一种激光器端面镀膜的排Bar结构及激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光器端面镀膜的排Bar结构，包括用于将两个激光器巴条间隔开的陪条，所述陪条具有相对的第一侧面和第二侧面，其中所述第一侧面与一激光器巴条的背面相靠且腔长方向的两端与所述背面平齐，所述第二侧面与另一激光器巴条的正面相靠且腔长方向的两端内缩与所述正面的两端之间形成空隙。本实用新型专利技术的结构可在保证激光器有着良好可靠的端面镀膜效果的前提下，将激光器巴条的背面镀膜线控制在3μm以内，同时能提高巴条正面的镀膜线的控制范围，对芯片的稳定性和封装可靠性有了很大的提升。性有了很大的提升。性有了很大的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种激光器端面镀膜的排Bar结构及激光器


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种激光器端面镀膜的排Bar结构及激光器。

技术介绍

[0002]目前，端面发射半导体激光器(LD)的端面排Bar镀膜技术会存在镀膜线过冲的现象。当前激光器排Bar时要求陪条(Space Bar)的宽度比激光器巴条(LD Bar)小10
‑
30um，激光器巴条和陪条相间排列，且激光器巴条端面暴露在外，这样子才能保证LD的端面能够完整地镀上AR膜和HR膜。
[0003]理想状态下，上述结构的激光器的端面能够得到均匀性良好的可靠的膜系，但同时也会在激光器的正面和背面留下20um左右的镀膜线，由于背面的镀膜线厚度高于背面金属，导致激光器在测试、Bonding(封装)时存在接触不良的问题，严重地可能导致封装过程中的可靠性问题。
[0004]为了保证激光器端面镀膜的均匀性与可靠性，同时又不在激光器的背面留下镀膜线，保障测试和封装的稳定性，人们提出了背靠背的排Bar方式，但是这种排Bar方式对排巴机有更高的要求，而且需要激光器巴条一正一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光器端面镀膜的排Bar结构，其特征在于：包括用于将两个激光器巴条间隔开的陪条，所述陪条具有相对的第一侧面和第二侧面，其中所述第一侧面与一激光器巴条的背面相靠且腔长方向的两端与所述背面平齐，所述第二侧面与另一激光器巴条的正面相靠且腔长方向的两端内缩与所述正面的两端之间形成空隙。2.根据权利要求1所述的激光器端面镀膜的排Bar结构，其特征在于：所述内缩的长度为15～25μm。3.根据权利要求1所述的激光器端面镀膜的排Bar结构，其特征在于：所述陪条的第二侧面的两端内缩形成倒角。4.根据权利要求3所述的激光器端面镀膜的排Bar结构，其特征在于：所述倒角与垂直方向的夹角为30
°
～60
°
。5.根据权利要求1所述的激光器端面镀膜的排Bar结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡文必，孙维忠，张吉帆，林明杰，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：