一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。本实用新型专利技术的有益效果是利用收集装置能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。大大的减少了生产成本。大大的减少了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置


[0001]本技术涉及太阳能电池片单多晶扩散三氯氧磷的再次使用装置
，尤其是涉及一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置。

技术介绍

[0002]太阳能电池片单多晶扩散工艺中，使用的源瓶中装载三氯氧磷，在使用的过程中，氮气经过左侧的管子进入源瓶，鼓泡随后通过右侧管子输送进入扩散炉中，完成反应；源瓶底部设计为中间高，两边低，有利于最大限度使用三氯氧磷；现有源瓶设计容量1.7L，承放磷源量1.5L。
[0003]现有技术中，因为源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的问题是提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，有效的解决因源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，
[0006]剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。
[0007]优选地，所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。
[0008]优选地，所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。
[0009]优选地，所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。
[0010]优选地，所述连接件包括连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶的第一连接件、连接所述第二剩液瓶和所述回收瓶的第二连接件和连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶的所述第三连接件。
[0011]优选地，所述第一连接件和所述第三连接件均为一侧管长短于另一侧管长，其中，
[0012]所述第一连接件的长管一侧伸入所述第一剩液瓶中，短管一侧伸入所述第二剩液瓶中，连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶；
[0013]所述第三连接件的短管一侧伸入所述回收瓶中，长管一侧伸入所述尾气处理瓶
中，连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶。
[0014]优选地，所述第一连接件和所述第三连接件的短管一侧均设置有开关阀；所述第一连接件控制所述剩液的流动，所述第三连接件控制高纯气体的进出。
[0015]优选地，所述第二连接件的两侧长度一致，分别伸入所述第二剩液瓶和所述回收瓶中，将所述剩液回收至所述回收瓶中。
[0016]采用上述技术方案，第一连接件和第三连接件的的两侧长度不一致，较长一侧能够伸入第一剩液瓶的瓶底，将第一剩液瓶中的剩液全部移动至第二剩液瓶中，把以前不能回收利用而直接浪费的磷源收集起来，进行重新利用，能够相应的减少一定的生产成本。
[0017]第三连接件的较长一侧能够深入尾气处理瓶的处理液中，将高纯气体的充分的经过处理过后再通过尾气处理瓶顶部的出气管将尾气排出，保证尾气处理完成后再进行排放，减少尾气的危险排放。
[0018]第二连接件的两侧一样长，均能够伸入第二剩液瓶和回收瓶的底部，能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置结构示意图
[0020]图中：
[0021]1、第一剩液瓶
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2、第二剩液瓶
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3、回收瓶
[0022]4、尾气处理瓶
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5、进气管
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6、第一连接件
[0023]7、第二连接件
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8、第三连接件
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9、出气管
[0024]10、开关阀
具体实施方式
[0025]下面结合实施例和附图对本技术作进一步说明：
[0026]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]如图1一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置结构示意图所示，一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶1、第二剩液瓶2、连接件、回收瓶3以及尾气处理瓶4，第一剩液瓶1、第二剩液瓶2、回收瓶3和尾气处理瓶4依次通过连接件进行连接，其中，
[0028]第一剩液瓶1和第二剩液瓶2中的剩液通过连接件从第一剩液瓶1和第二剩液瓶2
移动至回收瓶3中；
[0029]第一剩液瓶1和第二剩液瓶2为原来的扩散源瓶，底部为中间高，两侧低的瓶状，回收瓶3为能够回收后能够直接使用，瓶底也为中间高，两侧低的形状，方便后续操作；尾气处理瓶4的形状为普通的圆柱形，为能够充分的处理尾气，底部为平整的直线状。
[0030]具体的，连接件包括连接第一剩液瓶1和第二剩液瓶2的第一连接件6、连接第二剩液瓶2和回收瓶3的第二连接件7和连接回收瓶3和尾气处理瓶 4的第三连接件8。
[0031]第一连接件6的一侧为短管，另一侧为长管，短管的一侧伸入第二剩液瓶2中，长管的一侧伸入第一剩液瓶1中。长管一侧的长度能够直接碰触第一剩液瓶1的底部，便于将第一剩液瓶1中的所有剩液沿第一连接件6移动至第二剩液瓶2中，秉承不浪费的原则，解决现有技术中当瓶中的剩液液位接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产，只能放弃低液位中的磷源，导致浪费大量磷源的问题。
[0032]第二连接件7的两侧为均为长管，均本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。2.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。3.根据权利要求2所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。4.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。5.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，何秋霞，杨韦，马擎天，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：