一种用于超薄样品制备的样品台制造技术

一种用于超薄样品制备的样品台，包括：具有一对滑槽的底座；竖直设置于底座的下表面，用于与马达连接的连接件；各自具有倾斜面，且以各自的倾斜面彼此相向的形式滑动自如地载置于一对滑槽内的一对滑块；以隔开间隔地位于一对滑槽的宽度方向两侧的形式设置于底座的一对托座；以及转动自如地支持于安装在一对托座上的一对倾转件之间，用于载置样品薄片的载网固定件；一对滑槽以相对于连接件的中心轴轴对称的形式设置；载网固定件在转动方向上具有能同时与倾斜面分别抵接的一对第一侧面。能同时与倾斜面分别抵接的一对第一侧面。能同时与倾斜面分别抵接的一对第一侧面。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超薄样品制备的样品台


[0001]本专利技术涉及电子显微领域，具体涉及一种用于超薄样品制备的样品台。

技术介绍

[0002]近年来，聚焦离子束/电子束双束显微镜在功能材料研究和各种微纳加工领域获得了广泛应用。聚焦离子束可以准确、灵活地对样品选定区域进行刻蚀、沉积和减薄，配合电子束的成像功能可以实现实时加工、实时观察，可以用于定点制备TEM（Transmission Electron Microscope；透射电镜）样品。
[0003]TEM测试对样品要求较高，普通的形貌观察厚度要求100nm~200nm，电子衍射要求50nm~100nm，高分辨则要求<50nm，电子衍射和高分辨分析还要求样品表面低损伤、无非晶层。
[0004]图1是示出聚焦离子束/电子束双束显微镜中利用聚焦离子束进行样品减薄的图。用聚焦离子束/电子束双束显微镜进行样品减薄时，如图1所示，电子束11与离子束12成一角度α，α的范围在45
o
~55
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之间。减薄时，沉积有保护层131的样品薄片13朝离子束12本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超薄样品制备的样品台，其特征在于，包括：具有一对滑槽的底座；竖直设置于所述底座的下表面，用于与马达连接的连接件；各自具有倾斜面的一对滑块，所述一对滑块以各自的倾斜面彼此相向的形式滑动自如地载置于所述一对滑槽内；以隔开间隔地位于所述一对滑槽的宽度方向两侧的形式设置于所述底座的一对托座；以及用于载置样品薄片的载网固定件，所述载网固定件转动自如地支持于安装在所述一对托座上的一对倾转件之间；所述一对滑槽以相对于所述连接件的中心轴轴对称的形式设置；所述载网固定件在转动方向上具有能同时与所述倾斜面分别抵接的一对第一侧面。2.根据权利要求1所述的用于超薄样品制备的样品台，其特征在于，所述载网固定件在转动方向上还具备各自位于所述一对第一侧面外侧，用于与所述滑块的所述倾斜面抵接的一对第二侧面。3.根据权利要求1或2所述的用于超薄样品制备的样品台，其特征在于，所述一对滑块在宽度方向外侧形成有凸缘。4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于超薄样品制备的样品台，其特征在于，还具备至少两个挡板，所述挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：张积梅，郑维，宋雪梅，林初城，刘紫微，王墉哲，姜彩芬，曾毅，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：