【技术实现步骤摘要】
生产周期时间的预测方法
[0001]本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种生产周期时间的预测方法。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的发展,芯片集成度越来越高、工艺越来越复杂,基于预测的生产周期时间(CT)以指导生产控制有着至关重要的作用。生产控制可例如包括自动化派工、提前保养维护(PM)、优化产品订单组合以及预测出货目标等。
[0003]具体的,工艺站点的生产周期时间=该工艺站点的等待时间(Q
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time)+该工艺站点的加工时间,加工时间相对稳定,而等待时间则限制较多,既要保证机台有较大利用率,又不能超过工艺允许的等待时间。
[0004]在现有技术中,工艺站点的生产周期时间直接等于该工艺站点过去一个月历史加工数据作算术平均值,并且可能一个月才更新一次。运用现有技术中的生产周期时间在生产控制中难以发挥应有的作用,不仅预测数据(计算数据)不准确,难以体现工艺站点的实际情况,而且预测数据更新过慢,导致数据的时效性不强。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种生产周期时间的预测方法,包括:基于第N站点的设定时间的堆货数据,获取第N
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1站点、所述第N站点以及第N+1站点各自的M天的设定时间的堆货数据及所述第N站点的M天生产周期时间数据,N≥2,M>30;利用K邻近算法从所述M天的设定时间的堆货数据中获得与所述第N站点的设定时间的堆货数据临近的K天,M>K,K>1;利用所述第N站点的K天的堆货数据及生产周期时间数据,获取所述第N站点的预测生产周期时间。2.根据权利要求1所述的生产周期时间的预测方法,其特征在于,所述堆货数据至少包括相应站点的总堆货数量及相关堆货数量,所述相关堆货数量为所述总堆货数量中与所述第N站点的设定时间的堆货种类相匹配的堆货数量。3.根据权利要求2所述的生产周期时间的预测方法,其特征在于,利用K邻近算法从所述M天的设定时间的堆货数据中获得与所述第N站点的设定时间的堆货数据临近的K天的方法包括:建立距离函数,所述距离函数的维度包括所述第N站点的总堆货数量及相关堆货数量、所述第N
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1站点的总堆货数量及相关堆货数量和所述第N+1站点的总堆货数量及相关堆货数量;利用所述距离函数从所述M天的设定时间的堆货数据中获得与所述第N站点的设定时间的堆货数据临近的K天。4.根据权利要求3所述的生产周期时间的预测方法,其特征在于,利用AHP层次法获得所述距离函数中每个维度的权重因子,并将所述权重因子应用于所述距离函数。5.根据权利要求4所述的生产周期时间的预测方法,其特征在于,所述距离函数为:其...
【专利技术属性】
技术研发人员:贾宇,管维康,张峰,张晖,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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