一种新型多功能柔性触觉传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提出的多功能柔性传感器及其制备方法，属于柔性触觉传感器领域。为精细量化受力，提高传感器阵列密度，传感器设计为16个检测单元，呈4

【技术实现步骤摘要】
一种新型多功能柔性触觉传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于柔性触觉传感器领域，具体涉及一种新型多功能柔性触觉传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]近年来，随着人工智能的迅速发展，越来越多的类人型机器人被应用到日常生活和医疗护理环境中。为了保证机器人在和周围环境接触时能够做出合理的反应并且确保机器人工作时不对周围环境或接触物体造成破坏，这就需要机器人配备感知触觉信息的能力。以轻微压力检测为主的触觉传感器作为机器人与外界交互的媒介，是获取外界环境信息的重要途径。目前，高阵列密度、高灵敏度，高灵活性、低功耗的柔性触觉传感器的开发是电子领域新兴的技术目标。与此同时，为了实现对外界的多维感知，人们已经不再局限于对单一物理量的检测，同时实现多物理量的检测在健康诊断中是非常需要的。同时兼备温度与压力测量的柔性温度压力传感器已经成为当今触觉传感器的研究热点。当温度传感器和压力传感器集成在同一衬底上时，为了保证两者测量结果均比较准确，需要考虑到温度传感器和压力传感器之间的耦合问题。与此同时，在医学领域，实时的获取接触组织的阻抗信息的同样显得尤为重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型多功能柔性触觉传感器，其特征在于，器件整体采用层压式的结构分布，触觉传感器自上而下分别为：上极板电极A 1、上极板电极B 2、上极板3、介电层 4、下极板电极 5、下极板 6、衬底7、薄膜电极 8。2.根据权利要求1所述的一种新型多功能柔性触觉传感器，其特征在于，高密度柔性触觉传感器由16个感知点组成，呈4
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4阵列排布，每一感知点由两个压力传感器及一个温度传感器构成。3.根据权利要求1所述的一种新型多功能柔性触觉传感器，其特征在于，柔性触觉传感器的单元受力信息的获取是基于电容器的原理，通过使用CNT/PDMS复合材料的方式来提高传感器的电介质的介电特性，同时采取飞秒激光微结构化处理的方式来提高介电层的可压缩性，进而提高的传感器灵敏度。4.根据权利要求1所述的一种新型多功能柔性触觉传感器，其特征在于，柔性触觉传感器采用PEDOT:PSS-CNT薄膜电极来实现温度的测量，调整PEDOT:PSS和CNT的质量配比，可以使传感器同时兼顾高灵敏度、良好的柔韧性、较高的电导率及较低的成本。5.根据权利要求1所述的一种新型多功能柔性触觉传感器，其特征在于，柔性触觉传感器通过在上极板A和上极板B电极两端施加0.1-100 kHz，1...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏越，张旭，刘健朝，李彩丽，
申请(专利权)人：海宁先进半导体与智能技术研究院，
类型：发明
国别省市：