一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，所述镀锅轨道保护结构位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道的下方，镀锅轨道保护结构和镀锅圆环形轨道均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构包括底面、内侧面和外侧面，所述底面为水平的圆环形薄片，内侧面与外侧面为分别垂直固定在底面的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道设置在镀锅轨道保护结构内，内侧面与外侧面之间的距离大于镀锅圆环形轨道的宽度，内侧面和外侧面的高度大于等于镀锅圆环形轨道的厚度。大于等于镀锅圆环形轨道的厚度。大于等于镀锅圆环形轨道的厚度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，先采用粗抽泵和精抽泵对真空镀膜机的腔室内抽真空，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
[0004]为了增大镀膜的效率，现有技术在真空镀膜机的腔室内设置有3个镀锅，3个镀锅上的工件能够同时被镀膜，为了提高镀膜的均匀性，镀锅沿着镀锅圆环形轨道同时进行公转和自本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，所述镀锅轨道保护结构(1)位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道(2)的下方，镀锅轨道保护结构(1)和镀锅圆环形轨道(2)均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道(2)为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道(2)进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构(1)包括底面(11)、内侧面(12)和外侧面(13)，所述底面(11)为水平的圆环形薄片，内侧面(12)与外侧面(13)为分别垂直固定在底面(11)的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道(2)设置在镀锅轨道保护结构(1)内，内侧面(12)与外侧面(13)之间的距离大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度，内侧面(12)和外侧面(13)的高度大于等于镀锅圆环形轨道(2)的厚度。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，所述底面(11)的宽度大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度，底面(11)位于镀锅圆环形轨道(2)的下方。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，底面(11)与镀锅圆环形轨道(2)之间具有间隙或者不具有间隙。4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：