一种扩散氧化炉的载片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散氧化炉的载片装置，包括两个端板、两个上支撑杆和两个下支撑杆，两个上支撑杆和两个下支撑杆连接于两个端板之间围城一个方框结构，两个上支撑杆之间设有多个沿上支撑杆长度方向间隔布置的上支撑棒，两个下支撑杆之间设有多个沿下支撑杆长度方向间隔布置的下支撑棒，相邻两个上支撑棒下方对应两个下支撑棒且四者围成载片存放区，在载片存放区内，两个上支撑棒之间的间距大于两个下支撑棒之间的间距。本实用新型专利技术解决了在相同的工艺时间内产能受到限制的问题，提高了工艺效果和工艺质量。工艺效果和工艺质量。工艺效果和工艺质量。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散氧化炉的载片装置


[0001]本技术涉及太阳能电池片生产设备，尤其涉及一种扩散氧化炉的载片装置。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种把太阳能直接转换为电能的新型电池。太阳能电池的制备过程中，依次需要经过制绒、扩散、氧化、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散氧化工艺是指硅片以载片装置为载体放入扩散氧化设备的反应炉中，在一定温度下向扩散氧化设备的反应炉中通入氮气和扩散源，从而在硅片表面扩散沉积PN结。
[0003]现有技术的载片装置通常采用一个舟托和多个舟架组成的方式，其中硅片的排列方式是沿载片装置在扩散氧化设备反应炉内进出方向水平排列。另一种方式是直接一个整体舟架，其中硅片的排列方式是沿载片装置在扩散氧化设备反应炉内进出方向竖直排列。现有载片装置受限于扩散氧化设备反应炉的空间大小和恒温区长度，相同的工艺时间内，单台设备的产能受到载片装置载片数量和自动化设备上下料节拍的限制。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种解决了在相同的工艺时间内产能受到限制的问题，提高了工艺效果和工艺质量的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散氧化炉的载片装置，其特征在于：包括两个端板(1)、两个上支撑杆(2)和两个下支撑杆(3)，两个上支撑杆(2)和两个下支撑杆(3)连接于两个端板(1)之间围城一个方框结构，两个上支撑杆(2)之间设于多个沿上支撑杆(2)长度方向间隔布置的上支撑棒(4)，两个下支撑杆(3)之间设有多个沿下支撑杆(3)长度方向间隔布置的下支撑棒(5)，相邻两个上支撑棒(4)下方对应两个下支撑棒(5)且四者围成载片存放区(6)，在载片存放区(6)内，两个上支撑棒(4)之间的间距大于两个下支撑棒(5)之间的间距。2.根据权利要求1所述的扩散氧化炉的载片装置，其特征在于：所述载片装置还包括至少一个中间加强板(7)，所述中间加强板(7)设于两个端板(1)之间，各上支撑杆(2)和各下支撑杆(3)支撑在中间加强板(7)上。3.根据权利要求2所述的扩散氧化炉的载片装置，其特征在于：所述中间加强板(7)设有透气孔(71)或透气槽。4.根据权利要求2所述的扩散氧化炉的载片装置，其特征在于：所述端板(1)和中间加强板(7)的底部设有用于上料装置通过的上料避让槽(11)。5.根据权利要求2所述的扩散氧化炉的载片装置，其特征在于：所述端...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴志明，赵志然，龙辉，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：