【技术实现步骤摘要】
一种激光旋切系统及旋切方法
[0001]本专利技术涉及激光加工领域,特别是一种激光旋切系统及旋切方 法。
技术介绍
[0002]激光打孔装置内部使用的光学器件及工作原理的不同可将激光 打孔分为振镜扫描式打孔系统、三光楔旋转扫描打孔系统、道威棱镜 旋转扫描打孔系统。
[0003]其中,振镜扫描打孔系统为最成熟的打孔系统,加工范围大,控 制简单。但是由于机械分辨率的限制使得振镜扫描系统很难对直径小 于0.2mm的微孔进行精密加工。
[0004]三光楔旋转扫描打孔系统需要保证三个光楔的同步旋转,同时也 需要准确控制光楔之间的相对角度,如果控制精度不好这将影响打孔 的圆度和锥度,这对电机的旋转控制精度要求极高,同时控制打孔的 半径和锥度的算法十分复杂,例如中国专利申请公开号为 CN103056519A的公开文本。
[0005]道威棱镜的制造和安装误差会对打孔的圆度和锥度产生较大的 影响,因此需要使用复杂的补偿光学系统来补偿系统的制造和安装误 差。这不仅大大增加了系统的体积和重量,还增加了系统的制造难度 和生产 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋切系统,包括激光器(1),其特征在于,还包括:楔形镜组,所述楔形镜组设置于所述激光器(1)的光路传输下游,所述楔形镜组用于使光束进行平移运动;聚焦镜(4),所述聚焦镜(4)设置于所述聚焦镜的光路传输下游,所述聚焦镜(4)用于对光束进行聚焦;角度调整镜,所述角度调整镜设置在所述楔形镜组和所述激光器(1)之间的光路中,或设置在所述聚焦镜(4)和楔形镜组之间的光路中;所述角度调整镜用于调整经过角度调整镜后的光线飞行角度,所述角度调整镜和所述楔形镜组同步转动。2.根据权利要求1所述的旋切系统,其特征在于,所述角度调整镜为反射镜(5)或分光镜(6)。3.根据权利要求1所述的旋切系统,其特征在于,所述角度调整镜为反射镜(5),所述角度调整镜设置在所述楔形镜组和所述激光器(1)之间,所述角度调整镜和所述楔形镜组之间设有四分之一波片,所述四分之一波片和所述楔形镜组之间设有PBS分光棱镜(3),所述激光器(1)设置于所述PBS分光棱镜(3)的上游,光路传输依次为激光器(1)、PBS分光棱镜(3)、四分之一波片、角度调整镜、四分之一波片、PBS分光棱镜(3)、楔形镜组、聚焦镜(4)。4.根据权利要求3所述的旋切系统,其特征在于,所述PBS分光棱镜(3)包括两个PBS三棱镜,所述PBS三棱镜的横截面为直角三角形,两个所述PBS三棱镜拼接成一个长方体。5.根据权利要求1所述的旋切系统,其特征在于,所述角度调整镜设置在所述聚焦镜(4)和楔形镜组之间,所述角度调整镜为分光镜(6),所述分光镜(6)用于把一部分的光反射到聚焦镜(4),所述分光镜(6)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱代数,上官剑锋,曾超峰,刘志峰,赵朋,赵瑞晓,
申请(专利权)人:广东原点智能技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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