OCT测量装置以及OCT测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种OCT测量装置以及OCT测量方法。OCT测量装置(1)具备：波长扫描光源(2)，发出波长被扫描的光；光干涉仪(9)，将光分割为测定光(18)和参照光(19)，生成表示将测定光(18)向被测定物(20)的被测定面(21)照射并由被测定面(21)反射的测定光(18)与参照光(19)的干涉的强度的光干涉强度信号；相位调制部(17)，被配置于光干涉仪(9)的光路中；信号生成部(3)，基于光干涉强度信号，导出被测定面(21)的位置，并且生成指示相位调制部(17)的相位量的相位量指示信号；和相位量控制部(6)，基于相位量指示信号，控制对透射相位调制部(17)的光赋予的相位量。赋予的相位量。赋予的相位量。

【技术实现步骤摘要】
OCT测量装置以及OCT测量方法


[0001]本公开涉及OCT(Optical Coherence Tomography)测量装置以及OCT测量方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，公开了一种为了实现高品质且高精度的光干涉测量，实现使参照光路与测定光路的色散特性一致的所谓的色散补偿的技术。在专利文献1的光干涉断层装置中，从光源出射的光经由光纤耦合器而被分割为测定光路光纤侧的测定光和参照光路光纤侧的参照光。测定光路光纤侧的测定光经由扫描反光镜、扫描透镜以及物镜，到达被测定物。参照光路光纤侧的参照光经由第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料，到达参照反光镜。被配置于参照光路的第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料分别具有相反的波长色散特性。专利文献1的光干涉断层装置将第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料分别设为规定的厚度并进行组合，从而实现被测定物的色散补偿。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2013
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9734号公报
专利技术内容
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OCT测量装置，具备：波长扫描光源，发出波长被扫描的光；光干涉仪，将所述光分割为测定光和参照光，生成表示将所述测定光向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的所述测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号；相位调制部，被配置于所述光干涉仪的光路中；信号生成部，基于所述光干涉强度信号，导出所述被测定面的位置，并且生成对所述相位调制部的相位量进行指示的相位量指示信号；和相位量控制部，基于所述相位量指示信号，控制对透射所述相位调制部的光赋予的相位量。2.根据权利要求1所述的OCT测量装置，其中，所述相位调制部是电光元件。3.根据权利要求1或者2所述的OCT测量装置，其中，所述相位调制部被配置于所述参照光透射的参照光路。4.一种OCT测量方法，包含：在被配置于生成表示与参照光的干涉的强度的光干涉强度信号的光干涉仪的光路中的相位调制部基于规定的补偿电压控制信号来对所述光路中透射的光赋予相位的状态下，检测表示向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号，基于该光干涉强度信号，计算表示从发出波长被扫描的光的波长扫描光源发出的光的波数中的瞬间相位值的瞬时相位变化数据的步骤；计算在所述瞬时相位变化数据的前端数据中的前端部波数与所述瞬时相位变化数据的末尾数据中的末尾部波数的区间，从所述前端数据的瞬时相位值到所述末尾数据的瞬时相位值线性地变化的线性瞬时相位变化数据的步骤；通过获取所...

【专利技术属性】
技术研发人员：武智洋平，横山润，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：