【技术实现步骤摘要】
用于产生用于燃烧工艺气体的火焰的燃烧器和具有燃烧器的废气处理设备
本专利技术涉及一种根据权利要求1前序部分的用于产生用于燃烧工艺气体的火焰的燃烧器和一种根据权利要求18前序部分的具有燃烧器的废气处理设备。
技术介绍
在用于半导体材料加工或用于光伏电池制造的许多工业工艺设备中，气体被用于层沉积和蚀刻。反应性和危害环境的工艺气体及其在工艺中形成的反应产物通常借助在工艺设备附近的局部的清除设备处理。这种有毒气体例如也在制造半导体电路时大量积累并且由于其毒性不能未经处理被引导到环境中。除这样的CVD或干式蚀刻工艺的工艺气体外，来自其它包含有害物质的工艺的废气也可以借助本专利技术被处理。这样的有毒或危害环境的气体例如是SiH4、SiH2Cl2、SiF4、NH3、PH3、BCl3、SF6或NF3。在对这种改性的基质的需求增加的情况下，也与此相应地产生增大的工艺气体部分，所述工艺气体必须经过处理，以便确保环境和健康相容性。对此的常见方法是通过燃烧并且随后用清洗液体清洗来清除。已知在燃烧反应器的盖中布置有燃烧...
【技术保护点】
1.一种用于产生用于在燃烧室中燃烧工艺气体、尤其是有害物质的火焰(33)的燃烧器(1)，所述燃烧器具有分别用于供应流入到预混合室(12)中的燃烧气体和氧化剂的供应管路(5、6)，并且具有用于点燃处于所述预混合室(12)中的气体混合物的点火设备(10、11)，其特征在于，设置有布置在所述燃烧器(1)上、尤其布置在所述燃烧器(1)的与所述预混合室(12)对置的端部上的传感器(4)，用于探测和/或监控所述火焰(33)。/n
【技术特征摘要】
20190627 DE 102019117331.01.一种用于产生用于在燃烧室中燃烧工艺气体、尤其是有害物质的火焰(33)的燃烧器(1)，所述燃烧器具有分别用于供应流入到预混合室(12)中的燃烧气体和氧化剂的供应管路(5、6)，并且具有用于点燃处于所述预混合室(12)中的气体混合物的点火设备(10、11)，其特征在于，设置有布置在所述燃烧器(1)上、尤其布置在所述燃烧器(1)的与所述预混合室(12)对置的端部上的传感器(4)，用于探测和/或监控所述火焰(33)。
2.根据权利要求1所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述燃烧气体和氧化剂分别在基本上柱形的管(2、3)中能够供应到所述燃烧器(1)的预混合室(12)中，其中，所述柱形的管(2、3)相对彼此同心地构造为外管(2)和内管(3)并且所述外管(2)和所述内管(3)在径向上彼此间隔开地布置。
3.根据权利要求1或2所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述传感器(4)是光学传感器，尤其是紫外传感器或红外传感器，其中，所述火焰(33)处于所述传感器(4)的光学视场中。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述传感器(4)的视轴线与所述燃烧器(1)的纵轴线大致重合，尤其是，所述传感器(4)穿过所述燃烧器(1)的内管(3)探测和监控所述火焰(33)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，在所述燃烧器(1)和所述传感器(4)之间布置有玻璃片(8)，尤其是石英玻璃片。
6.根据前述权利要求中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，燃烧气体在所述外管(2)或所述内管(3)中被引导，而氧化剂在所述外管(2)或所述内管(3)中被引导。
7.根据前述权利要求中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述内管(3)和所述外管(2)是能导电的并且彼此借助绝缘装置(7)电绝缘。
8.根据前述权利要求中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述传感器(4)相对于所述内管(3)电绝缘。
9.根据前述权利要求中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述点火设备(10、11)具有至少一个布置在所述内管(3)的下端部上的、尤其向外指向的突出部(10)和/或所述点火设备(10，11)具有至少一个布置在所述外管(2)上的、尤其向内指向的突出部(35)，用于在所述内管(3)和所述外管(2)之间产生点火火花。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述点火设备(10、11)具有布置在所述预混合室(12)中的电极(36)，用于在所述预混合室(12)中产生点火火花。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述外管(3)电接地，而所述内管(2)通过用于高电压(11)的接头与点火适配器或点火变压器连接，用于产生从所述内管(2)到所述外管(3)的点火火花。
12.根据权利要求10所述的燃烧器(1)，其特征在于，所述外管(2)至少在所述预混...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·维森贝格，O·塞勒，
申请(专利权)人：达斯环境专家有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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