【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单电荷束源，尤其是一种单电荷态ECR离子源。目前，常用单电荷态ECR离子源的磁场一般采用常规线包，如要达到所需磁场，其线包所加的电流则很高；而整个离子源在高压平台上工作，因而所需的外部电源也很庞大，常规线包形成磁场须采用水冷却线包；从而使整个设备造价高；并在调试离子源时，还需调节线包电源，增加了调节参数，如电源精度不高，易产生飘移信号。另常用的单电荷态ECR离子源与束流匹配的微波一般采用微波机，整套的微波机需采用保护电路来保护磁控管，另需采用测量反射系统，因而其整机造价高。本技术的目的在于提供一种利用双层水冷弧腔来冷却永磁体可避免对永磁体的腐蚀，另用永磁体代替线包，可减少调节量、降低造价，另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本的单电荷态ECR离子源。本技术的目的可通过如下措施来实现一种单电荷态ECR离子源，包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒；磁铁部分为永磁体，在弧腔内设有双层水冷；在微波窗前设有微波产生及传输装置。本技术相比现有技术具有如下优点1、本技术将线包改为永磁体，并优化磁场，由于其磁场为永久固定的，在永磁体形成的磁场达到要求时，可以省去辅助线圈，因而可降低造价，节约成本。2、本技术对弧腔进行水冷，可避免腐蚀永磁体。3、本技术使用简单的微波产生及传输装置，将磁控管直接放置在一激励波导腔上，产生的微波经过渡脊波导馈入弧腔，这种微波装置简单实用，可避免不必要的保护中断，大大降低成本。本技术的具体结构由以下附图给出附图说明图1是本技术的结构示意图1-微波窗 2-磁场3-辅助线圈4-弧腔5-等离子体电...
【技术保护点】
一种单电荷态ＥＣＲ离子源，包括微波窗（１）、磁铁部分（２）、弧腔（４）、等离子体电极（５）、吸极（６）、绝缘环（７）和法拉第筒（８）；其特征在于所述的磁铁部分（２）为永磁体，在弧腔（４）内设有双层水冷；在微波窗（１）前设有微波产生及传输装置（１４）。
【技术特征摘要】
1.一种单电荷态ECR离子源，包括微波窗(1)、磁铁部分(2)、弧腔(4)、等离子体电极(5)、吸极(6)、绝缘环(7)和法拉第筒(8)；其特征在于所述的磁铁部分(2)为永磁体，在弧腔(4)内设有双层水冷；在微波窗(1)前设有微波产生及传输装置(14)。2.如权利要求1所述的单电荷态ECR离子源，其特征在于所述的微波产生及传输装置(14)...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘占稳，张子民，丁俊章，赵玉彬，雷海亮，曹云，张雪珍，赵红卫，王义芳，
申请(专利权)人：中国科学院近代物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：62[中国|甘肃]
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