一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，涉及彩色光阻剂储罐技术领域，为解决现有彩色光阻剂储罐放置时防护性一般，导致其容易遭受冲击而倾斜倒下使其损坏的问题。所述彩色光阻剂储罐本体中间位置处的外壁安装有外罐体，所述彩色光阻剂储罐本体的内部安装有内罐体，所述外罐体与内罐体之间安装有阻尼弹簧减震器，且阻尼弹簧减震器安装有若干个，所述阻尼弹簧减震器的一侧安装有碰撞力传感器，所述外罐体的上端安装有上端盖，所述上端盖的上方安装有密封盖，所述密封盖的上端安装有声光报警显示屏，所述外罐体的下端安装有加固支撑座，所述加固支撑座的中间位置处安装有称重传感器。装有称重传感器。装有称重传感器。

【技术实现步骤摘要】
一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐


[0001]本技术涉及彩色光阻剂储罐
，具体为一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐。

技术介绍

[0002]光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料，像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层，光阻有两种，正向光阻(positive photoresist)和负向光阻(negative photoresist)，半导体制程常用的正型光阻剂，在光学曝光方式下，光阻剂上层接受能量较下层光阻高，使得正型光阻剂成像大部分图形为上窄下宽，无法经一次曝光方式即得到Overhang的图形，而负型光阻剂的成像恰好与正型光阻剂图像相反，所以负型光阻剂是lift
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off制程的最佳选择，彩色光阻剂储罐就是用于存放储备彩色光阻剂的一种设备。
[0003]但是，现有彩色光阻剂储罐放置时防护性一般，导致其容易遭受冲击而倾斜倒下使其损坏的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，以解决上述
技术介绍
中提出的现有彩色光阻剂储罐放置时防护性一般，导致其容易遭受冲击而倾斜倒下使其损坏的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，包括彩色光阻剂储罐本体，所述彩色光阻剂储罐本体中间位置处的外壁安装有外罐体，所述彩色光阻剂储罐本体的内部安装有内罐体，所述外罐体与内罐体之间安装有阻尼弹簧减震器，且阻尼弹簧减震器安装有若干个，所述阻尼弹簧减震器的一侧安装有碰撞力传感器，所述外罐体的上端安装有上端盖，所述上端盖的上方安装有密封盖，所述密封盖的上端安装有声光报警显示屏，所述外罐体的下端安装有加固支撑座，所述加固支撑座的中间位置处安装有称重传感器，称重传感器与碰撞力传感器的输出端均与声光报警显示屏的输入端电性连接。
[0006]优选的，所述称重传感器的四周均安装有底部减震板，底部减震板的外壁与加固支撑座可拆卸式连接。
[0007]优选的，所述加固支撑座的外壁安装有连接通孔，且连接通孔安装有四个，所述连接通孔的上方安装有简易伸缩管，所述简易伸缩管的下端安装有伸缩内杆。
[0008]优选的，所述伸缩内杆的下端分别安装有固定脚片以及钻角块，固定脚片与钻角块的一端与伸缩内杆可拆卸式连接。
[0009]优选的，所述内罐体靠近底部的一侧安装有排出管，所述排出管的外壁安装有质量流量计，所述排出管的一端安装有排出口。
[0010]优选的，所述密封盖的一端安装有盖体铰链合页，密封盖的一端通过盖体铰链合页与上端盖转动连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过在外罐体与内罐体之间安装多组阻尼弹簧减震器，利用阻尼弹簧减震器来减少冲击所造成的振动，使得内部放置液体更加的安全，碰撞力传感器用于对碰撞冲击力进行检测，当碰撞力达到一定数值后其传输至声光报警显示屏处进行声光报警使其达到了提醒用户知晓的作用，下方安装的加固支撑座用于提高罐体底部的支撑固定效果，其中间位置处还设有称重传感器，可用来检测上部罐体的重量变化，相较于一般的彩色光阻剂储罐，本技术提高了彩色光阻剂储罐的防护性，使其更加能够对振动和冲击力进行防护，提高了内部液体放置时的安全性，在其放置时还能够达到提醒用户重量变化和碰撞报警的效果，使得整个设备更加的智能。
[0013]2、底部减震板用于进一步加强底部的减震防冲击效果，简易伸缩管可通过拉动伸缩内杆来调节其自身的长度，当伸缩内杆长度调节后其下方的固定脚片和钻角块可对平衡地面和砂石地面进行固定，使得储罐能够在不同地面上进行固定，使其放置时更加的稳固。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术的外罐体局部结构示意图；
[0016]图3为本技术的加固支撑座局部结构示意图；
[0017]图中：1、彩色光阻剂储罐本体；2、外罐体；3、上端盖；4、密封盖；5、盖体铰链合页；6、声光报警显示屏；7、加固支撑座；8、简易伸缩管；9、伸缩内杆；10、固定脚片；11、钻角块；12、排出管；13、质量流量计；14、排出口；15、内罐体；16、阻尼弹簧减震器；17、碰撞力传感器；18、底部减震板；19、称重传感器；20、连接通孔。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，包括彩色光阻剂储罐本体1，彩色光阻剂储罐本体1中间位置处的外壁安装有外罐体2，彩色光阻剂储罐本体1的内部安装有内罐体15，外罐体2与内罐体15之间安装有阻尼弹簧减震器16，且阻尼弹簧减震器16安装有若干个，阻尼弹簧减震器16的一侧安装有碰撞力传感器17，外罐体2的上端安装有上端盖3，上端盖3的上方安装有密封盖4，密封盖4的上端安装有声光报警显示屏6，外罐体2的下端安装有加固支撑座7，加固支撑座7的中间位置处安装有称重传感器19，称重传感器19与碰撞力传感器17的输出端均与声光报警显示屏6的输入端电性连接，称重传感器19的型号为PR6212，碰撞力传感器17的型号为ZHBM
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[0020]进一步，称重传感器19的四周均安装有底部减震板18，底部减震板18的外壁与加固支撑座7可拆卸式连接，底部减震板18用于进一步加强底部的减震防冲击效果。
[0021]进一步，加固支撑座7的外壁安装有连接通孔20，且连接通孔20安装有四个，连接
通孔20的上方安装有简易伸缩管8，简易伸缩管8的下端安装有伸缩内杆9，连接通孔20用于安装简易伸缩管8，简易伸缩管8可通过拉动伸缩内杆9来调节其自身的长度。
[0022]进一步，伸缩内杆9的下端分别安装有固定脚片10以及钻角块11，固定脚片10与钻角块11的一端与伸缩内杆9可拆卸式连接，当伸缩内杆9长度调节后其下方的固定脚片10和钻角块11可对平衡地面和砂石地面进行固定，使得储罐能够在不同地面上进行固定，使其放置时更加的稳固。
[0023]进一步，内罐体15靠近底部的一侧安装有排出管12，排出管12的外壁安装有质量流量计13，排出管12的一端安装有排出口14，排出管12处的质量流量计13可便于用户检测液体质量，使得液体排出过程更加的精确。
[0024]进一步，密封盖4的一端安装有盖体铰链合页5，密封盖4的一端通过盖体铰链合页5与上端盖3转动连接，利用盖体铰链合页5可便于用户打开与关闭密封盖4。
[0025]工作原理：使用时，通过在外罐体2与内罐体15之间安装多组阻尼弹簧减震器16，利用阻尼弹簧减震器1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，包括彩色光阻剂储罐本体（1），其特征在于：所述彩色光阻剂储罐本体（1）中间位置处的外壁安装有外罐体（2），所述彩色光阻剂储罐本体（1）的内部安装有内罐体（15），所述外罐体（2）与内罐体（15）之间安装有阻尼弹簧减震器（16），且阻尼弹簧减震器（16）安装有若干个，所述阻尼弹簧减震器（16）的一侧安装有碰撞力传感器（17），所述外罐体（2）的上端安装有上端盖（3），所述上端盖（3）的上方安装有密封盖（4），所述密封盖（4）的上端安装有声光报警显示屏（6），所述外罐体（2）的下端安装有加固支撑座（7），所述加固支撑座（7）的中间位置处安装有称重传感器（19），称重传感器（19）与碰撞力传感器（17）的输出端均与声光报警显示屏（6）的输入端电性连接。2.根据权利要求1所述的一种具有质量流量计的彩色光阻剂储罐，其特征在于：所述称重传感器（19）的四周均安装有底部减震板（18），底部减震板（18）的外壁与加固支撑座（7）可拆卸式连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗健，曾利萍，李红岩，
申请(专利权)人：江苏博砚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：