一种成像镜组及应用该成像镜组的干涉仪制造技术

本发明专利技术公开了一种成像镜组及应用该成像镜组的干涉仪，所述成像镜组包括沿光轴从物侧至像侧依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，三面透镜的前后表面均为球面。应用该成像镜组的干涉仪，利用双远心成像的特点，使用分辨率板对干涉仪分辨率标定，同时使得干涉仪成像更清晰，相位求解更加精确。相位求解更加精确。相位求解更加精确。

【技术实现步骤摘要】
一种成像镜组及应用该成像镜组的干涉仪


[0001]本专利技术属于干涉成像领域，具体为一种成像镜组及应用该成像镜组的干涉仪。

技术介绍

[0002]随着科学技术的飞速发展，光学元件在天文航天、高能激光等领域都有着十分重要的作用，因此对光学元件的面形检测也是加工过程中十分重要的一个环节。在众多检测方法中，光干涉检测技术以光波作为载体，且具有测量精度高、灵敏度高、非接触测量等特点成为目前的研究热点。在经典的光干涉测量系统中，光学系统结构形式主要分为两大类：分光路型和共光路型。其中斐索型干涉仪是共光路型的典型代表，具有抗干扰能力强，结构简单，被广泛应用于设备研发中。
[0003]传统的斐索型干涉仪，在实际面形测量中，容易出现相位解算不准等问题，这归因于干涉仪自身成像分辨率不高，因此提出了一种干涉仪成像镜组，结合仿真和实验结果验证，应用此成像镜组的菲索型干涉仪分辨率大大提升。此外，对于干涉仪分辨率测量，传统的测量方法使用台阶板，操作复杂，且受相位求解算法的影响，不能直观显示。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供了一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成像镜组，其特征在于：所述成像镜组适用于干涉仪，包括沿光轴从物侧至像侧依次设置的第一透镜（13）、第二透镜（14）和第三透镜（15），第一透镜（13）的前、后表面均为凸面，第二透镜（14）的前、后表面均为凹面，第三透镜（15）的前、后表面均为凸面；第一透镜（13）、第二透镜（14）和第三透镜（15）的前、后表面均为球面。2.根据权利要求1所述的一种成像镜组，其特征在于：所述成像镜组（9）的整体焦距为f，第一透镜（13）的焦距为f1，并满足下列条件：2.03<f/f1<2.27；第二透镜（14）的焦距为f2，并满足下列条件：
‑
4.81<f/f2<
‑
4.43；第三透镜（15）的焦距为f3，并满足下列条件：2.04<f/f3<2.32。3.根据权利要求1或2所述的一种成像镜组，其特征在于：所述第一透镜（13）、第二透镜（14）和第三透镜（15）的前、后表面的面形参数如下：名称面型半径(mm)厚度/间隔(mm)折射率(Nd)阿贝数(Vd)第一透镜前表面球面12.048.871.6256.73第一透镜后表面球面
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52.902.001.6256.73第二透镜前表面球面
‑
14.504.591.6236.63第二透镜后表面球面7.797.471.6236.63第三透镜前表面球面20.003.001.6256.73第三透镜后表面球面20.00
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1.6256.73。4.根据权利要求1所述的一种成像镜组，其特征在于：第一透镜（13）和第三透镜（15）为正屈光...

【专利技术属性】
技术研发人员：马骏，王念枫，朱日宏，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：