一种方便曝光机移动的安装架制造技术

本实用新型专利技术公开的属于曝光机技术领域，具体为一种方便曝光机移动的安装架，包括安装架、定位杆、辅助架和固定销，所述安装架前后外侧壁对称等距离开设有多个定位孔，所述安装架表面设置有刻度，所述安装架底部四周设置有多个带刹万向轮。该实用新型专利技术通过固定销将辅助架和安装架连接后，将曝光机底部沿辅助架内的滑动辊送入安装架上，再将辅助架和安装架分开后，而安装架设置有定位孔，定位孔内部滑动设置有定位杆，定位杆一端设置有夹板，夹板和安装架之间设置有弹簧，夹板在弹簧的作用下用于固定曝光机的外侧壁，通过安装架底部的带刹万向轮方便曝光机的移动搬运，而通过安装架设置的刻度，方便对曝光机所处位置进行定位。方便对曝光机所处位置进行定位。方便对曝光机所处位置进行定位。

【技术实现步骤摘要】
一种方便曝光机移动的安装架


[0001]本技术涉及曝光机
，具体为一种方便曝光机移动的安装架。

技术介绍

[0002]曝光机，作为半导体制程中重要的生产用机台，主要用于微影制程。一般而言，其与涂布显影机共同使用，完成微影制程中的图像形成步骤。
[0003]现有的曝光机由于自身体积较大，无论是搬运、定位都较为不便，不便于对曝光机后期的使用，因此需要研发一种方便曝光机移动的安装架。

技术实现思路

[0004]本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。
[0005]鉴于现有中存在的问题，提出了本技术。
[0006]因此，本技术的目的是提供一种方便曝光机移动的安装架，通过固定销将辅助架和安装架连接后，将曝光机底部沿辅助架内的滑动辊送入安装架上，再将辅助架和安装架分开后，而安装架设置有定位孔，定位孔内部滑动设置有定位杆，定位杆一端设置有夹板，夹板和安装架之间设置有弹簧，夹板在弹簧的作用下用于固定曝光机的外侧壁，通过安装架底部的带刹万向轮方便曝光机的移动搬运，而通过安装架设置的刻度，方便对曝光机所处位置进行定位。
[0007]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0008]一种方便曝光机移动的安装架，其包括安装架、定位杆、辅助架和固定销，所述安装架前后外侧壁对称等距离开设有多个定位孔，所述安装架表面设置有刻度，所述安装架底部四周设置有多个带刹万向轮，所述安装架前后外侧壁对称开设有连接孔一，每个所述定位孔内腔垂直滑动连接设置有所述定位杆，所述定位杆一端设置有夹板，所述夹板外和所述安装架内侧壁之间对称设置有弹簧，所述安装架左外侧壁贴合设置有所述辅助架，所述辅助架内腔滚动设置有多个滑动辊，所述滑动辊上表面和所述辅助架上表面共面，所述辅助架前后外侧壁均开设有连接孔二，所述连接孔二和所述连接孔一配合使用，所述固定销呈凹字形，所述固定销两端插接在所述连接孔一和所述连接孔二内腔。
[0009]作为本技术所述的一种方便曝光机移动的安装架的一种优选方案，其中：所述刻度表面涂抹有耐磨漆层。
[0010]作为本技术所述的一种方便曝光机移动的安装架的一种优选方案，其中：所述定位杆另一端设置有拉板，所述拉板包裹有橡胶防滑层。
[0011]作为本技术所述的一种方便曝光机移动的安装架的一种优选方案，其中：所
述辅助架一侧和地面同高，所述辅助架另一侧和所述安装架上表面同高。
[0012]作为本技术所述的一种方便曝光机移动的安装架的一种优选方案，其中：所述固定销外侧壁设置有把手，所述把手设置有防滑槽。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过固定销将辅助架和安装架连接后，将曝光机底部沿辅助架内的滑动辊送入安装架上，再将辅助架和安装架分开后，而安装架设置有定位孔，定位孔内部滑动设置有定位杆，定位杆一端设置有夹板，夹板和安装架之间设置有弹簧，夹板在弹簧的作用下用于固定曝光机的外侧壁，通过安装架底部的带刹万向轮方便曝光机的移动搬运，而通过安装架设置的刻度，方便对曝光机所处位置进行定位。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本技术进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0015]图1为本技术俯视结构示意图；
[0016]图2为本技术侧视内部结构示意图；
[0017]图3为本技术安装架、辅助架、固定销分开结构示意图；
[0018]图4为曝光机使用本技术时结构示意图；
[0019]图中：安装架100、定位孔110、刻度120、带刹万向轮130、连接孔一140、定位杆200、夹板210、弹簧220、拉板230、辅助架300、滑动辊310、连接孔二320、固定销400、曝光机500。
具体实施方式
[0020]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0021]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0022]其次，本技术结合示意图进行详细描述，在详述本技术实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0023]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0024]本技术提供如下技术方案：一种方便曝光机移动的安装架，在使用过程中，通过固定销将辅助架和安装架连接后，将曝光机底部沿辅助架内的滑动辊送入安装架上，再将辅助架和安装架分开后，而安装架设置有定位孔，定位孔内部滑动设置有定位杆，定位杆一端设置有夹板，夹板和安装架之间设置有弹簧，夹板在弹簧的作用下用于固定曝光机的外侧壁，通过安装架底部的带刹万向轮方便曝光机的移动搬运，而通过安装架设置的刻度，方便对曝光机所处位置进行定位。
[0025]请参阅图1至图4，包括安装架100、定位杆200、辅助架300和固定销400；
[0026]请再次参阅图1至图3，安装架100设置有定位孔110、刻度120、带刹万向轮130、连接孔一140，具体的，安装架100前后外侧壁对称等距离开设有多个定位孔110，安装架100表面设置有刻度120，刻度120表面涂抹有耐磨漆层，安装架100底部四周设置有多个带刹万向轮130，安装架100前后外侧壁对称开设有连接孔一140；
[0027]请再次参阅图1至图3，定位杆200设置有夹板210、弹簧220、拉板230，具体的，每个定位孔110内腔垂直滑动连接设置有定位杆200，定位杆200一端设置有夹板210，夹板210外和安装架100内侧壁之间对称设置有弹簧220，定位杆200另一端设置有拉板230，拉板230包裹有橡胶防滑层，通过拉板230方便拉动定位杆200；
[0028]请再次参阅图1至图3，辅助架300设置有滑动辊310、连接孔二320，具体的，安装架100左外侧壁贴合设置有辅助架300，辅助架300内腔滚动设置有多个滑动辊310，滑动辊310上表面和辅助架300上表面共面，辅助架300前后外侧壁均开设有连接孔二320，连接孔二32本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便曝光机移动的安装架，其特征在于：包括安装架(100)、定位杆(200)、辅助架(300)和固定销(400)，所述安装架(100)前后外侧壁对称等距离开设有多个定位孔(110)，所述安装架(100)表面设置有刻度(120)，所述安装架(100)底部四周设置有多个带刹万向轮(130)，所述安装架(100)前后外侧壁对称开设有连接孔一(140)，每个所述定位孔(110)内腔垂直滑动连接设置有所述定位杆(200)，所述定位杆(200)一端设置有夹板(210)，所述夹板(210)外和所述安装架(100)内侧壁之间对称设置有弹簧(220)，所述安装架(100)左外侧壁贴合设置有所述辅助架(300)，所述辅助架(300)内腔滚动设置有多个滑动辊(310)，所述滑动辊(310)上表面和所述辅助架(300)上表面共面，所述辅助架(300)前后外...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩在旺，
申请(专利权)人：动凯半导体设备安装上海有限公司，
类型：新型
国别省市：