一种金属氟化物捕获器及准分子激光器制造技术

本发明专利技术涉及激光技术领域，具体涉及一种金属氟化物捕获器及准分子激光器,包括：缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构；若干除尘管的两端由管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在缸体内，除尘管的两端穿设管束支撑板一、管束支撑板二，管束支撑板一、管束支撑板二与缸体密封设置，若干除尘管组成除尘管束，除尘管束上包覆有过滤介质结构，除尘管上开设有除尘管进气口，缸体上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管的两端口排出，由过滤介质结构及除尘管双重过滤，显著提高金属氟化物捕获器的金属氟化物过滤能力。滤能力。滤能力。

【技术实现步骤摘要】
一种金属氟化物捕获器及准分子激光器


[0001]本专利技术涉及激光
，具体而言，涉及一种金属氟化物捕获器及准分子激光器。

技术介绍

[0002]在准分子激光器工作过程中，激光器腔体中会产生大量金属氟化物，会降低激光器性能，沉积到布儒斯特窗内表面还会造成窗片的损坏，降低激光器寿命。传统的准分子激光器包括金属氟化物捕获器即MFT(Metal Fluoride Trap)结构，其利用静电除尘原理吸附带有电荷的金属氟化物，但现有的MFT结构除尘能力低下，除尘不彻底。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例提供了一种金属氟化物捕获器及准分子激光器，以至少解决现有金属氟化物捕获器除尘能力低下的技术问题。
[0004]根据本专利技术的一实施例，提供了一种金属氟化物捕获器，包括：缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构；
[0005]若干除尘管的两端由管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在缸体内，除尘管的两端穿设管束支撑板一、管束支撑板二，管束支撑板一、管束支撑板二与缸体密封设置，若干除尘管组成除尘管束，除尘管束上包覆有过滤介质结构，除尘管上开设有除尘管进气口，缸体上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管的两端口排出。
[0006]进一步地，捕获器还包括：导流板；导流板间隙套设在除尘管束上，导流板的两端与管束支撑板一、管束支撑板二间隙设置；携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，受到导流板的阻挡向两端流动，流动至管束支撑板一、管束支撑板二时反向流动，依次经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管的两端口排出。
[0007]进一步地，过滤介质结构包覆除尘管束的方式为全包覆或分段包覆。
[0008]进一步地，过滤介质结构包覆除尘管束的方式为两段式包覆，中间有间隔；除尘管上对应两段式包覆的间隔位置处开设有除尘管进气口。
[0009]进一步地，过滤介质结构包覆除尘管束的方式为对所有的除尘管进行包覆，或只对其中若干根除尘管进行包覆。
[0010]进一步地，过滤介质结构紧密包覆在除尘管的外表面上，并深入到除尘管束的内部。
[0011]进一步地，过滤介质结构的结构形式为整体式、二体式、三体式；和/或过滤介质结构的材质为金属材料不锈钢304、不锈钢316或非金属材料陶瓷；和/或过滤介质结构采用金属材料编织物模压结构、金属材料烧结结构或陶瓷材料烧结结构。
[0012]进一步地，捕获器还包括：端盖一、端盖二；端盖一、端盖二盖合在缸体的两端，缸
体的两端部上位于端盖一与管束支撑板一之间位置、位于端盖二与管束支撑板二之间位置各开设有出气口。
[0013]进一步地，除尘管的数量为9个，中心处设置1个，其余8个成周部均匀分布设置。
[0014]根据本专利技术的另一实施例，提供了一种准分子激光器，包括如上任意一项的金属氟化物捕获器。
[0015]本专利技术实施例中的金属氟化物捕获器及准分子激光器中，携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管的两端口排出，携带带电金属氟化物颗粒的气流经由过滤介质结构及除尘管双重过滤，显著提高金属氟化物捕获器的金属氟化物过滤能力，提升除尘效果。
附图说明
[0016]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1为现有准分子激光器放电腔的基本结构示意图；
[0018]图2为本专利技术金属氟化物捕获器的结构剖开图；
[0019]图3为图2去掉缸体后的结构示意图；
[0020]图4为图3去掉端盖一、端盖二后的结构剖开图；
[0021]图5为图4去掉导流板后的结构示意图；
[0022]图6为本专利技术金属氟化物捕获器中过滤介质结构的结构形式示意图。
具体实施方式
[0023]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0024]需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0025]准分子激光器放电腔的基本结构示意如图1所示。准分子激光器的放电腔包括放电腔腔体101、风扇102、阳极基座103、阳极104、阴极陶瓷板105、阴极106、散热器107。其中其它的为带电金属氟化物颗粒201，均为携带带电金属氟化物颗粒的气流202、203、204、205，放电腔内部元件及内部各元件之间的连接关系、各元件的作用为准分子激光器的公知技术，在此不再赘述。
[0026]阳极104及阴极106放电时，在放电区域会产生带电金属氟化物颗粒201，风扇102
高速旋转在放电腔内产生携带带电金属氟化物颗粒的气流205，携带带电金属氟化物颗粒的气流205吹扫阴极106、阳极104放电区域放电过程中产生的带电金属氟化物颗粒201后，继续形成携带带电金属氟化物颗粒的气流202、203及204。携带带电金属氟化物颗粒的气流204经过MFT结构300的进气口进入到MFT结构300中，经过MFT结构300过滤后，通过MFT结构300的出气口回流到放电腔中。
[0027]实施例1
[0028]根据本专利技术一实施例，提供了一种金属氟化物捕获器，包括：缸体301、管束支撑板一305、管束支撑板二306、除尘管307、过滤介质结构302；
[0029]若干除尘管307的两端由管束支撑板一305、管束支撑板二306支撑固定后安装在缸体301内，除尘管307的两端穿设管束支撑板一305、管束支撑板二306，管束支撑板一305、管束支撑板二306与缸体301密封设置，若干除尘管307组成除尘管307束，除尘管307束上包覆有过滤介质结构302，除尘管307上开设有除尘管307进气口，缸体301上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流204由缸体301的进气口进入，经过过滤介质结构302的过滤、经由除尘管307进气口通过除尘管307过滤后，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属氟化物捕获器，其特征在于，包括：缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构；若干所述除尘管的两端由所述管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在所述缸体内，所述除尘管的两端穿设所述管束支撑板一、管束支撑板二，所述管束支撑板一、管束支撑板二与所述缸体密封设置，若干所述除尘管组成除尘管束，所述除尘管束上包覆有所述过滤介质结构，所述除尘管上开设有除尘管进气口，所述缸体上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流由所述缸体的进气口进入，经过所述过滤介质结构的过滤、经由所述除尘管进气口通过所述除尘管过滤后，在所述除尘管的两端口排出。2.根据权利要求1所述的金属氟化物捕获器，其特征在于，所述捕获器还包括：导流板；所述导流板间隙套设在所述除尘管束上，所述导流板的两端与所述管束支撑板一、管束支撑板二间隙设置；携带带电金属氟化物颗粒的气流由所述缸体的进气口进入，受到导流板的阻挡向两端流动，流动至所述管束支撑板一、管束支撑板二时反向流动，依次经过所述过滤介质结构的过滤、经由所述除尘管进气口通过所述除尘管过滤后，在所述除尘管的两端口排出。3.根据权利要求1所述的金属氟化物捕获器，其特征在于，所述过滤介质结构包覆所述除尘管束的方式为全包覆或分段包覆。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文斌，刘斌，丁金滨，江锐，冯泽斌，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：