放电灯保持机构制造技术

本发明专利技术提供一种即使大型化的灯，也可以容易安装的灯保持器。包括：一端安装有灯头的放电灯；及可以装卸地下吊着保持该放电灯的灯保持器，所述灯保持器具有：保持器侧暂时固定机构及保持器侧最终固定机构，所述放电灯的灯头具有：与保持器侧暂时固定机构扣合的灯侧暂时固定机构；及与保持器侧最终固定机构扣合的灯侧最终固定机构，通过将该放电灯的灯头插入灯保持器，并旋转灯头，使保持器侧暂时固定机构与灯侧暂时保持机构扣合，进行两者的暂时固定，而且，其后使保持器侧最终固定机构与灯侧最终固定机构动作，最终固定两者。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种放电灯保持机构，特别是涉及一种实体大型且大电流化，安装到保持器上的安装作业变得困难的放电灯的保持机构。
技术介绍
近年来，在半导体或液晶的曝光、其他的微细加工领域中，使用短弧型水银灯作为光刻法用光源的曝光技术多被利用。在光刻法用的曝光中，使用的是可以有效率地放射光刻胶具有感度的波长365nm(i线)的光的水银灯，而且，在液晶或印刷基板的曝光中，使用放射波长350nm～450nm的光的水银灯。水银灯中封入有水银作为发光物质，并且装入有氩、氪、氙等稀有气体作为启动用气体。这种水银灯，例如如日本专利特开平9-213129号公报所示，与凹面反射镜组合，构成光学系统。曝光装置有应当曝光的面积变大且处理时间(通过能力)变短的倾向。作为光源的水银灯也有通过使输入增加而使曝光量增加的倾向。但是，灯输入的增大，使灯在实体上大型化，组装到反射镜的组装作业更为复杂化。特别是，灯大型化时，无论从尺寸上、重量上来说，作业员很难保持灯。例如，如所述特开平9-213129号公报所示，在下吊着保持灯的构造的情况下，需要一边在灯下吊着的状态下保持灯，一边进行螺旋固定等的固定作业。进而，灯大型化时，反射镜也大型化。所述作业是将灯的灯头从反射镜的内侧空间放入，通过顶部开口，以位于顶部开口外部的保持机构加以固定。在该固定作业中，需要在反射镜的内侧空间保持灯的一端，同时在反射镜的顶部开口外侧进行螺旋固定等固定作业，这种情况下，在反射镜的内侧空间中，必须以单手保持灯，另外一手进行螺旋固定作业。灯大型化时，此作业会产生以单手保持等时，有时会使灯落下，伤到反射镜的问题。进而，在放电灯与保持机构的固定作业中，必须形成切实的供电结构。这是由于如果供电导线或供电线的电连接不充分，则电流供给会变得不充分。专利文献1日本专利特开平9-213129号
技术实现思路
本专利技术要解决的课题在于提供一种即使是大型化的灯，也可以容易地安装的灯保持器。为了解决所述课题，本专利技术的放电灯用保持机构，包括一端安装有灯头的放电灯；及可以装卸地下吊着保持该放电灯的灯保持器，其特征在于所述灯保持器具有保持器侧暂时固定机构及保持器侧最终固定机构，所述放电灯的灯头具有与保持器侧暂时固定机构扣合的灯侧暂时固定机构；及与保持器侧最终固定机构扣合的灯侧最终固定机构，通过将该放电灯的灯头插入灯保持器，并旋转灯头，使保持器侧暂时固定机构与灯侧暂时保持机构扣合，进行两者的暂时固定，而且，其后使保持器侧最终固定机构与灯侧最终固定机构动作，最终固定两者。进而，所述放电灯的灯头由导电性构件构成，通过与所述灯保持器最终固定，使灯头的端面与灯保持器的端面接触，形成电性供电机构。进而，所述放电灯的灯头的端面配置为与该放电灯的长度方向大致垂直。进而，所述放电灯的额定电流为50A以上。专利技术的效果本专利技术的放电灯保持机构，通过具有上述构成，只需将放电灯的灯头插入灯保持器(以下，也单称为“保持器”)的插入孔，旋转灯头，即可扣合设在该插入孔内部的保持器侧暂时固定机构和设在灯头上的灯侧暂时固定机构，即使手放开，灯也不会落下，成为灯下吊的状态。在该状态中，从反射镜的顶部外部使保持器与灯的最终固定机构动作，可以牢固地固定两者。即，在灯的装卸作业中，不需要像以往那样一边以单手保持灯，一边以另外一手固定灯的困难。另外，以导电性构件来形成灯头，灯头的上端面整体与保持器接触，可以形成电性供电机构。附图说明图1表示具有本专利技术的放电灯保持机构的光源装置。图2表示本专利技术的放电灯。图3表示具有本专利技术的放电灯保持机构的光源装置。图4表示本专利技术的放电灯的灯头。图5表示本专利技术的放电灯保持器。图6表示本专利技术的放电灯保持器。图7表示本专利技术的放电灯保持器与灯头的驱动原理。图8表示本专利技术的放电灯保持器与灯头。图9表示本专利技术的放电灯保持器与灯头。图10表示本专利技术的放电灯保持器与灯头的驱动原理。图11表示本专利技术的放电灯保持器与灯头的驱动原理。具体实施例方式图1是表示安装在曝光装置的保持台50上的灯保持器30上安装有放电灯10，两者被固定的状态下的放电灯保持机构。放电灯10(以下，也单称为“灯”)通过反射镜20的顶部开口，安装在灯保持器30上(以下，也单称为“保持器”)。在此，将灯10与保持器30作为放电灯保持机构，将灯10、反射镜20、保持器30称为光源装置。保持器30例如通过螺旋固定而固定在曝光装置的保持台50上。另外，在保持台50上，在从保持器30的轴中心偏离的位置上设有补助固定点51。保持器30也辅助性地固定在固定点51上。另外，反射镜30通过省略图示的机构固定在曝光装置等上。图2是只表示放电灯10固定到灯保持器30前的状态的灯10，例如，在略微中央具有由石英玻璃构成的发光管部11，杆状的密封部12从其两端延伸而形成为一体。发光管部11为球形或是在管轴方向(图的上下方向)上细长延伸的纺锤形，其内部形成气密空间，封入有作为发光物质的水银或作为起动用气体的氙或氩。另外，在发光管部11的内部相对配置有阳极13与阴极14，其前端相互的间隔形成放电间隙。放电间隙也是电极间距离，例如，为5mm左右。在密封部12的前端安装有帽状的灯头40。另外，在图的下方的密封部的前端虽也安装有帽状的灯头，但是，在本专利技术中该灯头并非必须。该灯10使任一电极位于上方，使另外一个电极位于下方地垂直配置，在该实施例中，使阴极位于下方，使阳极配置在上方。回到图1，反射镜20例如是在玻璃基材的反射面上涂布多层膜的反射镜，整体为凹面状，可以良好地反射来自灯10的放射光。反射镜20多使用椭圆聚光镜，在该情况下，需要使放电灯10的电弧与反射镜20的第一焦点一致。该电弧一般形成在放电间隙间，因此设置灯以使放电间隙间的适当部位位于反射镜20的第一焦点。反射镜的方向虽表示为向下打开，但是也有向上(保持器侧)打开的反射镜。灯10或反射镜20近年来逐渐大型化。如上所述，本专利技术的放电灯保持机构，在灯或反射镜大型化的情况下特别有用。对于灯10，如表示数值例，则灯的功率的额定值为3KW～40KW，灯电流的额定值为50A～200A、发光管部11的最大外径(与电极延伸方向垂直的方向的直径)为50mm～250mm。另外，灯的重量为0.5kg～10kg。另外，对于反射镜20，如表示数值例，则前面开口为φ300mm～1000mm，灯延伸方向的深度为200mm～800mm。图3是表示从与图1不同的方向来观察图1所示的光源装置的状态，切掉反射镜20的一部分来表现反射镜20的内部构造。反射镜20的顶部开口21至少需要灯10的密封部12或灯头40可通过的大小。顶部开口21如果太大，灯10的放射光会从顶部开口21漏出，光的利用效率降低。图4表示本专利技术的放电灯的灯头，特别是，安装在保持器30上的灯头40的放大构造。灯头40由帽状的整体主体41；构成在该整体主体41的端部的终端部42；及从终端部42的中心延伸的突出部43构成。这些整体主体41、终端部42及突出部43是实体上由一构件所构成，例如由黄铜等的导电性构件所形成。整体主体41是与由石英玻璃构成的密封部12的端部接续的部位。整体主体41为帽状，且覆盖密封部12地插入安装，通过与密封部12内部的供电机构电性连接，整体主体41本身成为供电路径的一部分。终端部42本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放电灯保持机构，包括：一端安装有灯头的放电灯；及可以装卸地下吊着保持该放电灯的灯保持器，其特征在于：所述灯保持器具有：保持器侧暂时固定机构及保持器侧最终固定机构，所述放电灯的灯头具有：与保持器侧暂时固定机构扣合的灯侧暂时固定机构；及与保持器侧最终固定机构扣合的灯侧最终固定机构，通过将该放电灯的灯头插入灯保持器，并旋转灯头，使保持器侧暂时固定机构与灯侧暂时保持机构扣合，进行两者的暂时固定，而且，其后使保持器侧最终固定机构与灯侧最终固定机构动作，最终固定两者。

【技术特征摘要】
JP 2006-2-13 2006-034677;JP 2006-9-19 2006-2523741.一种放电灯保持机构，包括一端安装有灯头的放电灯；及可以装卸地下吊着保持该放电灯的灯保持器，其特征在于所述灯保持器具有保持器侧暂时固定机构及保持器侧最终固定机构，所述放电灯的灯头具有与保持器侧暂时固定机构扣合的灯侧暂时固定机构；及与保持器侧最终固定机构扣合的灯侧最终固定机构，通过将该放电灯的灯头插入灯保持...

【专利技术属性】
技术研发人员：松岛竹夫，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]