一种高纯水氮封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种高纯水氮封装置，包括纯水罐、辅助氮气储存装置，纯水罐上设置有氮气输入口和氮气输出口，纯水罐的氮气输入口通过三通阀连接有分支管路一，分支管路一另一端与辅助氮气储存装置的出气接口连通；纯水罐的氮气输出口设置有输出管路一与辅助氮气储存装置进气接口连通；辅助氮气储存装置包括一端开口储存筒、与储存筒内壁对应设置的活塞，活塞沿储存筒轴线方向滑动，进气接口与出气接口均与储存筒内底面和活塞之间的空间导通。本实用新型专利技术所述的辅助氮气储存装置在纯水罐体上部的氮气溢出时进行氮气收集，在纯水罐内需要氮气时，通过活塞与储存筒的配合将之前收集的氮气通入纯水罐中进行使用，减少氮气浪费，减少生产成本。减少生产成本。减少生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯水氮封装置


[0001]本技术属于纯水存储领域，尤其是涉及一种高纯水氮封装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中高纯水均有绝缘的特点常用于洗清半导体元器件。在使用中纯水箱中电阻率较低的纯水经EDI(连续电去离子装置)转化后形成高纯水, 并将高纯水输入存满氮气的高纯水氮封水箱进行存储，利用氮气的隔绝作用实现高纯水与空气、二氧化碳杂质隔离，确保高纯水始终保持较高的电阻率。现有的高纯水氮封水箱包括水箱、进水管出水管以及用于氮气流通的供气管排气管，进水管上设有开关型阀门,水箱内设有测量水位的压力感应器，在使用时，压力感应器被设置在一个正常水位范围内,当水箱内的水位低于正常水位范围的最低值时阀门打开经EDI处理的高纯水流入水箱中,当水位回复至正常水位范围的最高值时，阀门关闭经EDI处理的高纯水通过分叉管路回流至纯水水箱，这种结构的高纯水氯封水箱存在以下缺陷:当高纯水氮封水箱内的水位降低时水箱上部的空间变大，此时需要通过进气管输入氮气确保高纯水的高绝缘性,当水位低于正常水位范围的最低值时，阀门打开高纯水被灌入水箱中此时由于水位上升,水箱上部空间逐渐变小氮气体积压缩并通过排气管排入空气中造成氮气浪费，提高了使用成本。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种高纯水氮封装置，以辅助氮气储存装置解决氮气在纯水水位上升，氮气排出到空气中造成浪费、提高生产成本的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种高纯水氮封装置，包括纯水罐、辅助氮气储存装置，所述纯水罐上设置有氮气输入口和氮气输出口，所述纯水罐的氮气输入口通过三通阀连接有分支管路一，所述分支管路一另一端与辅助氮气储存装置的出气接口连通，所述分支管路一上设置控制阀二；纯水罐的氮气输出口设置有输出管路一所述输出管路一另一端与辅助氮气储存装置进气接口连通，所述输出管路一上设置控制阀一；
[0006]所述辅助氮气储存装置包括上端开口的储存筒、与储存筒内壁配合设置的活塞，所述活塞沿储存筒轴线方向滑动，所述进气接口与出气接口均设置于储存筒侧壁上，并均与储存筒内底面和活塞之间的空间导通。
[0007]进一步的，所述储存筒上端开口处固设有筒盖，所述活塞中部垂直设置有导向杆，所述筒盖对应导向杆设置有导向孔；所述筒盖还固设有气缸，所述气缸活塞杆端部与活塞抵接。
[0008]进一步的，所述储存筒为上端面开口的柱形筒，所述活塞包括圆板、套在圆板外侧的橡胶套，所述橡胶套贴合覆盖圆板的底面和侧面，所述橡胶套的上端向圆板内侧延伸形成环形圈。
[0009]进一步的，所述橡胶套外侧面与储存筒内壁贴合，所述橡胶套下表面临近外缘设
置有环槽一，所述环槽一外侧立壁自上向下逐渐向储存筒侧壁倾斜；所述橡胶套上表面临近外缘设置有环槽二，所述环槽二外侧立壁自下向上逐渐向储存筒侧壁倾斜。
[0010]进一步的，所述橡胶套上侧的环形圈下表面与圆板贴合，且环形圈与圆板上表面通过螺钉固定。
[0011]进一步的，所述圆板上表面平行设置有圆环，所述圆环轴线与导向杆同轴，所述圆环周圈等距固设有多个竖杆，多个竖杆远离圆环一端与圆板上表面固接，所述圆环对应竖杆垂直固设横杆，所述横杆另一端与导向杆固接；
[0012]所述气缸对称设置有两个，两个气缸的气缸活塞杆端部均与圆环抵接。
[0013]进一步的，所述圆环上侧垂直固接长圆杆，所述筒盖对应长圆杆固设圆柱筒，所述圆柱筒侧壁设置长条孔，所述长圆杆直径小于圆柱筒内径；
[0014]所述圆柱筒下端开口，所述筒盖对应圆柱筒的开口设置圆孔，所述圆柱筒远离筒盖一端封闭。
[0015]相对于现有技术，本技术所述的一种高纯水氮封装置具有以下有益效果：
[0016](1)本技术所述的辅助氮气储存装置在纯水罐体上部的氮气溢出时进行氮气收集，在纯水罐内需要氮气时，通过活塞与储存筒的配合将之前收集的氮气通入纯水罐中进行使用，减少氮气浪费，减少生产成本。
[0017](2)本技术所述辅助氮气储存装置存储溢出的氮气时，气体会冲入环槽一中，所述环槽一的外侧立壁自上向下逐渐向储存筒侧壁倾斜，辅助气体进入环槽一中，压迫环槽一的外侧立壁紧紧的贴合到储存筒上，减少氮气泄漏。
附图说明
[0018]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0019]图1为本技术实施例所述的一种高纯水氮封装置示意图；
[0020]图2为本技术实施例所述的辅助氮气储存装置剖视示意图；
[0021]图3为本技术实施例所述的储存筒内部部件结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1‑
纯水罐；11
‑
氮气输入口；12
‑
氮气输出口；2
‑
辅助氮气储存装置；21
‑ꢀ
分支管路一；22
‑
输出管路一；23
‑
出气接口；24
‑
进气接口；25
‑
储存筒；26
‑ꢀ
活塞；261
‑
圆板；262
‑
橡胶套；263
‑
环形圈；264
‑
环槽一；265
‑
环槽二；27
‑ꢀ
筒盖；271
‑
圆柱筒；272
‑
长条孔；28
‑
导向杆；281
‑
圆环；282
‑
竖杆；283
‑ꢀ
横杆；284
‑
长圆杆；29
‑
气缸。
具体实施方式
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示
或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯水氮封装置，其特征在于：包括纯水罐(1)、辅助氮气储存装置(2)，所述纯水罐(1)上设置有氮气输入口(11)和氮气输出口(12)，所述纯水罐(1)的氮气输入口(11)通过三通阀连接有分支管路一(21)，所述分支管路一(21)另一端与辅助氮气储存装置(2)的出气接口(23)连通，所述分支管路一上设置控制阀二；纯水罐(1)的氮气输出口(12)设置有输出管路一(22)所述输出管路一另一端与辅助氮气储存装置(2)进气接口(24)连通，所述输出管路一上设置控制阀一；所述辅助氮气储存装置(2)包括上端开口的储存筒(25)、与储存筒(25)内壁配合设置的活塞(26)，所述活塞(26)沿储存筒(25)轴线方向滑动，所述进气接口(24)与出气接口(23)均设置于储存筒(25)侧壁上，并均与储存筒(25)内底面和活塞(26)之间的空间导通。2.根据权利要求1所述的一种高纯水氮封装置，其特征在于：所述储存筒(25)上端开口处固设有筒盖(27)，所述活塞(26)中部垂直设置有导向杆(28)，所述筒盖(27)对应导向杆(28)设置有导向孔；所述筒盖(27)还固设有气缸(29)，所述气缸活塞杆端部与活塞(26)抵接。3.根据权利要求2所述的一种高纯水氮封装置，其特征在于：所述储存筒(25)为上端面开口的柱形筒，所述活塞(26)包括圆板(261)、套在圆板(261)外侧的橡胶套(262)，所述橡胶套(262)贴合覆盖圆板(261)的底面和侧面，所述橡胶套(262)的上端向圆板(261)内侧延伸形成环形圈(263)。4.根据权利要求3所述的一种高纯水氮封装...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈文生，左玉俊，魏娜，崔红，冯红伟，张博悦，赵楠，杜少涵，屈文华，
申请(专利权)人：天津新康水处理有限公司，
类型：新型
国别省市：