工艺炉尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种工艺炉尾气处理装置，至少包括过滤瓶，过滤瓶的主体为一个中空的过滤瓶体，在过滤瓶体的腰部缠绕设有盘管结构，盘管结构的始端为进气端，盘管结构的末端与过滤瓶体连通，过滤瓶体内设置层间隔板，隔板上形成有过滤网，过滤瓶体的顶部设置有向外伸出的排气管道。过滤瓶的盘管结构可增加尾气处理行程，让尾气中的可反应化学物质充分反应，并作一级冷却，使尾气与空气进行更多的热交换。过滤瓶内的过滤网将尾气中的颗粒状或者絮状反应物过滤，同时隔板上的小气孔有利于热空气经过时被均匀散开，冷热交换降低尾气温度，有效保护后端抽气装置的使用寿命以及保障工作环境的安全，降低了维护周期，提高生产效率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
工艺炉尾气处理装置


[0001]本技术涉及光伏电池工艺炉领域，尤其是一种工艺炉尾气处理装置。

技术介绍

[0002]晶硅太阳能电池具有良好的工艺稳定性以及成熟的工艺流程，已经大规模应用于能源行业。随着工艺技术的发展，N型晶硅电池以其效率高，性价比高的优势，越来越受到市场的重视。其中，扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。扩散工艺在反应过程中会产生一些副产物，需要从尾气管排出，进入废气塔处理。现有技术中尾气在排出时尾气处理装置冷却路径较短，其利用水作为过滤介质对尾气进行过滤，但实际效果并不理想。由于硼扩散工艺温度高（900
‑
1100摄氏度），目前硼扩散炉存在尾气管路维护周期短、易损坏导致运行成本高等问题。

技术实现思路

[0003]本申请人针对上述现有工艺炉尾气处理装置冷却路径较短、过滤效果不理想造成尾气管路易损坏等缺点，提供了一种结构合理的工艺炉尾气处理装置，能够在不影响主体结构的情况下，通过增加石英部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺炉尾气处理装置，其特征在于：至少包括过滤瓶（10），过滤瓶（10）的主体为一个中空的过滤瓶体（11），在过滤瓶体（11）的腰部缠绕设有盘管结构（12），盘管结构（12）的始端为进气端，盘管结构（12）的末端与过滤瓶体（11）连通，过滤瓶体（11）内设置层间隔板（13），层间隔板（13）上形成有过滤网，过滤瓶体（11）的顶部设置有向外伸出的排气管道（14）。2.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：盘管结构（12）在过滤瓶体（11）上的管道呈螺旋状结构，盘绕在过滤瓶体（11）上至少一周，气体经过盘管结构（12）进入过滤瓶体（11）内部。3.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：所述过滤网的区域为正多边形或者圆形。4.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：层间隔板（13）将过滤瓶体（11）的内腔分隔成上下两层，通过过滤网上下连通。5.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：过滤瓶（10）内还设有可拆卸的滤芯，用于过滤气体中的有害物质。6.根据权利要求1所述的工艺炉尾气处理装置，其特征在于：还包括与过滤瓶（10）连接的冷却瓶（20），冷却瓶（20...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，张海洋，张旭冉，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：