MEMS发声装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种MEMS发声装置。固定框架具有收容空间，连接件收容于收容空间内，且包括第一面和与第一面相对设置的第二面，连接件设有出音孔，第一面设有第一开口，第二面设有第二开口，出音孔连通第一开口和第二开口；第二振膜包括固设于第二面且封闭第二开口的第一承载部、环绕第一承载部且与第一承载部间隔设置的第二承载部及连接第一承载部与第二承载部的弹性连接臂；第一驱动器固设于第一承载部，并用于驱动第二振膜振动以发声，并经由出音孔、第一开口将声音发出；第二驱动器固设于第二承载部，以能够通过连接件驱动第一振膜振动以发声。本实用新型专利技术的MEMS发声装置相比现有技术，具有降低功耗、提高声音输出音质的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
MEMS发声装置


[0001]本技术涉及声学
，尤其涉及一种MEMS发声装置。

技术介绍

[0002]MEMS发声装置相比传统扬声器，具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势，市场前景广阔。
[0003]现有技术中的MEMS发声装置通过驱动器驱动振膜发声，声音通过出音孔传出，目前的发声装置在出音孔与振膜之间形成了空腔，该空腔会对驱动器的振动和声压的传播产生额外阻尼，造成了不必要的损耗，同时还对驱动器产生的声音音质造成影响。
[0004]因此，有必要提供一种新型的MEMS发声装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种MEMS发声装置，包括：
[0006]固定框架，其具有收容空间；
[0007]连接件，收容于所述收容空间内，所述连接件包括第一面和与所述第一面相对设置的第二面，所述连接件设有出音孔，所述第一面设有第一开口，所述第二面设有第二开口，所述出音孔连通所述第一开口和所述第二开口；
[0008]第一振膜，所述第一振膜为环形振膜，所述第一振膜的内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS发声装置，其特征在于，包括：固定框架，其具有收容空间；连接件，收容于所述收容空间内，所述连接件包括第一面和与所述第一面相对设置的第二面，所述连接件设有出音孔，所述第一面设有第一开口，所述第二面设有第二开口，所述出音孔连通所述第一开口和所述第二开口；第一振膜，所述第一振膜为环形振膜，所述第一振膜的内缘环设于所述第一开口，并固设于所述第一面，所述第一开口连通所述出音孔和外部空间；所述第一振膜的外缘固设于所述固定框架；第二振膜，所述第二振膜包括固设于所述第二面且封闭所述第二开口的第一承载部、环绕所述第一承载部且与所述第一承载部间隔设置的第二承载部及连接所述第一承载部与所述第二承载部的弹性连接臂；第一驱动器，固设于所述第一承载部，并用于驱动所述第二振膜振动以发声，并经由所述出音孔、所述第一开口将声音发出；及第二驱动器，固设于所述第二承载部，以能够通过所述连接件驱动所述第一振膜振动以发声。2.根据权利要求1所述的MEMS发声装置，其特征在于：所述固定框架为衬底，所述衬底环设于所述连接件，所述外缘固设于所述衬底。3.根据权利要求1所述的MEMS发声装置，其特征在于：所述固定框架为装配件，所述MEMS发声装置还包括衬底，所述衬底收容于所述收容空间，所述衬底环设于所述连接件，所述装配件环设于所述衬底且所述装配件背离所述第一振膜一侧与所述衬底连接，所述外缘固设于所述装配件。4.根据权利要求2或3所述的MEMS发声装置，其特征在于：所述出音孔的内径从所述第一开口至所述第二开口方向逐渐减小，以使所述出音孔的内壁相对所述第二振膜呈钝角设置。5.根据权利要求2或3所述的MEMS发声装置，其特征在于：所述第一振膜背离所述第一面一侧沿所述第一振膜周向设有褶皱。6.根据权利要求2所述的MEMS发声装置，其特征在于：所述MEMS发声装置还包括设于所述内缘和所述第一面之间的第一垫圈，所述第一垫圈环设于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：程诗阳，但强，周一苇，李杨，
申请(专利权)人：瑞声开泰科技武汉有限公司，
类型：新型
国别省市：