基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器；光源信号通过输入光波导输入，经过3dB功分器将功率等分到两条非对称的马赫曾德干涉臂，所述两臂由长度不同的第一宽条形波导、窄条形波导、slot波导以及长度相同的第二宽条形波导组成，不同波导结构之间通过锥形波导连接，光场从两臂经过这些波导结构后相位被调制，而后通过合束器进行干涉至输出光波导。本实用新型专利技术采用三种结构的波导对马赫曾德干涉仪两臂的光场相位进行调制，结合slot波导的高灵敏度特性及平面光波导的集成化优势，实现大带宽范围内的温度不敏感、高折射率灵敏度、自由光谱范围可调、高集成度、低成本的光传感器。成本的光传感器。成本的光传感器。

【技术实现步骤摘要】
基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器


[0001]本技术属于光电子器件领域，具体涉及一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器。

技术介绍

[0002]光学传感器具有尺寸小、响应时间短、灵敏度高、抗电磁干扰等特点，是传感器的一个重要分支。其中，集成光波导传感器具有可批量生产、多通道复用、集成度高等优势，在生物分子检测、及时诊断、环境保护等领域引起广泛的关注和研究。当被测物理量发生变化时，其对应的吸收、散射、荧光等特性发生变化，从而引起波导中光模式有效折射率的变化，此折射率的变化可以通过谐振腔型(如微环、微盘、光子晶体等)或者干涉型(法布里－佩罗干涉仪、萨格纳克干涉仪、马赫曾德干涉仪等)光波导结构转化成光强或波长的变化来进行测量。
[0003]马赫曾德干涉仪作为一种常见的干涉型光波导结构，易于实现阵列化和多通道同时检测，而且它的两臂可以由多种不同结构的波导组成，通过设计这些波导的几何参数来控制两臂的相位差，从而可以实现多种功能，有很高的灵活性。传统的马赫曾德干涉仪传感器由对称或非对称的条形波导构成两臂，当外界环境如浓度、应力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器，其特征在于，依次包括输入光波导(1)、3dB功分器(2)、两条非对称的马赫曾德干涉臂、合束器(10)以及输出光波导(11)；所述的输入光波导(1)与激光器光源或发光二极管光源相连；所述的两条非对称马赫曾德干涉臂由第一宽条形波导(3)、第一锥形波导twn(4)、窄条形波导(5)、第二锥形波导tns(6)、slot波导(7)、第三锥形波导tsw(8)、第二宽条形波导(9)依次连接而成。2.根据权利要求1所述的基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器，其特征在于，所述的3dB功分器(2)，合束器(10)为多模干涉结构、定向耦合器结构或者Y分支结构。3.根据权利要求1所述的基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器，其特征在于，所述的输入光波导(1)、第一宽条形波导(3)、窄条形波导(5)、slot波导(7)、第二宽条形波导(9)、输出光波导(11)均为单模传输平面集成光波导。4.根据权利要求1或3所述的基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器，其特征在于，所述的两条非对称马赫曾德干涉臂的第一宽条形波导(3)、窄条形波导(5)、slot波导(7)的长度均不相同，第二宽条形波导(9)的长度相同；两臂用于连接第一宽条形波导(3)与窄条形波导(5)的第一锥形波导twn(4)、用于连接窄条形波导(5)与slot波导(7)的第二锥形波导tns(6)、用于连接slot波导(7)与第二宽条形波导(9)的第三锥形波导tsw(8)的长度均相同，宽度与其两侧所连接的波导的宽度相同，以保证波导之间连续衔接，不发生错位。5.根据权利要求4所述的基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器，其特征在于，通过设计马赫曾德干涉仪两臂中第一宽条形波导(3)、窄条形波导(5)以及slot波导(7)的长度差，能够控制马赫曾德干涉仪自由光谱范围FSR的大小，以满足测量范围的需求，两臂中三种波导的长度差满足下式：式(1)中，λ...

【专利技术属性】
技术研发人员：时尧成，丁佐芹，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：新型
国别省市：