本实用新型专利技术公开了实验室半导体PR化学液体冷冻装置，包括冷柜，所述冷柜内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘，所述滑动拉盘上设置有分隔网，所述分隔网的一侧与所述滑动拉盘上的转动台转动连接，装有光刻胶的若干瓶装容器放置在所述滑动拉盘上，每个瓶装容器对应位于所述分隔网的一个网眼内。所述分隔网由相互垂直的两个支撑杆以及若干分隔杆组成，两个支撑杆相互连接呈L状；其中一个支撑杆的两端与所述转动台转动连接；若干所述分隔杆分为相互垂直的两组，两组分隔杆的端部分别和两个支撑杆滑动连接，移动所述分隔杆可以调节所述分隔网的网眼大小。本实用新型专利技术能够对装有光刻胶的容器进行分隔保存，防止光刻胶因碰撞而泄露。防止光刻胶因碰撞而泄露。防止光刻胶因碰撞而泄露。
【技术实现步骤摘要】
实验室半导体PR化学液体冷冻装置
[0001]本技术涉及光刻胶保存装置领域，尤其涉及实验室半导体PR化学液体冷冻装置。
技术介绍
[0002]光刻胶(Photoresist简称PR)又称光致抗蚀剂，主要应用于光刻机相关工艺。当光刻胶不使用时，需要在
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20℃的条件下进行冷冻，以便长期保存。然而，传统的光刻胶冷冻保存装置无法对装有光刻胶的容器进行分隔，装有光刻胶的容器之间容易相互碰撞，有可能导致光刻胶泄露。针对上述问题，对现有的光刻胶冷冻保存装置进行改进。
技术实现思路
[0003]专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供实验室半导体PR化学液体冷冻装置，能够对装有光刻胶的容器进行分隔保存，防止光刻胶因碰撞而泄露。
[0004]技术方案：为实现上述目的，本技术的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，包括冷柜，所述冷柜内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘，所述滑动拉盘上设置有分隔网，所述分隔网的一侧与所述滑动拉盘上的转动台转动连接，装有光刻胶的若干瓶装容器放置在所述滑动拉盘上，每个瓶装容器对应位于所述分隔网的一个网眼内。
[0005]进一步地，所述分隔网由相互垂直的两个支撑杆以及若干分隔杆组成，两个支撑杆相互连接呈L状；其中一个支撑杆的两端与所述转动台转动连接；若干所述分隔杆分为相互垂直的两组，两组分隔杆的端部分别和两个支撑杆滑动连接，移动所述分隔杆以调节所述分隔网的网眼大小。
[0006]进一步地，所述滑动拉盘内设置有中空夹层，所述滑动拉盘上设置有若干竖向贯通的镂空孔，所述滑动拉盘上还设置有相互垂直的两个滑动槽；所述滑动槽与所述中空夹层相连通，所述滑动槽内滑动设置有倒T字状的定位柱，所述定位柱的中部螺接有固定所述定位柱的紧固螺母，所述定位柱的下端设置有定位杆，所述定位杆水平延伸至所述中空夹层内；所述分隔杆靠近所述支撑杆的一端设置有插接块，所述定位柱的上端设置有插接孔；所述插接块与所述插接孔插接配合时，所述分隔杆与对应的定位柱上的定位杆相互平行且位于同一竖直平面内。
[0007]进一步地，所述支撑杆内设置有横向贯通槽，所述分隔杆与所述横向贯通槽滑动连接，所述分隔杆上的滑动导块与横向贯通槽内的滑动导槽相互配合；所述支撑杆上还设置有与所述横向贯通槽相连通的上孔口，所述上孔口为水平长条状，所述上孔口内竖向滑动设置有长条状的夹板，所述夹板的两端通过紧固螺栓与所述支撑杆螺接紧固，所述夹板的下端与所述横向贯通槽的槽底配合夹紧固定所述分隔杆。
[0008]进一步地，分成两组的分隔杆分别为分隔横杆和分隔纵杆；若干所述分隔横杆的杆体中部均设置有水平镂空的交合槽，所述分隔纵杆的杆体对应穿过若干交合槽。
[0009]进一步地，所述分隔杆为弹性塑胶材质。
[0010]进一步地，若干所述镂空孔交错设置。
[0011]进一步地，所述滑动拉盘的四周设置有挡板。
[0012]有益效果：本技术的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，其有益效果如下：
[0013]1)在冷柜内设置有若干滑动拉盘，滑动拉盘上设置分隔网，装有光刻胶的瓶装容器分别放置在分隔网的网眼内，可以有效防止容器之间相互碰撞；
[0014]2)分隔网由若干分隔杆组成，分隔杆可以移动并改变分隔网的网眼大小，以适应不同规格的容器，泛用性好；
[0015]3)通过定位柱和定位杆对分隔杆进行定位，确保分隔杆下落后对应位于装有光刻胶的瓶装容器的间隔处；滑动拉盘上的镂空孔可以直观地观察定位杆的位置，方便将定位杆调节至瓶装容器的间隔处。
附图说明
[0016]附图1为冷柜的总体结构示意图；
[0017]附图2为滑动拉盘和冷柜的配合示意图；
[0018]附图3为滑动拉盘的总体结构示意图；
[0019]附图4为分隔杆上的插接块与定位柱上的插接孔配合示意图；
[0020]附图5为分隔横杆和分隔纵杆的配合示意图；
[0021]附图6为定位杆在中空夹层内的示意图；
[0022]附图7为横向和纵向的两组定位杆的配合示意图；
[0023]附图8为支撑杆、分隔杆和夹板的连接示意图；
[0024]附图9为支撑杆、分隔杆和夹板的结构分解示意图。
具体实施方式
[0025]下面结合附图对本技术作更进一步的说明。
[0026]如附图1至9所述的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，包括冷柜1，所述冷柜1 内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘2。如附图1和2中所示，若干滑动拉盘2排列设置在所述冷柜1内，所述滑动拉盘2和冷柜1的内壁水平滑动配合，且滑动拉盘2的后端设置有限位块，以防止在抽拉滑动拉盘2的过程中滑动拉盘2完全脱离冷柜1。
[0027]所述滑动拉盘2上设置有分隔网3，所述分隔网3的一侧与所述滑动拉盘2上的转动台4转动连接，转动台4上设置与转动孔，分隔网3设置有与所述转动孔相配合的转动轴。装有光刻胶的若干瓶装容器5放置在所述滑动拉盘2上，每个瓶装容器5对应位于所述分隔网3的一个网眼内。通过分隔网3将瓶装容器5隔开，防止瓶装容器5相互碰撞。
[0028]如附图3所示，所述分隔网3由相互垂直的两个支撑杆6以及若干分隔杆7组成。两个支撑杆6的端部相互连接呈L状。其中一个支撑杆6的两端与所述转动台4转动连接，其中一个支撑杆6端部的转动轴与转动台4上的转动孔转动配合。若干所述分隔杆 7分为相互垂直的两组，两组分隔杆7的端部分别和两个支撑杆6滑动连接，分隔杆7 与不直接相连的支撑杆6相互平行。通过移动所述分隔杆7可以调节所述分隔网3的网眼大小，从而适应不同规格大小的瓶装容器5，提高了本技术的泛用性。
[0029]如附图3中所示，所述滑动拉盘2的盘体内设置有水平的中空夹层8，所述滑动拉盘
2上设置有若干竖向贯通的镂空孔9，所述滑动拉盘2的上表面还设置有相互垂直的两个滑动槽10，滑动槽10为长条状。
[0030]所述滑动槽10向下延伸且底部与所述中空夹层8相连通。如附图6和7中所示，所述滑动槽10内滑动设置有倒T字状的定位柱11，定位柱11由下部的方形卡块和上部的圆柱体组成，圆柱体的直径与滑动槽10的槽宽相等，方形卡块卡设在中空夹层8内，方形卡块的边长大于滑动槽10的槽宽，且所述中空夹层8的边壁与方形卡块对应滑动配合，使得定位柱11在沿滑动槽10滑动的过程中不会转动，定位柱11下端的定位杆 13也就不会改变其杆体方向。所述定位柱11的圆柱体上设置有螺纹槽结构，且定位柱 11的中部螺接有固定所述定位柱11的紧固螺母12，旋动紧固螺母12，紧固螺母12和定位柱11上的方形块对应夹住定位柱11，从而将定位柱11固定在滑动槽10上的所需位置。所述定位柱11的下端设置有定位杆13，所述定位杆13水平延伸至所述中空夹层 8内。如附图7中所示，定位杆13根据所属定位柱11所在的滑动槽10的不同分为两组，两组定位杆13相互垂直，两组定位杆13的高度相互错开以免发生运动干涉。
[0031]如附图5中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.实验室半导体PR化学液体冷冻装置，其特征在于：包括冷柜(1)，所述冷柜(1)内部设置有若干个可抽拉的滑动拉盘(2)，所述滑动拉盘(2)上设置有分隔网(3)，所述分隔网(3)的一侧与所述滑动拉盘(2)上的转动台(4)转动连接，装有光刻胶的若干瓶装容器(5)放置在所述滑动拉盘(2)上，每个瓶装容器(5)对应位于所述分隔网(3)的一个网眼内。2.根据权利要求1所述的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，其特征在于：所述分隔网(3)由相互垂直的两个支撑杆(6)以及若干分隔杆(7)组成，两个支撑杆(6)相互连接呈L状；其中一个支撑杆(6)的两端与所述转动台(4)转动连接；若干所述分隔杆(7)分为相互垂直的两组，两组分隔杆(7)的端部分别和两个支撑杆(6)滑动连接，移动所述分隔杆(7)以调节所述分隔网(3)的网眼大小。3.根据权利要求2所述的实验室半导体PR化学液体冷冻装置，其特征在于：所述滑动拉盘(2)内设置有中空夹层(8)，所述滑动拉盘(2)上设置有若干竖向贯通的镂空孔(9)，所述滑动拉盘(2)上还设置有相互垂直的两个滑动槽(10)；所述滑动槽(10)与所述中空夹层(8)相连通，所述滑动槽(10)内滑动设置有倒T字状的定位柱(11)，所述定位柱(11)的中部螺接有固定所述定位柱(11)的紧固螺母(12)，所述定位柱(11)的下端设置有定位杆(13)，所述定位杆(13)水平延伸至所述中空夹层(8)内；所述分隔杆(7)靠近所述支撑杆(6)的一端设置有插接块(14)，所述定位柱(11)的上端设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：张玉翻，
申请(专利权)人：无锡德艺馨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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