用于从废气中去除颗粒的气体清洗器和废气处理设备制造技术

用于从废气中去除颗粒的气体清洗器和具有气体清洗器的废气处理设备，包括：具有废气入口和废气出口的壳体；板件，其围绕其自身的轴线能转动地布置在壳体中并且基本上为圆形，其中，废气可经由废气入口被导入到板件的大致中部；排出喷嘴，用于将液体、尤其清洁液或清洗液喷洒到板件上，以便在板件之前获得废气和液体的混合物；内转子组件和与内转子组件间隔开的外转子组件，它们围绕轴线可转动地布置；内定子组件和与该内定子组件间隔开地布置的外定子组件，其中，转子组件和定子组件为了产生湍流而彼此交替地并且同心地布置，从而能够将来自废气流的颗粒传递到液体中。此外，设置有用于雾化液体的旋转式雾化器，其尤其布置在圆形的板件上。形的板件上。形的板件上。

【技术实现步骤摘要】
用于从废气中去除颗粒的气体清洗器和废气处理设备


[0001]本专利技术涉及一种用于从废气中去除颗粒的气体清洗器。此外，本专利技术涉及一种具有气体清洗器的废气处理设备。
[0002]在半导体工业中，通常通过化学气相沉积(chemical vapour deposition
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CVD)将薄层施加到不同的基底上，并且通过用反应气体蚀刻使其结构化。在这种过程中会产生有毒的、可燃的、腐蚀性的或冷凝的气体的混合物。因此，这些气体混合物必须尽可能靠近其产生的地点被处理。通过这些混合物的化学反应经常产生＜1μm范围内的极细颗粒，其用传统的气体清洗器仅不完全地被洗出。在非常高的颗粒浓度下，静电分离器也是不合适的。
[0003]在使用用于废气清洁的设备时应用不同技术。因此，能够对废气进行燃烧、洗出或清除极细颗粒。为了清洁由生产半导体产品(例如基于硅或LED的太阳能模块)产生的废气，这种设备通常连续运行地，即每天24小时和每周七天地运行。然而，本专利技术还包括用于处理废气流(例如工艺气体流)的装置。这种废气流可以在处理链内在分离器中处理之后被进一步利用。
[0004]利用这类用于清洁气流的装置可以解决这些问题。原则上，气体清洗器或湿式清洗器也非常适合于从废气流中去除水溶性气体。酸性和碱性气体可以通过用碱性或酸性清洗液进行化学吸收而被减少到较少的程度。
[0005]气体清洗器用于从气体中去除固体、液体或气态杂质，其中，杂质化合到被导入气流中的清洗液上，并与其一起被分离出。
[0006]这类气体清洗器或湿式分离器的作用方式在于将气体或颗粒从载有气体或颗粒的气体流中转移到液体中。为此，在气体和液体之间形成相应的相界面，并且在这两个相之间产生相对运动。在气体和液体尽可能强烈混合的情况下实现相界面的方法是使一个相弥散到另一个相中。因此，例如在液体中产生气泡群或在气体中产生液滴聚集物，或者产生这样的系统：其中液体作为或多或少被分散的射束存在。使气体和液体彼此接触的另一原则可能性是绕流液体润湿的体。
[0007]因此，气体清洗器或湿式清洗器是一种简单的废气清洁的方法，其中，待清洁的气体在顺流或逆流中与细分布的水滴或其它清洗液接触，从而清洁所加载的气体流。

技术介绍

[0008]由现有技术已知气体清洗器。例如由DE 564 429C得知一种具有旋转的杆和固定的杆的气体清洗器。通过将静止的杆与旋转的杆相结合，实现气体清洗器清洁度的改进。旋转的杆可以相对于气体清洗器的轴线斜置，并且固定的杆可以以扁平杆、叶片或角铁的形式构造。
[0009]由DE 358 122 C也已知一种具有两个或更多个同心的叶片环圈的装置，用于清洁、冷却和混合气体。
[0010]由DE 369 224 A1已知一种用于洗净焦油或用于吸收或富集清洗液的装置。在此，焦油应该从热的含焦油的气体中分离出来并且用于清洗所述焦油。
[0011]此外，由EP 0 048 012 B1得知一种用于超细粉碎无机物质的装置。
[0012]由GB 191 022 433 A已知一种具有穿孔区段的装置。该装置基本上由穿孔的缸或锥形壳体组成，它们相对于彼此旋转，或者是部分旋转部分静止的。这些缸或壳体同心地布置在一个或多个腔室中，并且可以具有向内弯曲的偏转壁或偏转杆。
[0013]由DE 33 36 840 A1已知一种用于物质交换以及灰尘和液滴分离的具有穿孔壁的装置。
[0014]此外，由WO 2012/146558 A2已知一种湿式分离器，在该湿式分离器中分别设置有两个一体的、具有不同波形和穿孔侧翼的波形板。
[0015]由DE 602 12 546 T2或EP 1 310 289 B1已知一种气体清洗器，其具有壳体，在所述壳体中叶轮围绕其自身的轴线转动，其中，废气被导入到叶轮的中部。清洗液被喷洒到叶轮中。与叶轮间隔开地布置有折流件并且该折流件包围该叶轮。废气和清洁液的混合物撞击在折流件上。在气体清洗器中，折流件促进了废气和清洗液的搅动或运动以及清洗液的雾化，由此有效地将废气中所包含的灰尘颗粒吸收到清洗液中。
[0016]由DE 603 018 64 T2或EP 1 480 731 B1也已知一种用于从废气中去除灰尘的气体清洗器，其具有壳体，在所述壳体中容纳有叶轮并且该叶轮由一轴承载。借助清洁液收集在废气中所包含的灰尘。另外，围绕叶轮设置有多个突起，从而使得废气和由叶轮排出的清洗液撞击到这些突起上。
[0017]这类设备的缺点是几何尺寸和重量大，因为这些设备由于其尺寸有时难以运输至特定地点或设立地点和/或在那里装配。这种设备的紧凑实施方案对于非常细的颗粒、尤其是在小于1μm的直径范围内的颗粒仅具有较小作用。

技术实现思路

[0018]鉴于上述缺点，本专利技术的任务在于，提供一种气体清洗器和一种废气处理设备，它们通过更好地从废气中去除颗粒或灰尘而保证经清洁的废气的更高清洁度，并且在不降低废气处理能力的情况下提供了关于尺寸、效率和压力降低的特殊限制的优化的气体清洗器以及废气处理设备。
[0019]该任务利用根据本专利技术的气体清洗器以及根据本专利技术的废气处理设备来实现。
[0020]根据本专利技术，提供一种用于从废气中去除颗粒、尤其是灰尘的气体清洗器，包括：具有废气入口和废气出口的壳体；围绕其自身的轴线可转动地布置在壳体中并且基本上为圆形的板件，其中，废气可以经由废气入口导入到板件的大致中部。
[0021]此外，提供了至少一个内转子组件和与该内转子组件间隔开地布置的外转子组件，它们围绕轴线可转动地布置。
[0022]此外，所述气体清洗器包括至少一个内定子组件和与其间隔开地布置的外定子组件，其中，转子组件和定子组件为了产生湍流彼此交替地且同心地布置，从而颗粒可以从废气流传递到液体中。
[0023]根据本专利技术，该气体清洗器包括用于雾化液体的旋转式雾化器，该旋转式雾化器尤其布置在圆形的板件上。
[0024]喷出的液体撞击到旋转式雾化器的中心。液体作为膜均匀地分布在旋转式雾化器的表面上并且通过旋转被向外甩。液体在旋转式雾化器的棱边处被分裂为细液滴。尤其地，
旋转式雾化器的直径可以大致等于废气入口的直径。
[0025]由液滴和气体组成的混合物碰撞到最里面的定子，然后被最里面的转子收集。随后，混合物被甩到外定子和外转子上。
[0026]然后，气体在壳体的外部区域中通过废气出口向侧面或向上被导出，液体向下通过液体出口被导出。
[0027]转子
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定子组件产生压力差，通过该压力差，气体从废气入口被输送到废气出口。旋转式雾化器引起液体的细雾化，尤其是也相对于借助水压在喷嘴处的雾化。
[0028]此外，不需要对液体供应施加高压。此外，不需要如在所谓的双物质喷嘴的情况下的添加介质用于清洗液的雾化，尤其也不需要压缩空气。
[0029]根据本专利技术的第一有利的构型，旋转式雾化器构型为带有撕裂棱边的盘。旋转式雾化器产生窄的液滴尺寸分布并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于从废气中去除颗粒、尤其是灰尘的气体清洗器(1)，包括：壳体(10)，所述壳体具有废气入口(2)和废气出口(3)；板件(8)，所述板件围绕其自身的轴线(11)能转动地布置在所述壳体(10)中并且基本上为圆形，其中，所述废气能够经由所述废气入口(2)被导入到所述板件(8)的大致中部(15)；排出喷嘴(12)，用于将液体(13)、尤其清洁液或清洗液喷洒到所述板件(8)上，以便在所述板件(8)之前获得由所述废气和所述液体(13)组成的混合物；至少一个内转子组件(4)和与所述内转子组件(4)间隔开的外转子组件(5)，所述内转子组件和所述外转子组件围绕所述轴线(11)能转动地布置；至少一个内定子组件(6)和与所述内定子组件间隔开地布置的外定子组件(7)，其中，所述内转子组件(4)和所述外转子组件(5)以及所述内定子组件(6)和所述外定子组件(7)为了产生湍流而彼此交替地并且同心地布置，从而能够将来自废气流的颗粒传递到所述液体(13)中，其特征在于，设置有用于雾化所述液体(13)的旋转式雾化器(20)，所述旋转式雾化器尤其布置在圆形的所述板件(8)上。2.根据权利要求1所述的气体清洗器(1)，其特征在于，所述旋转式雾化器(20)构型为具有撕裂棱边(21)的盘。3.根据权利要求1或2所述的气体清洗器(1)，其特征在于，所述旋转式雾化器(20)朝向其外边缘凹进地成形。4.根据前述权利要求中任一项所述的气体清洗器(1)，其特征在于，所述旋转式雾化器(20)在其中心(32)处具有凸出的隆起(33)，所述隆起优选达到或超过所述撕裂棱边(21)的高度。5.根据前述权利要求中任一项所述的气体清洗器(1)，其特征在于，所述内转子组件(4)和所述外转子组件(5)由一共同的轴驱动。6.根据前述权利要求中任一项所述的气体清洗器(1)，其特征在于，所述内转子组件(4)和所述外转子组件(5)与圆形的所述板件(8)机械地作用连接，尤其布置在该板件上。7.根据前述权利要求中任一项所述的气体清洗器(1)，其特征在于，在所述气体清洗器(1)的外周上设置第一转向板(16)。8.根据前述权利要求中任一项所述的气体清洗器(1)，其特征在于，布置有第二转向板(17)，尤其是，该第二转向板与所述第一转向板(16)径向地间隔开。9.根据前述权利要求中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：达斯环境专家有限责任公司，
类型：发明
国别省市：