活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车，活动式存储装置包括：斜置轨道，包括相对的第一端及第二端，斜置轨道的第二端高于斜置轨道的第一端；存储托盘，与斜置轨道连接，存储托盘具有容纳晶圆传送盒的空间，且存储托盘至少具有一开口，以送入或移出所述晶圆传送盒；传动机构，上表面与架空存储装置下表面连接，传动机构的下表面与斜置轨道连接，传动机构用于在外力作用下驱动存储托盘自斜置轨道的第一端向斜置轨道的第二端滑动，以使得存储托盘相对于架空存储装置移出。其优点是：使得现有传统的单层式存储位变身双层式存储位，满足了生产车间的存储位需求量。满足了生产车间的存储位需求量。满足了生产车间的存储位需求量。

【技术实现步骤摘要】
活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车。

技术介绍

[0002]现有的物料传送系统(AMHS，Automated Material Handling System)主要包括自动化天车(OHT，Overhead Hoist Transfer)、悬挂于传送轨道侧面的架空存储装置(OHB，Over Head Buffer)、悬挂于传送轨道下方的存储装置(UTB，Under Travel Buffer)构成，然而，半导体生产过程中需要用到大量前开式晶圆传送盒(FOUP)，前开式晶圆传送盒作为装载晶圆的载体，数量日益增多，传统的单层式架空存储装置供应已无法满足生产车间的使用量需求。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对传统的单层式架空存储装置供应量不足的问题，提供一种活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车，能有效增加存储位的供应量，满足生产车间的使用量需求。
[0004]一种活动式存储装置，用于自动物料搬送系统，所述自动物料搬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种活动式存储装置，用于自动物料搬送系统，所述自动物料搬送系统包括架空存储装置，其特征在于，所述活动式存储装置包括：斜置轨道，所述斜置轨道包括相对的第一端及第二端，所述斜置轨道的第二端高于所述斜置轨道的第一端；存储托盘，所述存储托盘与所述斜置轨道连接，所述存储托盘具有容纳晶圆传送盒的空间，且所述存储托盘至少具有一开口，以送入或移出所述晶圆传送盒；传动机构，所述传动机构的上表面与所述架空存储装置下表面连接，所述传动机构的下表面与所述斜置轨道连接，所述传动机构用于在外力作用下驱动所述存储托盘自所述斜置轨道的第一端向所述斜置轨道的第二端滑动，以使得所述存储托盘相对于所述架空存储装置移出。2.根据权利要求1所述的活动式存储装置，其特征在于，所述存储托盘与所述斜置轨道滑动连接。3.一种物料传送系统，其特征在于，包括天车以及架空存储装置，还包括如权利要求1或2所述的活动式存储装置，所述天车包括天车本体和设置在所述天车本体上的推杆机构；所述推杆机构对应于所述传动机构，用于向所述传动机构施加所述外力作用。4.根据权利要求3所述的物料传送系统，其特征在于：所述传动机构包括传动本体和固定装置，所述传动本体与所述存储托盘连接，用于带动所述存储托盘滑动，所述固定装置至少设置在所述传动本体靠近所述推杆机构的一端，所述固定装置具有部分容纳所述推杆机构的空间，以使所述推杆机构稳定地对所述传动本体施加所述外力作用。5.根据权利要求3所述的物料传送系统，其特征在于，还包括：一对限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦晓峰，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：