椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置，椭球面光轴检测方法包括：将一变焦探测单元、一反射球单元和一待测椭球面安装到一光路中的相应位置上，所述变焦探测单元提供探测光并依据所述探测光产生一探测标记，所述反射球单元和所述待测椭球面相配合对所述探测标记所对应的光进行反射，以形成一与所述探测标记相对应的反射标记；以及，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度，以使得所述变焦探测单元探测的所述反射标记最清晰。本发明专利技术的技术方案能够提高检测精度，实现闭环定量调整，进而使得调试效率得到提高。提高。提高。

【技术实现步骤摘要】
椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置


[0001]本专利技术涉及光学系统性能检测领域，特别涉及一种椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置。

技术介绍

[0002]椭球反射镜广泛应用于照明领域，为了实现较高的照度和照明均匀性，对椭球反射镜具有较高的设计和装调精度要求。
[0003]其中，在对椭球反射镜装调的过程中，为了保证椭球反射镜的反射面精度，需要对椭球反射镜的反射面光轴进行高精度的检测。但是，由于椭球反射镜的特殊曲面性质，对椭球反射镜的反射面光轴的检测比较困难。在现有的对椭球反射镜的反射面光轴进行检测的方法中，需要先对检测装置中的复杂的机械部件进行安装调试，之后再对椭球反射镜的反射面光轴进行检测，进而调试椭球反射镜的位置，过程繁琐复杂，无法进行闭环定量调整，导致调试效率差；并且，检测结果受到各个机械部件的调试误差和光学检测误差的共同影响，导致检测精度低，进一步降低了调试效率。
[0004]因此，需要设计一种新的椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种椭球面光轴检测方法，其特征在于，包括：步骤S1，将一变焦探测单元、一反射球单元和一待测椭球面安装到一光路中的相应位置上，所述变焦探测单元提供探测光并依据所述探测光产生一探测标记，所述反射球单元和所述待测椭球面相配合对所述探测标记所对应的光进行反射，以形成一与所述探测标记相对应的反射标记；步骤S2，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度，以使得所述变焦探测单元探测的所述反射标记最清晰。2.如权利要求1所述的椭球面光轴检测方法，其特征在于，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度的步骤包括：步骤S21，调整所述变焦探测单元的焦距，以使得所述探测标记处于所述待测椭球面的第一焦点所处的理论平面；步骤S22，调整所述变焦探测单元的焦距并调整所述反射球单元的垂轴位置，并根据所述变焦探测单元探测到的所述反射标记的离轴量和清晰度，来判断所述探测标记是否位于所述反射球单元的球心上。3.如权利要求2所述的椭球面光轴检测方法，其特征在于，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度的步骤还包括：步骤S23，调整所述变焦探测单元的焦距，以使得所述探测标记处于所述待测椭球面的第二焦点所处的理论平面上；步骤S24，调整所述待测椭球面的位置，并根据所述变焦探测单元探测到的所述反射标记的离轴量和清晰度，来判断所述待测椭球面的第一焦点是否位于所述反射球单元的球心上。4.如权利要求3所述的椭球面光轴检测方法，其特征在于，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度的步骤还包括：步骤S25，调整所述变焦探测单元的焦距，并根据所述变焦探测单元探测到的所述反射标记的清晰度，来判断所述探测标记是否处于所述待测椭球面的第二焦点所处的平面上；步骤S26，围绕所述待测椭球面的第一焦点调整所述待测椭球面的倾斜度，并根据所述变焦探测单元探测到的所述反射标记的离轴量和清晰度，来判断所述待测椭球面的第二焦点是否位于所述反射标记处。5.如权利要求4所述的椭球面光轴检测方法，其特征在于，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度的步骤还包括重复所述步骤S24～S26，直至所述变焦探测单元探测的所述反射标记最清晰。6.如权利要求1所述的椭球面光轴检测方法，其特征在于，所述椭球面光轴检测方法还包括步骤S3，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李天鹏，侯宝路，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：