一种边缘自抛光的高强度游星轮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种边缘自抛光的高强度游星轮，包括轮体，开设在轮体表面的安装槽，设置在安装槽内部且与轮体材质相同的内置抛光环，所述轮体的背面开设有凹槽，所述轮体的正面通过活动连接装置固定安装有钢板，所述钢板的背面与内置抛光环的正面固定连接，活动连接装置是设置在凹槽内部的插销。本实用新型专利技术通过设置钢板，能够对轮体进行支撑，提高轮体的整体强度，通过将内置抛光环直接安装在钢板的表面，能够达到在根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择的基础上提高轮体整体强度的效果，解决了现有具备边缘抛光功能的游星轮强度较差，而且使用者无法根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择，严重影响了游星轮适用范围的问题。严重影响了游星轮适用范围的问题。严重影响了游星轮适用范围的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种边缘自抛光的高强度游星轮


[0001]本技术涉及游星轮
，具体为一种边缘自抛光的高强度游星轮。

技术介绍

[0002]游星轮主要应用于各种半导体硅片抛光，为了提高半导体硅片边缘抛光效率，部分游星轮的安装槽内部设置有用于对硅片边缘进行抛光的材料，但是现有具备边缘抛光功能的游星轮强度较差，而且使用者无法根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择，严重影响了游星轮的适用范围。

技术实现思路

[0003]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供一种边缘自抛光的高强度游星轮，具备提高硅片强度的优点，解决了现有具备边缘抛光功能的游星轮强度较差，而且使用者无法根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择，严重影响了游星轮适用范围的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种边缘自抛光的高强度游星轮，包括轮体；
[0005]开设在轮体表面的安装槽；
[0006]设置在安装槽内部且与轮体材质相同的内置抛光环；
[0007]所述轮体的背面开设有凹槽，所述轮体的正面通过活动连接装置固定安装有钢板，所述钢板的背面与内置抛光环的正面固定连接。
[0008]作为本技术优选的，活动连接装置是设置在凹槽内部的插销，所述插销的一端固定连接有位于凹槽内部的限位环，所述插销的另一端依次贯穿轮体与钢板并延伸至钢板的前侧，所述插销的表面螺纹连接有位于钢板正面的螺帽。
[0009]作为本技术优选的，所述插销的表面套设有位于螺帽背面的垫片，所述垫片远离螺帽的一侧与轮体的正面接触，所述垫片的材质为阻尼材料。
[0010]作为本技术优选的，活动连接装置和凹槽的数量均为四个且均匀对称排列。
[0011]作为本技术优选的，所述钢板的正面开设有承重槽，所述承重槽设置为环形且分别环绕在插销的外侧与内侧。
[0012]作为本技术优选的，所述凹槽的内部设置有密封块，所述密封块的一侧与限位环的表面接触，所述密封块的另一侧与轮体的背面相互平齐，所述密封块与轮体的材质相同，所述密封块的外表面与凹槽的表面紧密接触。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术通过设置钢板，能够对轮体进行支撑，提高轮体的整体强度，通过将内置抛光环直接安装在钢板的表面，能够达到在根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择的基础上提高轮体整体强度的效果，解决了现有具备边缘抛光功能的游星轮强度较差，而且使用者无法根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择，严重影响了游星轮适用范围的问题。
[0015]2、本技术通过设置插销与螺帽，能够便于使用者对钢板与轮体进行连接，提高钢板的安装拆卸效率。
[0016]3、本技术通过设置垫片，能够减少震动对钢板造成的影响，可以提高钢板的稳定性。
[0017]4、本技术通过设置多个活动连接装置，能够大幅提高钢板与轮体的连接强度，避免钢板与轮体的连接处因震动出现倾斜。
[0018]5、本技术通过设置承重槽，能够降低钢板的整体重量，同时可以避免钢板出现弯曲变形的现象。
[0019]6、本技术通过设置密封块，能够对凹槽进行密封，防止抛光过程中产生碎屑进入凹槽的内部。
附图说明
[0020]图1为本技术结构示意图；
[0021]图2为本技术立体结构后视示意图；
[0022]图3为本技术后视结构示意图；
[0023]图4为本技术局部结构右视剖面示意图。
[0024]图中：1、轮体；2、安装槽；3、内置抛光环；4、凹槽；5、钢板；6、插销；7、限位环；8、螺帽；9、垫片；10、承重槽；11、密封块。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]如图1至图4所示，本技术提供的一种边缘自抛光的高强度游星轮，包括轮体1；
[0027]开设在轮体1表面的安装槽2；
[0028]设置在安装槽2内部且与轮体1材质相同的内置抛光环3；
[0029]轮体1的背面开设有凹槽4，轮体1的正面通过活动连接装置固定安装有钢板5，钢板5的背面与内置抛光环3的正面固定连接。
[0030]参考图4，活动连接装置是设置在凹槽4内部的插销6，插销6的一端固定连接有位于凹槽4内部的限位环7，插销6的另一端依次贯穿轮体1与钢板5并延伸至钢板5的前侧，插销6的表面螺纹连接有位于钢板5正面的螺帽8。
[0031]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置插销6与螺帽8，能够便于使用者对钢板5与轮体1进行连接，提高钢板5的安装拆卸效率。
[0032]参考图1，插销6的表面套设有位于螺帽8背面的垫片9，垫片9远离螺帽8的一侧与轮体1的正面接触，垫片9的材质为阻尼材料。
[0033]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置垫片9，能够减少震动对钢板5造成的影响，可以提高钢板5的稳定性。
[0034]参考图1，活动连接装置和凹槽4的数量均为四个且均匀对称排列。
[0035]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置多个活动连接装置，能够大幅提高钢板5与轮体1的连接强度，避免钢板5与轮体1的连接处因震动出现倾斜。
[0036]参考图1，钢板5的正面开设有承重槽10，承重槽10设置为环形且分别环绕在插销6的外侧与内侧。
[0037]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置承重槽10，能够降低钢板5的整体重量，同时可以避免钢板5出现弯曲变形的现象。
[0038]参考图4，凹槽4的内部设置有密封块11，密封块11的一侧与限位环7的表面接触，密封块11的另一侧与轮体1的背面相互平齐，密封块11与轮体1的材质相同，密封块11的外表面与凹槽4的表面紧密接触。
[0039]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置密封块11，能够对凹槽4进行密封，防止抛光过程中产生碎屑进入凹槽4的内部。
[0040]本技术的工作原理及使用流程：使用时，使用者选择与硅片直径相同的内置抛光环3并将其连通钢板5移动至轮体1的正面，将内置抛光环3移动至安装槽2的内部并使钢板5的背面与轮体1的正面接触，当内置抛光环3安装完毕后，利用插销6与螺帽8对钢板5与轮体1进行连接，最后将密封块11移动至凹槽4的内部，从而达到能够在硅片直径对抛光材料进行灵活选择的基础上提高轮体1整体强度的效果。
[0041]综上所述：该边缘自抛光的高强度游星轮，通过设置钢板5，能够对轮体1进行支撑，提高轮体1的整体强度，通过将内置抛光环3直接安装在钢板5的表面，能够达到在根据硅片直径对抛光材料进行灵活选择的基础本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘自抛光的高强度游星轮，包括轮体(1)；开设在轮体(1)表面的安装槽(2)；设置在安装槽(2)内部且与轮体(1)材质相同的内置抛光环(3)；其特征在于：所述轮体(1)的背面开设有凹槽(4)，所述轮体(1)的正面通过活动连接装置固定安装有钢板(5)，所述钢板(5)的背面与内置抛光环(3)的正面固定连接。2.根据权利要求1所述的一种边缘自抛光的高强度游星轮，其特征在于：活动连接装置是设置在凹槽(4)内部的插销(6)，所述插销(6)的一端固定连接有位于凹槽(4)内部的限位环(7)，所述插销(6)的另一端依次贯穿轮体(1)与钢板(5)并延伸至钢板(5)的前侧，所述插销(6)的表面螺纹连接有位于钢板(5)正面的螺帽(8)。3.根据权利要求2所述的一种边缘自抛光的高强度游星轮，其特征在于：所述插销(6)的表面套设有位于螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：李定胜，郭源泉，胡俊杰，熊曙光，
申请(专利权)人：江西汇智盛通精密制造有限公司，
类型：新型
国别省市：