一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，涉及黑色光刻胶生产技术领域，为解决现有黑色光刻胶生产过程中所用智能定量控温烘箱放置架体一般不具备调节烘干处大小的功能，导致定量控温效果一般的问题。所述智能定量控温烘箱本体，所述智能定量控温烘箱本体的内部安装有安装架，且安装架安装有上下两组，安装架一侧的外壁与智能定量控温烘箱本体的内壁可拆卸式连接，所述安装架靠近中间位置处的外壁安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有翻转箱，驱动电机的输出端通过连轴传动件与翻转箱传动连接，所述翻转箱上下两端的外壁均安装有通孔板。箱上下两端的外壁均安装有通孔板。箱上下两端的外壁均安装有通孔板。

【技术实现步骤摘要】
一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱


[0001]本技术涉及黑色光刻胶生产
，具体为一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱。

技术介绍

[0002]光刻胶（Photoresist）又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、X
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射线胶、电子束胶、离子束胶等，光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业，光刻胶生产使用于将光刻胶按照一定标准进行加工以达到一定目的、效果的过程，在该过程需要用到大量的设备，而控温烘箱就是用于在该过程中对光刻胶起到烘干作用的设备。
[0003]但是，现有黑色光刻胶生产过程中所用智能定量控温烘箱放置架体一般不具备调节烘干处大小的功能，导致定量控温效果一般的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，以解决上述
技术介绍
中提出的现有黑色光刻胶生产过程中所用智能定量控温烘箱放置架体一般不具备调节烘干处大小的功能，导致定量控温效果一般的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，包括智能定量控温烘箱本体，所述智能定量控温烘箱本体的内部安装有安装架，且安装架安装有上下两组，安装架一侧的外壁与智能定量控温烘箱本体的内壁可拆卸式连接，所述安装架靠近中间位置处的外壁安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有翻转箱，驱动电机的输出端通过连轴传动件与翻转箱传动连接，所述翻转箱上下两端的外壁均安装有通孔板，所述通孔板外壁的两侧均安装有电动机构，且电动机构安装有八组，所述电动机构的输出端安装有电动推板，所述翻转箱内部的两侧均安装有光刻胶限位固定板，所述智能定量控温烘箱本体内部的上下两端均安装有热风机。
[0006]优选的，所述热风机的一端安装有驱动箱，所述智能定量控温烘箱本体内壁的一侧安装有温度传感器，且温度传感器安装有上下两组，所述智能定量控温烘箱本体的上方安装有控制机构，温度传感器的输出端与控制机构的输入端电性连接，所述控制机构的输出端与驱动箱的输入端电性连接。
[0007]优选的，所述智能定量控温烘箱本体一侧的外壁安装有排风口，且排风口安装有上下两组。
[0008]优选的，所述排风口的外壁安装有防护滤网。
[0009]优选的，所述智能定量控温烘箱本体内部的中间位置处安装有电转轴，且电转轴安装有两组，所述电转轴的一端安装有转动板，电转轴的一端与转动板转动连接。
[0010]优选的，所述智能定量控温烘箱本体前端面的外壁安装有箱门，所述箱门的一侧安装有连接合页，箱门的一侧通过连接合页与智能定量控温烘箱本体转动连接，所述箱门的前端面密封安装有真空观察窗。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过智能定量控温烘箱本体的内部安装有安装架，安装架处的驱动电机用于带动翻转箱进行翻转，翻转箱内设有用于限位固定光刻胶的光刻胶限位固定板，当光刻胶固定在内部后，可利用电动机构带动电动推板对其上下两端处的外壁进行打开与关闭，并且可以调节打开的大小，使得通孔板只能够在打开口处流入烘干气体进行烘干，达到了定量烘干控制的效果，配合上整体的翻转，使得打开端能够改变朝向，通过改变朝向来直接正对上方的热风机或者背对热风机，使得烘干中的强度也得到了一定的变化，相较于一般的智能定量控温烘箱，本技术提高了定量控温效果，通过调节烘干口和烘干面来达到定量控温的效果，并且定量控温过程中均由电动进行控制，使得整个设备后续可控效果得到提高，更加便于用户进行使用。
[0013]2、温度传感器用于检测内部的温度并将其反馈至控制机构处，控制机构接收信号对驱动箱进行控制，使其改变热风机的烘干强度，达到了对内部进行智能控温的效果，使整个设备更加的智能。
[0014]3、利用电转轴与转动板可打开与关闭箱体之间的通道，使用户能够对上下两个箱体进行不同的温度烘干，提高了整个设备的对比、对照效果。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的智能定量控温烘箱本体内部结构示意图；
[0017]图3为本技术的翻转箱局部结构示意图；
[0018]图中：1、智能定量控温烘箱本体；2、箱门；3、真空观察窗；4、连接合页；5、控制机构；6、排风口；7、防护滤网；8、驱动箱；9、热风机；10、安装架；11、驱动电机；12、翻转箱；13、电转轴；14、转动板；15、温度传感器；16、电动机构；17、电动推板；18、通孔板；19、光刻胶限位固定板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，包括智能定量控温烘箱本体1，智能定量控温烘箱本体1的内部安装有安装架10，且安装架10安装有上下两组，安装架10一侧的外壁与智能定量控温烘箱本体1的内壁可拆卸式连接，安装架10靠近中间位置处的外壁安装有驱动电机11，驱动电机11的输出端安装有翻转箱12，驱动电机11的输出端通过连轴传动件与翻转箱12传动连接，翻转箱12上下两端的外壁均安装有通孔板18，通孔板18外壁的两侧均安装有电动机构16，且电动机构16安装有八组，电动机构16的输出端安装有电动推板17，翻转箱12内部的两侧均安装有
光刻胶限位固定板19，智能定量控温烘箱本体1内部的上下两端均安装有热风机9。
[0021]进一步，热风机9的一端安装有驱动箱8，智能定量控温烘箱本体1内壁的一侧安装有温度传感器15，且温度传感器15安装有上下两组，智能定量控温烘箱本体1的上方安装有控制机构5，温度传感器15的输出端与控制机构5的输入端电性连接，控制机构5的输出端与驱动箱8的输入端电性连接，温度传感器15的型号为AD592ANZ，温度传感器15用于检测内部的温度并将其反馈至控制机构5处，控制机构5接收信号对驱动箱8进行控制，使其改变热风机9的烘干强度，达到了对内部进行智能控温的效果。
[0022]进一步，智能定量控温烘箱本体1一侧的外壁安装有排风口6，且排风口6安装有上下两组，排风口6用于将内部的气体排出。
[0023]进一步，排风口6的外壁安装有防护滤网7，防护滤网7用于起到放置杂质从排风口6进入的效果。
[0024]进一步，智能定量控温烘箱本体1内部的中间位置处安装有电转轴13，且电转轴13安装有两组，电转轴13的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，包括智能定量控温烘箱本体（1），其特征在于：所述智能定量控温烘箱本体（1）的内部安装有安装架（10），且安装架（10）安装有上下两组，安装架（10）一侧的外壁与智能定量控温烘箱本体（1）的内壁可拆卸式连接，所述安装架（10）靠近中间位置处的外壁安装有驱动电机（11），所述驱动电机（11）的输出端安装有翻转箱（12），驱动电机（11）的输出端通过连轴传动件与翻转箱（12）传动连接，所述翻转箱（12）上下两端的外壁均安装有通孔板（18），所述通孔板（18）外壁的两侧均安装有电动机构（16），且电动机构（16）安装有八组，所述电动机构（16）的输出端安装有电动推板（17），所述翻转箱（12）内部的两侧均安装有光刻胶限位固定板（19），所述智能定量控温烘箱本体（1）内部的上下两端均安装有热风机（9）。2.根据权利要求1所述的一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，其特征在于：所述热风机（9）的一端安装有驱动箱（8），所述智能定量控温烘箱本体（1）内壁的一侧安装有温度传感器（15），且温度传感器（15）安装有上下两组，所述智能定量控温烘箱本体（1）的上方安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗健，曾利萍，李红岩，
申请(专利权)人：江苏博砚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：