搬运设备通过微型电机工作即能实现机器人与AGV小车的分
离，便于拆卸和安装AGV小车，方便工作人员进行拆卸检修，同时当AGV小车损坏，便于更换，不影响机器人使用，具有很强的实用性；
[0016]2、该一种半导体晶圆搬运设备通过在搬运机器人的前端设置缓冲机构，可有效防止机器人在行走路径上发生误碰而损坏，同时提供的缓冲力对夹持的半导体晶圆及设备内部零件均具有一定的防护功能，安全性高。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的侧视剖面图；
[0019]图3为本技术卡接机构的结构示意图；
[0020]图4为本技术的俯视图。
[0021]图中：
[0022]1、机器人；2、机械手；3、安装箱；4、AGV小车；
[0023]5、缓冲机构；51、缓冲板；52、活动杆；53、缓冲弹簧；
[0024]6、卡接机构；61、双向丝杆；62、微型电机；63、连接架；64、卡板；65、导向套；
[0025]7、卡座；8、定位杆。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]本技术提供了如图1
‑
4所示的一种半导体晶圆搬运设备，包括AGV小车4、安装于AGV小车4上的机器人1及机械手2，所述机器人1与AGV小车4之间设有安装箱3，所述安装箱3与机器人1固定连接，所述安装箱3的内部设有卡接机构6，所述安装箱3与AGV小车4通过卡接机构6卡接。
[0028]该半导体晶圆搬运设备工作时，利用激光扫描器识别设置在其活动范围内的若干个定位标志来确定其坐标位置，从而引导AGV小车4运行，移动时可选择最短的直线路径，省时间，能源，且不受空间大小制约。
[0029]所述卡接机构6由转动连接在安装箱3内顶部的双向丝杆61、用于驱动双向丝杆61的微型电机62、螺纹连接在双向丝杆61上对称设置的连接架63、固定在连接架63上的卡板64及固定在安装箱3内底部的导向套65构成，所述连接架63与导向套65滑动连接，所述AGV小车4的顶部固定有卡座7，所述卡板64将卡座7卡接。
[0030]所述卡座7的侧壁上开设有卡口，所述卡板64滑动连接在卡口内。
[0031]检修时需拆卸AGV小车4与机器人1,拆卸时，微型电机62带动双向丝杆61正向转动，双向丝杆61上螺纹连接的两个连接架63相互远离，进而带动两个卡板64脱离卡口，使AGV小车4与机器人1分离，然后分别对AGV小车4和机器人1进行检修，安装时，将安装箱3对准卡座7放置在AGV小车4顶部，然后启动微型电机62电源，使双向丝杆61反向转动，两个卡板64相互靠近并滑进卡座7上的卡口内进行固定，完成安装，拆卸安装快速方便，方便检修，
其中，导向套65用于导向连接架63活动，使卡板64运动时保持稳定，保证固定效果。
[0032]所述缓冲机构5包括缓冲板51、活动杆52及缓冲弹簧53，所述活动杆52滑动连接在安装箱3的侧壁上，所述缓冲弹簧53套接在活动杆52上，所述缓冲弹簧53位于安装箱3内，所述缓冲板51固定在活动杆52的另一端。
[0033]在机器人1沿指定路径运动时，当图中碰到障碍物时，首先缓冲板51撞击障碍物，缓冲板51被压缩，此时缓冲弹簧53受力拉长提供一定的缓冲力，具有一定的缓冲效果，对该搬运设备整体进行保护，防止设备运动时受到撞击而造成损伤，安全性更高。
[0034]所述AGV小车4的顶部设有均匀分布的定位杆8，所述安装箱3的底部与定位杆8滑动连接。通过定位杆8与安装箱3滑动连接，机器人1安装后能够对其进行定位，防止安装后的机器人1在AGV小车4上发生晃动，提高设备的整体运行稳定性。
[0035]所述机械手2上设有两组抓取手。通过两组抓取手能够同时对两个半导体晶圆进行抓取输送，更为高效，提高输送效率。
[0036]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆搬运设备，包括AGV小车(4)、安装于AGV小车(4)上的机器人(1)及机械手(2)，其特征在于：所述机器人(1)与AGV小车(4)之间设有安装箱(3)，所述安装箱(3)与机器人(1)固定连接，所述安装箱(3)的内部设有卡接机构(6)，所述安装箱(3)与AGV小车(4)通过卡接机构(6)卡接。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆搬运设备，其特征在于：所述卡接机构(6)由转动连接在安装箱(3)内顶部的双向丝杆(61)、用于驱动双向丝杆(61)的微型电机(62)、螺纹连接在双向丝杆(61)上对称设置的连接架(63)、固定在连接架(63)上的卡板(64)及固定在安装箱(3)内底部的导向套(65)构成，所述连接架(63)与导向套(65)滑动连接，所述AGV小车(4)的顶部固定有卡座(7)，所述卡板(64...

【专利技术属性】
技术研发人员：邬正杰，柴之槟，
申请(专利权)人：上海银田机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：