一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，涉及芯片清洗技术领域。一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱，所述反应箱的一侧固定连接有真空泵，所述反应箱的另一侧固定连接有反应气体泵和排压管，所述反应箱的内部安装有高频电源，所述反应箱的两边均铰接有活动机构，所述活动机构能够同步打开关闭反应箱的两侧，所述反应箱的内部安装有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆的外部活动螺接有转动台。本实用新型专利技术通过转动台、固定卡扣、转动电机和转动杆的设置，使得GaN微波芯片可以充分和等离子体相接触，缩短了处理时间，提升了工作效率。提升了工作效率。提升了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置


[0001]本技术涉及芯片清洗
，具体为一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置。

技术介绍

[0002]随着微电子工艺的发展，湿法清洗越来越局限，而干法清洗能够避免湿法清洗带来的环境污染，同时生产率也大大提高，而在干法清洗中优势明显是等离子清洗，等离子体清洗已逐步在半导体制造、微电子封装、精密机械等行业开始普遍应用。
[0003]传统方式的等离子体清洗装置在清洗GaN微波芯片时候，常常将需要清洗的GaN微波芯片放置在清洗板上，通常需要进行两次清理才能完成对GaN微波芯片的清理，为此提出了一种新型等离子清洗装置以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱，所述反应箱的一侧固定连接有真空泵，所述反应箱的另一侧固定连接有反应气体泵和排压管，所述反应箱的内部安装有高频电源，所述反应箱的两本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，包括反应箱(5)，其特征在于：所述反应箱(5)的一侧固定连接有真空泵(8)，所述反应箱(5)的另一侧固定连接有反应气体泵(10)和排压管(13)，所述反应箱(5)的内部安装有高频电源(11)，所述反应箱(5)的两边均铰接有活动机构(3)，所述活动机构(3)能够控制反应箱(5)两侧的闭合，所述反应箱(5)的内部安装有转动机构(12)，所述转动机构(12)包括转动电机(1201)，所述转动电机(1201)的输出端固定连接有转动杆(1205)，所述转动杆(1205)的外部活动螺接有转动台(1203)。2.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述转动电机(1201)的底部固定连接有支撑台(1202)，所述支撑台(1202)和反应箱(5)的底部相固定，所述反应箱(5)的底部固定连接有支撑柱(1204)，所述支撑柱(1204)的另一端和转动杆(1205)相铰接。3.根据权利要求1所述的一种GaN微波芯片用的等离子体清洗装置，其特征在于：所述活动机构(3)包括微型电机(305)，所述微型电机(305)的输出端固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎荣林，王静辉，崔健，段磊，郭跃伟，
申请(专利权)人：河北博威集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：