一种免镀电极的铁电材料任意两点间电滞回线的测量方法技术

本发明专利技术公开了一种免镀电极的铁电材料任意两点间电滞回线的测量方法，该方法的过程为：铁电材料固定在探针台上，将两个探针压在铁电材料的两处，通过半导体参数分析仪测量不同偏压下两点间的电容，得到CV曲线，然后CV曲线将电容信号分离为漏导信号、线性极化电容、铁电极化电容三部分，经过处理得到铁电薄膜任意两点间的铁电极化电容

【技术实现步骤摘要】
一种免镀电极的铁电材料任意两点间电滞回线的测量方法


[0001]本专利技术属于G01R测电变量领域，具体是一种不需要镀电极，通过探针和半导体参数分析仪测量任意铁电两点间的电滞回线的方法。

技术介绍

[0002]铁电材料在一定温度范围内材料会产生自发极化，由于铁电体晶格中的正负电荷中心不重合，因此即使没有外加电场，也能产生电偶极矩，并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向，产生电滞回线，从而有着独特的自发极化可翻转性、电光效应、压电效应、热释电效应、非线性光学效应、光折变效应等，在铁电存储器、铁电场效应晶体管、压电传感器、光信息存储器件、传感器、铁电光伏等领域有着广泛的应用。电滞回线是材料铁电性的核心特性，也是表征铁电材料的基础，测量表征铁电材料的电滞回线通常为Sawyer
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Tower电路法，具体为将铁电材料制备成薄陶瓷片或者在导电衬底上制备薄膜，然后镀上全电极，厚度不大于1mm，然后将试样浸在硅油中以避免空气电击穿，进行测量的制备工艺较繁琐。一些应用是基于铁电薄膜表面特殊功能性，镀电极并浸泡在硅油中会对样品表面产生污染，而且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种免镀电极的铁电材料任意两点间电滞回线的测量方法，其特征在于，基于半导体参数分析仪和探针台来测量铁电薄膜表面任意两点间的电容
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电压C～V曲线，通过对C～V曲线进行数学处理来获得铁电材料任意两点间的电滞回线的方法，具体包括以下步骤：步骤1、铁电薄膜放在探针台上，将两个探针压在薄膜上；步骤2、通过半导体参数分析仪施加一个偏压，然后在偏压上加上一个小的交流电压信号，材料不同偏压V下的电容，进行C～V曲线扫描；步骤3、将得到的C～V曲线进行数学处理，消除漏导和线性极化电容的贡献，得到电滞回线。2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，步骤1中采用两个探针接触铁电材料表面任意两点，而非传统的平行板电容器式测量，因此可以灵活测量铁电材料表面任意两点间电滞回线，可测量长在非导电衬底上铁电材料电滞回线，也可测量铁电...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱睿健，王增梅，时雪如，邹雪雪，申亚宁，吴心怡，刘佳琦，
申请(专利权)人：南京工程学院，
类型：发明
国别省市：