新型等离子体成像仪制造技术

一种等离子体成像仪，结构简单，操作方便，成本低廉．该仪器可将５－１００μｍ的表面起伏信号转变为不同层次的黑白信号，从而可获得凹凸分布花样的照片，其分辨率高达１００Ｌｉｎｅｓ／ｍｍ．本实用新型专利技术由上下一对金属电极，扫描装置、抽气装置、高压电源和机壳组成．本实用新型专利技术可用于半导体、晶体、玻璃、金属、纸张以及各种薄膜表面的检测，尤其在公安检测方面有重要的应用．（*该技术在1996年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种新型的等离子体成像仪，它包括上下一对金属电极和高压射频电源，其特征在于它具有扫描装置和抽气、充气装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周岳亮，顾世杰，陈正豪，吕惠宾，马小娟，刘宝秀，刘鸿兴，崔大复，顾古杰，刘宝秀，陈正豪，刘鸿兴，吕惠宾，崔大复，马小娟，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，北京安全局微技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]