局部放电测试用的陶瓷基板固定治具制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域。局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，包括底座，底座包括从下至上设置的电极底座、下弹性层以及下金属片，下金属片设有向下延伸的下延伸条，下延伸条与电极底座接触连接，电极底座的材料是导电材料；还包括盖板，盖板包括从上至下设置的探针盖板、上弹性层以及上金属片，上金属片设有向上延伸的上延伸条，上延伸条与探针盖板接触连接，探针盖板的材料是导电材料；底座与盖板之间用于夹持陶瓷基板。本专利可针对翘曲度较大的覆铜陶瓷基板进行局放测试。通过上金属片实现了金属陶瓷基板孤岛状金属单元导通，实现了一次性测试整片母板，实现了金属陶瓷基板局放高效测试。瓷基板局放高效测试。瓷基板局放高效测试。

【技术实现步骤摘要】
局部放电测试用的陶瓷基板固定治具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，具体是用于局部放电测试时的工件固定治具。

技术介绍

[0002]对于高压IGBT模块而言，内部的绝缘性能是一项重要的技术指标，通常以局部放电量来衡量。随着IGBT模块电压等级的不断提升和集成密度的不断增大，对其绝缘性能提出了更高的要求。在高压IGBT模块的内部结构中，影响模块绝缘性能的介质主要有两种：一种是硅胶，填充在模块内部各器件的间隙中，并将模块内部各器件表面完全覆盖，防止模块内部发生绝缘击穿，另一种是具有高介电强度的双面覆有金属层的陶瓷基板，实现基板表面的电路图案以及衬板上表面器件与基板之间的电气绝缘。对金属陶瓷基板进行局部放电测试(以下简称局放)并筛选优良品，能够有效提高IGBT模块的合格品率和产品质量。
[0003]现有技术中，关于对金属陶瓷基板局放测试的研究较少。而金属陶瓷基板母板表面金属层蚀刻有复杂精细的孤岛状线路图案，一片母板上有数十个乃至上百个孤岛状金属单元，要一次性测试整片母板每个孤岛状金属单元的局放量需要上百个探针，成本巨大，且探针过细会划伤金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，其特征在于，包括底座，所述底座包括从下至上设置的电极底座、下弹性层以及下金属片，所述下金属片设有向下延伸的下延伸条，所述下延伸条与所述电极底座接触连接，所述电极底座的材料是导电材料；还包括盖板，所述盖板包括从上至下设置的探针盖板、上弹性层以及上金属片，所述上金属片设有向上延伸的上延伸条，所述上延伸条与所述探针盖板接触连接，所述探针盖板的材料是导电材料；所述底座与所述盖板之间用于夹持陶瓷基板。2.根据权利要求1所述的局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，其特征在于：所述上金属片贴敷在所述上弹性层的下侧，所述上弹性层的上侧通过背胶与所述探针盖板黏附连接；所述下金属片贴敷在所述下弹性层的上侧，所述下弹性层的下侧通过背胶与所述电极底座黏附连接。3.根据权利要求1所述的局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，其特征在于：所述上金属片为铝片或者铜片，所述上金属片厚度为50um
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800um；所述下金属片为铝片或者铜片，所述下金属片厚度为50um
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800um。4.根据权利要求1所述的局部放电测试用的陶瓷基板固定治具，其特征在于：所述电极底座、所述下弹性层、所述下金属片、所述探针盖板、所述上弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：周轶靓，贺贤汉，王斌，葛荘，顾鑫，吴承侃，
申请(专利权)人：上海富乐华半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：