本发明专利技术提供一种使安装的稳定性提高，并且使出射光的强度稳定的放电灯（１０）以及具有该放电灯的光源装置（１００）。放电灯（１０）的固定用灯头（２０）具备：设有一对切缺部（２１Ｈ）的圆筒形的第１主体部（２１）；直径比该第１主体部大，并且设有接合部（２３Ｈ）的圆筒形第２主体部（２３）；直径与一对切缺部的间隔相同或比之小，并且形成于第１主体部与第２主体部之间的槽部（２５），当将固定用灯头（２０）插入灯座（５０）时，槽部与第１主体部的阶梯面（２１Ｂ）相接于灯座的基准面（５４Ｓ）。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及出射含有紫外线的光的放电灯及具有该放电灯的光源 装置。
技术介绍
为了使涂料硬化或者进行半导体晶片或玻璃基板等的表面清洗、周 边曝光或表面改性等， 一般是使用放电灯对被处理对象物照射含有紫外 线的光进行的。具有这种放电灯的光源装置，例如在专利文献l所记载 的专利技术中，是将从放电灯照出射的光由椭球面聚光镜等的镜反射、聚光后，再光导至出射口，通过连接于出射口的光纤束等光导机构(light guide)向外部照射光。在这种光源装置的外壳内，将放电灯的固定用灯头安装于在周围设 有椭球面聚光镜的灯座。若放电灯被安装于灯座的适当位置，则放电灯 的辉点与椭球面聚光镜的第1焦点相一致。另外，还配置有安装于椭球 面聚光镜的第2焦点的出射口的光纤束。通过该构成可以将从放电灯的 辉点放出射的光高效率地导向光纤束的出射端。专利文献1日本技术登录3124444号。然而，当操作员更换放电灯之时，存在未将上述放电灯的固定用灯 头充分插入灯座就将夹紧螺杆拧紧了的情况。即使是未将放电灯充分插 入灯座的状态，若向灯头供给电源放电灯则就会点亮。然而，由于放电 灯的辉点未处于椭球面聚光镜的第1焦点，因此在光纤束的出射端就会 形成照度不足的情况。当操作员实际上无法使用光纤束进行半导体晶片 或玻璃基板等的表面清洗时候，在调查故障原因的过程中，才会发现未 将放电灯的固定用灯头充分插入灯座。此外，若以放电灯的轴向为Z轴方向，则放电灯的辉点在X-Y面 内也发生变化。放电灯的固定用灯头具有近似圆筒的形状，因此，放电 灯可在灯座内绕轴旋转。于是，放电灯的辉点的位置从第1焦点位置错开，由此出现无法得到所需照度的情况。
技术实现思路
因此，本专利技术目的在于提供下述这种的放电灯及具有该放电灯的光 源装置，操作员对放电灯进行安装时，只要放电灯的辉点的位置未位于 椭球面聚光镜的第1焦点位置，就无法将放电灯夹紧于灯座。基于第l观点的放电灯是在一端具有固定用灯头的放电灯。而且，该固定用灯头具备设有一对切缺部的圆筒形第l主体部；直径比该第 l主体部大，并且设有接合部的圃筒形第2主体部；以及直径与一对切 缺部的间隔相同或较之小，并且形成于第l主体部与第2主体部之间的 槽部，当将固定用灯头插入灯座时，槽部与第l主体部的阶梯面相接于 灯座的基准面。基于第l观点的放电灯，由于有一对切缺部，因此第l主体部可以 插入灯座，并且第2主体部不能进行规定程度以上的插入。而且，槽部 的直径与一对切缺部的间隔相同或较之小，因此，可以在规定位置上使 放电灯旋转，另外，通过旋转将槽部与第l主体部之间的阶梯面与灯座 的基准面相接。因此，可将放电灯的辉点定位于规定的位置。基于第2观点的放电灯，灯座旋转部，该旋转部具有嵌入部并且从 第l位置转向第2位置旋转，当旋转放电灯时，接合部接合于旋转部的 嵌入部，旋转部可从第l位置向第2位置旋转。基于第2观点的放电灯，由于灯座旋转部的嵌入部接合于第2主体 部的接合部，因此通过固定用灯头的旋转，灯座的旋转部也跟着旋转。 通过该灯座的旋转部的旋转，由于放电灯被安装于灯座，因此操作员不 会将固定用灯头安装于错误的位置。基于第3观点的放电灯，在第2观点的基础上，灯座具有将固定用 灯头夹紧的夹紧机构，在旋转部处于第l位置的状态下，夹紧机构不能 夹紧固定用灯头，在旋转部处于笫2位置的状态下，夹紧机构能够夹紧 固定用灯头。在该构成中，在旋转部处于第l位置的状态下，不能用夹紧机构夹紧固定用灯头。因此，操作员不会将固定用灯头安装于错误的位置，故 而，放电灯的辉点可以被可靠地配置于正确的位置。基于第4观点的放电灯，灯座具有保持固定用灯头旋转的塞，第1 或第2主体部上形成有插入塞的凹部，在旋转部处于第2位置的状态下， 塞可插入于凹部。若固定用灯头在灯座内旋转到第2位置，则固定用灯头的旋转被保 持于此。另外，操作员通过感觉到塞插入于凹部，则可以判断已经旋转 到第2位置。基于第5观点的放电灯的凹部，包含银孔以及在固定用灯头的轴向 延伸的狭槽。作为形成于第2主体部的凹部，比较容易制造锪孔及狭槽等。利用 该锪孔及狭槽，能够将放电灯保持于第2位置。基于第6观点的放电灯，在旋转部的嵌入部上形成有平面，接合部 至少局部具有平面，该嵌入部的平面与该接合部的平面相接合。由于接合部的平面与旋转部的平面相接合，因此由于固定用灯头的 接合部旋转，旋转部也跟着旋转。基于第7观点的放电灯，在旋转部的外周面上设有表示第l位置的 第1标记、和表示第2位置的第2标记，在灯座上形成有窗部，随着固 定用灯头的旋转能够借助窗部确认从第1标记向第2标记转变的情况。通过该构成，操作员能够经窗部目视放电灯位于第1位置还是位于 第2位置。特别是，若第l标记为红色的标记或开文字，操作员则 可以认为放电灯还没有被安装于正确的位置。另外，若第2标记为蓝色 或闭，，文字，操作员则可以认为放电灯被安装于正确的位置。基于第8观点的光源装置，是一种具有具备光导机构的出射口的光 源装置，具有技术方案1至技术方案6所记载的放电灯；用于反射从 放电灯放射的光的反射镜；插入固定用灯头并对其进行固定的灯座；以 及将放电灯、反射镜及灯座收纳于内部，并且形成有出射口的外壳。由于放电灯可靠地夹紧于灯座，因此不会发生光导机构从光源装置 导出的光通量比规定量小的缺点。根据本专利技术，只有在以放电灯辉点的位置位于椭球面聚光镜第1焦 点位置的方式对放电灯进行安装的情况下，才可以将放电灯的固定用灯 头固定于灯座。因此，在照度不足的状态下，放电灯不会点亮。另外， 来自光源装置的光导机构的照度也以同样合适的照度照射。附图说明图l是表示放电灯的具备固定用灯头的例子的图。图2 (a)是表示固定用灯头20的第l例的图，(b)是表示固定用 灯头20的第2例的图。图3 (a)至(d)是从Z轴方向看到的表示固定用灯头20外形形 状的平面图。图4(a)是灯座50的立体图，(b)是将夹紧部54的局部切下后的 立体图。图5是灯座50的展开图。图6是从与图5相反侧所看到的灯座50的展开图。图7是对将放电灯10安装于灯座50动作进行说明的图。图8是对在第1主体部21上具有凹部27C的固定用灯头进行说明 的图。图9是表示没有凹部27的固定用灯头20和旋转环53的背面的图。图IO表示的是在出射口 81具备光纤束83的光源装置IOO的一例。符号说明IO...放电灯；20…固定用灯头；21...第1主体部(21B… 基准阶梯面；21H…切缺部);23...第2主体部(23H…接合部)；25... 圆筒形槽部；27...凹部(27A…锪孔；27B…狭槽)；50…灯座；51...座 基部；52...旋转环托台；53...旋转环(53A…突起销；53B…锪孔；53C...锪孔；53H…线性部；53M…标记)；54…夹紧部(54A…长槽部；54T... 延长部)；55...夹紧螺杆；56...限制旋转环(56A…突起)；70...灯座安 装支柱；75…椭球面反射镜；79…外壳；81…出射口； 83…光纤束；85... 散热风扇；100…光源装置；BP1、 BP2…塞(plunger)。具体实施方式具备固定用灯头的放电灯的构造以下，将对本专利技术的放电灯实施方式进行说明。图l是用于说明本专利技术的放电本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种放电灯，是在一端具有固定用灯头的放电灯，其特征在于，该固定用灯头具备： 设有一对切缺部的圆筒形第１主体部； 直径比该第１主体部大，并且设有接合部的圆筒形第２主体部；以及 直径与上述一对切缺部的间隔相同或较之小，并且形成于上述第１主体部与上述第２主体部之间的槽部， 在将上述固定用灯头插入灯座时，上述槽部与上述第１主体部的阶梯面相接于上述灯座的基准面。
【技术特征摘要】
JP 2007-3-20 2007-0720711.一种放电灯，是在一端具有固定用灯头的放电灯，其特征在于，该固定用灯头具备设有一对切缺部的圆筒形第1主体部；直径比该第1主体部大，并且设有接合部的圆筒形第2主体部；以及直径与上述一对切缺部的间隔相同或较之小，并且形成于上述第1主体部与上述第2主体部之间的槽部，在将上述固定用灯头插入灯座时，上述槽部与上述第1主体部的阶梯面相接于上述灯座的基准面。2. 根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，上述灯座具有旋 转部，该旋转部具有嵌入部并且从第1位置向第2位置旋转，当上述放电灯旋转时，上述接合部接合于上述旋转部的嵌入部，上 述旋转部能够从上述第l位置向上述第2位置旋转。3. 根据权利要求2所述的放电灯，其特征在于，上述灯座具有夹 紧上述固定用灯头的夹紧机构，在上述旋转部处于上述第l位置的状态下，上述夹紧机构不能夹紧 上述固定用灯头，在上述旋转部处于上述第2位置的状态下，上述夹紧 机构能够夹紧上述固定用灯头。4. 根据权利要求2或3所述的放电灯，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：芦田克己，
申请(专利权)人：豪雅冠得股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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