一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构，包括超低温真空冷冻腔体和底板，底板设于腔体下侧敞口处，底板上设有两个通孔，底板上侧对应每个通孔处均设有环形凹槽，环形凹槽的底部和底板下侧均设有交替布置的第一环形槽，底板下侧对应通孔处设有安装法兰，安装法兰的上侧、下侧均设有若干交替布置的第二环形槽，安装法兰中心处设有混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔罩体、底板均呈非接触状态。其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。损失。损失。
【技术实现步骤摘要】
一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构
[0001]本技术涉及一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构。
技术介绍
[0002]集成电路芯片制做工艺中的离子注入工序，有时需要在超低温下进行，这就需要在离子注入机上配备超低温真空冷冻腔来达到超低温离子注入的目的。超低温真空冷冻腔包括超低温真空冷冻腔罩体和水平布置的底板，超低温真空冷冻腔内设有一进一出两个混合制冷工质管道，超低温真空冷冻腔使用时要抽真空，而由于混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁温差有150℃，将混合制冷工质管道直接连接于超低温真空冷冻腔的外壁上，会造成大量的冷量损失以及超低温真空冷冻腔壁结霜。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构，其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构，包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，底板上侧位置上对应每个通孔处均设有环绕通孔周向布置的环形凹槽，环形凹槽的底部和底板下侧均设有同轴布置的若干第一环形槽，环形凹槽的底部和底板下侧的第一环形槽沿通孔径向交替布置，底板下侧位置上对应通孔处设有水平布置的安装法兰，安装法兰与通孔同轴布置，安装法兰的上侧、下侧均设有若干与安装法兰同轴布置的第二环形槽，位于安装法兰上侧、下侧的第二环形槽沿安装法兰径向交替布置，位于底板下侧的第一环形槽与位于法兰上侧的第二环形槽沿安装法兰径向也呈交替布置，安装法兰中心处设有同轴布置且竖直走向的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔罩体、底板均呈非接触状态。
[0005]为简单说明问题起见，以下对本技术所述的一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构均简称为本结构。
[0006]本结构的优点：采用本结构，避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，而且由于超低温真空冷冻腔内使用时是抽真空的，底板与混合制冷工质管道之间没有了空气作为导热介质，隔热效果更好，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。另外底板上的环形凹槽、第一环形槽以及安装法兰上的第二环形槽都起到了降低导热材质截面积和降低导热效果的作用，从而进一步降低冷损耗。
[0007]为达到本结构更好的使用效果，其优选方案如下：
[0008]作为优选的，所述的安装法兰与底板之间通过螺栓紧固连接。
[0009]通过螺栓连接可以方便拆卸、维修和对易损件更换。
[0010]作为优选的，所述的安装法兰上侧位置上靠近周向边缘处嵌装有周向布置的密封圈。
[0011]密封圈可以防止外部空气从安装法兰与底板之间的缝隙中进入超低温真空冷冻腔内，保证超低温真空冷冻腔内的真空度，使本结构具有更好的隔热效果，进一步降低冷量损耗。
附图说明
[0012]图1是本结构的结构示意图。
具体实施方式
[0013]参见图1(图1中仅示出一个通孔及其对应的波纹管、混合制冷工质管道。)
[0014]一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构，包括超低温真空冷冻腔体1和水平布置的底板2，底板2设于超低温真空冷冻腔体1下侧敞口处并与其配合，底板2上设有两个用于安装混合制冷工质管道4的通孔21，底板2上侧位置上对应每个通孔21处均设有环绕通孔21周向布置的环形凹槽22，环形凹槽22的底部设有同轴布置的两个第一环形槽23，底板2下侧设有一个第一环形槽23，环形凹槽22的底部和底板2下侧的第一环形槽23沿通孔21径向交替布置，底板2下侧位置上对应通孔21处设有水平布置的安装法兰3，安装法兰3与通孔21同轴布置，安装法兰3的上侧设有两个与安装法兰3同轴布置的第二环形槽31，安装法兰3的下侧设有一个与安装法兰3同轴布置的第二环形槽31，位于安装法兰3上侧、下侧的第二环形槽31沿安装法兰3径向交替布置，位于底板2下侧的第一环形槽23与位于法兰3上侧的第二环形槽31沿安装法兰3径向也呈交替布置，安装法兰3中心处设有同轴布置且竖直走向的混合制冷工质管道4，混合制冷工质管道4上端穿过通孔21进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道4下端超出安装法兰3，混合制冷工质管道4与超低温真空冷冻腔罩体1、底板2均呈非接触状态。
[0015]所述的安装法兰3与底板2之间通过螺栓32紧固连接。
[0016]所述的安装法兰3上侧位置上靠近周向边缘处嵌装有周向布置的密封圈33。
[0017]本结构的优点：采用本结构，避免了混合制冷工质管道4与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，而且由于超低温真空冷冻腔内使用时是抽真空的，底板2与混合制冷工质管道4之间没有了空气作为导热介质，隔热效果更好，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。另外底板2上的环形凹槽22、第一环形槽23以及安装法兰3上的第二环形槽31都起到了降低导热材质截面积和降低导热效果的作用，从而进一步降低冷量损耗。
[0018]通过螺栓32连接可以方便拆卸、维修和对易损件更换。
[0019]密封圈33可以防止外部空气从安装法兰3与底板2之间的缝隙中进入超低温真空冷冻腔内，保证超低温真空冷冻腔内的真空度，使本结构具有更好的隔热效果，进一步降低冷量损耗。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于减少超低温真空冷冻腔冷量损耗的结构，其特征在于：包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，底板上侧位置上对应每个通孔处均设有环绕通孔周向布置的环形凹槽，环形凹槽的底部和底板下侧均设有若干同轴布置的第一环形槽，环形凹槽的底部和底板下侧的第一环形槽沿通孔径向交替布置，底板下侧位置上对应通孔处设有水平布置的安装法兰，安装法兰与通孔同轴布置，安装法兰的上侧、下侧均设有若干与安装法兰同轴布置的第二环形槽，位于安装法兰上侧、下侧的第二环形槽沿安装法兰径向交替布置...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙巍泉，杨陆晗，朱琳，张磊，
申请(专利权)人：普乐合肥光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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