一种真空蒸发提纯设备制造技术

本发明专利技术公开了一种多温度段真空蒸发提纯设备，涉及提纯技术领域，包括炉体、坩埚、多个加热室和结晶器，坩埚、多个加热室和结晶器位于炉体内，多个加热室沿炉体的高度方向排列，结晶器位于相邻的两个加热室之间，并且结晶器连通相邻的两个加热室，沿炉体内从下到上的方向，多个加热室的加热温度从高到低排列，坩埚位于炉体底部的加热室内。蒸气经过炉体底部的加热室加热后在第一个结晶器进行结晶，然后再进入上方的下一个加热室和结晶器，各个加热室的加热温度不同，各个结晶器的温度不同，通过多温度段加热和多个结晶器实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。不同位置的结晶收集。不同位置的结晶收集。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸发提纯设备


[0001]本专利技术涉及提纯
，具体涉及一种真空蒸发提纯设备。

技术介绍

[0002]蒸发提纯是通过将材料加热，材料中的特定成分产生蒸发，而后冷凝后进行收集的一种材料提取手段。随着科学技术的发展，对使用物质的纯度的要求提高了。在不少领域中要求有“超纯”的物质，有时要求达到五个九或八个九，甚至更高。研究证明，在工业耐热材料中，当合金中的杂质少到每吨一克以下时，它能获得良好的耐热性能。半导体技术对材料的要求更高。另外，对超纯物质的研究，发现许多超纯物质具有出乎预料的特性。
[0003]目前蒸发提纯设备采用单温度段采集，不能满足材料多样性以及对材料中多种成分的一次性提纯收集。

技术实现思路

[0004]为此，本专利技术提供一种真空蒸发提纯设备，以解决现有提纯设备不能满足对材料中多种成分的一次性提纯收集的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种真空蒸发提纯设备，包括炉体、坩埚、多个加热室和结晶器，坩埚、多个加热室和结晶器位于炉体内，多个加热室沿炉体的高度方向排列，结晶器位于相邻的两个加热室之间，并且结晶器连通相邻的两个加热室，沿炉体内从下到上的方向，多个加热室的加热温度从高到低排列，坩埚位于炉体底部的加热室内。
[0007]进一步地，加热室的数量为五个，各加热室的加热温度沿炉体内从下到上的方向从高到低排列。
[0008]进一步地，加热室内设有热电偶。
[0009]进一步地，热电偶是S型铂铑热电偶。
[0010]进一步地，还包括冷凝器，冷凝器设置在炉体顶部，炉体顶部和冷凝器连通。
[0011]进一步地，炉体包括炉体本体和与炉体本体铰接的手动门，手动门和炉体本体通过锁定装置进行锁定。
[0012]进一步地，锁定装置是手轮锁，手轮锁设置在手动门的边缘，手轮锁包括手轮和锁架，锁架的一端铰接炉体本体，锁架的另一端螺纹连接手轮。
[0013]进一步地，还包括与炉体连通的真空系统，真空系统包括分子泵、罗茨泵、旋片泵、真空捕集器及真空管路，旋片泵、罗茨泵、分子泵、真空捕集器和炉体顺次通过真空管路连接。
[0014]进一步地，加热室的壁面设有金属隔热屏。
[0015]本专利技术具有如下优点：蒸气经过炉体底部的加热室加热后在第一个结晶器进行结晶，然后再进入上方的下一个加热室和结晶器，各个加热室的加热温度不同，各个结晶器的温度不同，通过多温度段加热和多个结晶器实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其它的实施附图。
[0017]本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。
[0018]图1为本专利技术具体实施方式提供的一种真空蒸发提纯设备的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术具体实施方式提供的一种真空蒸发提纯设备的手轮锁的结构示意图。
[0020]图中：1
‑
真空系统；2
‑
炉体；3
‑
坩埚；4
‑
第一级加热室；5
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结晶器；6
‑
冷凝器；7
‑
热电偶；8
‑
炉体本体；9
‑
手动门；10
‑
手轮；11
‑
锁架。
具体实施方式
[0021]以下由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本专利技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本专利技术可实施的范畴。
[0023]如图1所示，本专利技术具体实施方式提供了一种多温度段真空蒸发提纯设备，包括炉体2、坩埚3、多个加热室和结晶器5，坩埚3、多个加热室和结晶器5位于炉体2内，多个加热室沿炉体2的高度方向排列，结晶器5位于相邻的两个加热室之间，并且结晶器5连通相邻的两个加热室，沿炉体2内从下到上的方向，多个加热室的加热温度从高到低排列。具体地，坩埚3位于炉体2底部的加热室内，第一级加热室4位于炉体2的下端，坩埚3位于第一级加热室4内，本方案中共有五个加热室，沿垂直方向上布置五个梯度的温度段，五个加热室的加热温度沿炉体2内从下到上的方向从高到低排列，第一级加热室4内的坩埚3加热材料产生蒸气，蒸气经过第一级加热室4加热后在第一级结晶器5进行结晶，然后再进入上方的下一级加热室和结晶器5，最后进入炉体2内顶端的第五级加热室和第五级结晶器5，各级加热室的加热温度不同，各级结晶器5的温度不同，通过多温度段加热实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。
[0024]在一个可选的实施方案中，如图1所示，加热室内设有热电偶7。热电偶7、PLC电控单元以及电源通过电路连接，每个加热室具有一支独立的热电偶7进行控温，控制加热温度，最下方的第一级加热室4内设有热电偶7和坩埚3，加热温度最高，第二级加热室到第五级加热室内只设有热电偶7，各个热电偶7的加热温度不同，使不同的加热室内具有不同的温度。
[0025]在一个可选的实施方案中，热电偶7是S型铂铑热电偶，还可以是其他合金制成的热电偶。
[0026]在一个可选的实施方案中，如图1所示，多温度段真空蒸发提纯设备包括冷凝器6，冷凝器6设置在炉体2顶部，炉体2顶部和冷凝器6连通。顶部冷凝器6冷凝蒸汽，防止材料挥发浪费。
[0027]在一个可选的实施方案中，如图2所示，炉体2为分体壳式结构，包括炉体本体8和与炉体本体铰接的手动门9，手动门9的边缘设有手轮锁，具体地，手轮锁包括手轮10和锁架11，锁架的一端铰接炉体本体，锁架的另一端螺纹连接手轮，通过拧紧手轮将手动门与炉体本体压紧锁定。
[0028]在一个可选的实施方案中，如图1所示，多温度段真空蒸发提纯设备包括和炉体2连通的真空系统1，真空系统1是三级泵系统，包括分子泵、罗茨泵、旋片泵、真空捕集器及真空管路，旋片泵、罗茨泵、分子泵和炉体2顺次连接。
[0029]在一个可选的实施方案中，加热室的壁面设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸发提纯设备，其特征在于：包括炉体(2)、坩埚(3)、多个加热室和结晶器(5)，坩埚(3)、多个所述加热室和所述结晶器(5)位于所述炉体(2)内，多个所述加热室沿所述炉体(2)的高度方向排列，所述结晶器(5)位于相邻的两个所述加热室之间，并且所述结晶器(5)连通相邻的两个所述加热室，沿所述炉体(2)内从下到上的方向，多个所述加热室的加热温度从高到低排列，所述坩埚(3)位于所述炉体(2)底部的所述加热室内。2.根据权利要求1所述的真空蒸发提纯设备，其特征在于：所述加热室的数量为五个，五个所述加热室的加热温度沿所述炉体(2)内从下到上的方向从高到低排列。3.根据权利要求1所述的真空蒸发提纯设备，其特征在于：所述加热室内设有热电偶(7)。4.根据权利要求3所述的真空蒸发提纯设备，其特征在于：所述热电偶(7)是S型铂铑热电偶。5.根据权利要求1所述的真空蒸发提纯设备，其特征在于：还包括冷凝器(6)，所述冷凝器(6)设置在所述炉体(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：步怀立，高光伟，辛岩，马瑞，付秀华，
申请(专利权)人：沈阳恒进真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：